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Thermo Scientific Celestron transmission line pulse/very fast transmission line pulse (TLP/VF-TLP) 검사 시스템은 웨이퍼 및/또는 패키지 수준에서 검사를 위해 표준 TLP 및 VF-TLP 모두에 대해 구성할 수 있습니다. 프로브 옵션을 사용하여 스트레스 상태에 있는 핀/패드가 아닌 핀 또는 패드의 신호를 측정할 수도 있습니다. Celestron 시스템 소프트웨어는 업계에서 가장 종합적인 소프트웨어이며 시스템 설정 및 device under test (DUT)에 연결하는 데 도움이 되는 그래픽을 사용합니다. 검사 작업 중에 소프트웨어는 기록된 TLP 펄스 전압과 전류 파형, 컴파일된 Pulsed I-V 커브, 누설 전류 측정치, DC I-V 커브 트레이스 데이터를 보여줍니다. 작업자는 검사 전압(응력파)의 범위, 펄스 극성, 누설 및 커브 트레이스 파라미터를 선택할 수 있습니다. 데이터가 수집된 후 TLP 펄스 내에서 측정 구간의 위치와 지속시간도 선택하고 수정할 수 있습니다.
Thermo Scientific Celestron TLP/VF-TLP 검사 시스템은 웨이퍼 수준 및/또는 패키지 수준에서 검사를 위한 표준 TLP 및 VF-TLP에 대해 구성할 수 있습니다. 프로브 옵션을 사용하여 스트레스 상태에 있는 핀/패드가 아닌 핀 또는 패드의 신호를 측정할 수도 있습니다.
작업자는 검사 전압(응력파)의 범위, 펄스 극성, 누설 및 커브 트레이스 파라미터를 선택할 수 있습니다. 데이터가 수집된 후 TLP 펄스 내에서 측정 구간의 위치와 지속시간도 선택하고 수정할 수 있습니다.
고전류 TLP 펄스 생성기.
반자동 프로버(prober)와 인터페이스 가능.
표준 TLP 구성 | 30~500ns의 펄스 폭 | 펄서(pulser) 상자에 통합된 표준 TLP 펄스 폭은 100ns입니다. 30~500ns 범위의 케이블 변경을 통해 외부에서 펄스 폭을 추가할 수 있습니다. 컴퓨터로 제어하는 펄스 폭(3가지의 선택 가능 펄스폭 포함)을 옵션으로 선택할 수 있습니다. |
상승 시간(rise time) 사용 가능 | 표준 상승 시간은 200ps입니다. 500ps~10ns 사이의 상승 시간을 옵션으로 선택할 수 있습니다. 외부 상승 시간 필터(옵션)로 제어 2ns 및 10ns 외부 상승 시간 필터 포함 컴퓨터로 제어하는 상승 시간(3가지의 선택 가능한 상승 시간 포함)을 옵션으로 선택할 수 있습니다. 참고: TLP 측정에는 500MHz 이상의 오실로스코프가 필요합니다. 1ns 미만의 상승 시간을 측정하는 경우 1GHz 이상의 범위를 사용하는 것이 좋습니다. | |
모든 TLP 구성 지원 | 25~500ohm 전달 임피던스에 대한 구성 변경을 옵션으로 선택할 수 있습니다. ESD 협회의 TLP 표준 검사법에 설명된 모든 구성 지원 모든 임피던스에서의 웨이퍼 수준 및 패키지 시험 | |
표준 TLP/VF-TLP 구성 | 통합형 시스템 컨트롤러 | 전용 컴퓨터가 필요하지 않습니다. Windows® 운영 체제 |
통합 소스/미터 장치 | ±200