Environmental scanning electron microscope

The Thermo Scientific Prisma E Scanning Electron Microscope (SEM) combines a wide array of imaging and analytical modalities with advanced automation to offer the most complete solution of any instrument in its class. It is ideal for industrial research and development, quality control, and failure analysis applications that require high resolution, sample flexibility and an easy-to-use operator interface. The Prisma E SEM succeeds the highly successful Thermo Scientific Quanta SEM.

ESEM with EDS

The unique combination of accessible all-round performance, a large set of accessories, and the most intuitive elemental analysis with Thermo Scientific ColorSEM make the Prisma E SEM the go-to SEM for micro-scale imaging and analysis in any industry or field.

 

Prisma E Scanning Electron Microscope features

Elemental information at your fingertips

Live composition-based image coloring for intuitive elemental analysis with optional ChemiSEM Technology and integrated energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS). Speed up your work and obtain the most complete sample information with always-on analysis.

Excellent image quality

Excellent image quality at low kV and low vacuum thanks to flexible vacuum modes, including through-the-lens differential pumping. Simultaneous secondary electron (SE) and backscattered electron (BSE) imaging in every mode of operation.

Minimize sample preparation time

Low vacuum and ESEM capability enable charge-free imaging and analysis of nonconductive and/or hydrated specimens.

In-situ study of materials in their natural state

With the Prisma E SEM's environmental SEM (ESEM) mode, samples can be imaged even if they are hot, dirty, outgassing or wet.

Excellent analytical capabilities

Excellent analytical capabilities with a chamber that allows 3 simultaneous EDS detectors, EDS ports that are 180° opposite, wavelength-dispersive spectroscopy (WDS), coplanar EDS/EBSD and high-quality charge-free EDS and EBSD in low vacuum.

Easy to use

Easy to use, intuitive software with user guidance and undo functionality makes highly effective operation possible for novice users, while enabling experts to do their work faster and with fewer mouse clicks.


Prisma E Scanning Electron Microscope specifications

Hoja de estilo para las especificaciones de la tabla de productos

Resolution

  • 3.0 nm at 30 kV in high vacuum, low vacuum and ESEM
  • 7.0 nm at 3 kV (BSED, beam decel.)

Standard detectors

  • ETD, low-vacuum SED (LVD), gaseous SED for ESEM mode (GSED), IR camera

Optional detectors

  • Thermo Scientific Nav-Cam+ Camera, DBS, DBS-GAD, ESEM-GAD, STEM 3+, WetSTEM, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC, etc.

ChemiSEM Technology (optional)

  • Live quantitative SEM image coloring is available based on energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS). Point & ID, linescan, region, element maps and accurate Noran quantification are included.

Stage bias (beam deceleration, optional)

  • -4,000 V to +50 V

Low vacuum mode

  • Up to 2,600 Pa (H2O) or 4,000 Pa (N2)

Stage

  • 5-axis motorized eucentric stage, 110 x 110 mm2 with a 105° tilt range. Maximum sample weight: 5 kg in un-tilted position.

Standard sample holder

  • Standard multi-sample SEM holder uniquely mounts directly
  • onto the stage, hosts up to 18 standard stubs (⌀ 12 mm), does
  • not require tools to mount a sample

Chamber

  • 340 mm inside width, 12 ports, three simultaneous EDS detectors possible, two at 180°, coplanar EDS/EBSD orthogonal to the tilt axis of the stage

In situ accessories (optional)

  • Software controlled -20°C to +60°C Peltier cold stage
  • Software controlled 1,000°C low vacuum/ESEM heating stage
  • Software controlled 1,100°C high vacuum heating stage
  • Software controlled 1,400°C low vacuum/ESEM heating stage
  • Integrated gas injection: up to 2 units (other accessories may limit number of gas injection systems (GIS) available) for beam-induced deposition of the following materials:
    • Platinum
    • Tungsten
    • Carbon
  • Manipulators
  • Cryo-stage
  • Electrical probing / multi-probing stations

Software options

Style Sheet for Komodo Tabs

Resources

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Goldrush. This mixture of particles contains gold (large area on the left), copper (smallest particles) and a Al/Si/Mg alloy (the bigger particles). The mixture is heated to higher and higher temperatures. At a certain point, gold starts diffusing across the metal surfaces, thereby completely changing their appearance. The experiment is performed using the High Vacuum Heating Stage mounted on a Prisma E SEM.

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Goldrush. This mixture of particles contains gold (large area on the left), copper (smallest particles) and a Al/Si/Mg alloy (the bigger particles). The mixture is heated to higher and higher temperatures. At a certain point, gold starts diffusing across the metal surfaces, thereby completely changing their appearance. The experiment is performed using the High Vacuum Heating Stage mounted on a Prisma E SEM.

Applications

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Control de proceso
 

La industria moderna exige un alto rendimiento con una calidad superior, un equilibrio que se mantiene a través de un control de procesos sólido. Las herramientas SEM y TEM con software de automatización exclusivo proporcionan información rápida y multiescala para la supervisión y la mejora de procesos.

 

Quality Control_Thumb_274x180_144DPI

Control de calidad
 

El control y garantía de calidad son esenciales en la industria moderna. Ofrecemos una gama de herramientas de EM y espectroscopía para el análisis multiescala y multimodal de defectos, lo que le permite tomar decisiones fiables e informadas para el control y la mejora de procesos.

 

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Investigación sobre materiales fundamentales

Se investigan nuevos materiales a escalas cada vez más pequeñas para lograr el máximo control de sus propiedades físicas y químicas. La microscopía electrónica proporciona a los investigadores información clave sobre una amplia variedad de características materiales a escala nanométrica.

 

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Desarrollo y trazabilidad de semiconductores

Microscopía electrónica avanzada, haz de iones enfocado y técnicas analíticas asociadas para identificar soluciones viables y métodos de diseño para la fabricación de dispositivos semiconductores de alto rendimiento.

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Metrología y rampa de producción

Ofrecemos capacidades analíticas avanzadas para el análisis de defectos, metrología y control de procesos, diseñadas para ayudar a aumentar la productividad y mejorar el rendimiento en una amplia gama de aplicaciones y dispositivos semiconductores.

Análisis de fallos de semiconductores

Análisis de fallos de semiconductores

Las estructuras de dispositivos semiconductores cada vez más complejas dan lugar a que existan más ubicaciones en las que se oculten los defectos inducidos por fallos. Nuestros flujos de trabajo de última generación le ayudarán a localizar y caracterizar los sutiles problemas eléctricos que afectan a la producción, al rendimiento y a la fiabilidad.

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Caracterización física y química

La demanda continua de los consumidores impulsa la creación de dispositivos electrónicos más pequeños, más rápidos y más baratos. Su producción se basa en instrumentos y flujos de trabajo de alta productividad que generan imágenes, analizan y caracterizan una amplia gama de semiconductores y dispositivos de visualización.


Techniques

ColorSEM

Mediante la utilización de EDS en tiempo real (espectroscopia de rayos X por dispersión de energía) con cuantificación en tiempo real, la tecnología ColorSEM transforma las imágenes SEM en una técnica de color. Cualquier usuario puede adquirir datos elementales de forma continua para obtener información más completa que nunca.

Más información ›

Adquisición de imágenes de muestras calientes

El estudio de los materiales en condiciones reales suele implicar el trabajo a altas temperaturas. El comportamiento de los materiales cuando se recristalizan, derriten, deforman o reaccionan ante el calor se puede estudiar in situ con la microscopía electrónica de barrido o con las herramientas DualBeam.

Más información ›

SEM ambiental (ESEM)

El SEM ambiental permite que se adquieran imágenes de los materiales en su estado nativo. Esto es ideal para investigadores académicos e industriales que necesitan probar y analizar muestras húmedas, sucias, reactivas, con liberación de gases o que no son compatibles con el vacío.

Más información ›

Análisis de partículas

El análisis de partículas juega un papel vital en la investigación de nanomateriales y el control de calidad. La resolución a escala nanométrica y la adquisición de imágenes superiores de microscopía electrónica se pueden combinar con software especializado para la rápida caracterización de polvos y partículas.

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Catodoluminiscencia

La catodoluminiscencia (CL) describe la emisión de luz de un material cuando se excita por un haz de electrones. Esta señal, captada por un detector de CL especializado, contiene información sobre la composición de la muestra, defectos de cristal o propiedades fotónicas.

Más información ›

Adquisición de imágenes y análisis de semiconductores

Thermo Fisher Scientific ofrece microscopios electrónicos de barrido para todas las funciones de un laboratorio de semiconductores, desde tareas generales de adquisición de imágenes hasta técnicas avanzadas de análisis de fallos que requieren mediciones precisas de contraste de tensión.

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ColorSEM

Mediante la utilización de EDS en tiempo real (espectroscopia de rayos X por dispersión de energía) con cuantificación en tiempo real, la tecnología ColorSEM transforma las imágenes SEM en una técnica de color. Cualquier usuario puede adquirir datos elementales de forma continua para obtener información más completa que nunca.

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Adquisición de imágenes de muestras calientes

El estudio de los materiales en condiciones reales suele implicar el trabajo a altas temperaturas. El comportamiento de los materiales cuando se recristalizan, derriten, deforman o reaccionan ante el calor se puede estudiar in situ con la microscopía electrónica de barrido o con las herramientas DualBeam.

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SEM ambiental (ESEM)

El SEM ambiental permite que se adquieran imágenes de los materiales en su estado nativo. Esto es ideal para investigadores académicos e industriales que necesitan probar y analizar muestras húmedas, sucias, reactivas, con liberación de gases o que no son compatibles con el vacío.

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Análisis de partículas

El análisis de partículas juega un papel vital en la investigación de nanomateriales y el control de calidad. La resolución a escala nanométrica y la adquisición de imágenes superiores de microscopía electrónica se pueden combinar con software especializado para la rápida caracterización de polvos y partículas.

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Catodoluminiscencia

La catodoluminiscencia (CL) describe la emisión de luz de un material cuando se excita por un haz de electrones. Esta señal, captada por un detector de CL especializado, contiene información sobre la composición de la muestra, defectos de cristal o propiedades fotónicas.

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Adquisición de imágenes y análisis de semiconductores

Thermo Fisher Scientific ofrece microscopios electrónicos de barrido para todas las funciones de un laboratorio de semiconductores, desde tareas generales de adquisición de imágenes hasta técnicas avanzadas de análisis de fallos que requieren mediciones precisas de contraste de tensión.

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Para garantizar un rendimiento óptimo del sistema, le proporcionamos acceso a una red de expertos de primer nivel en servicios de campo, asistencia técnica y piezas de repuesto certificadas.

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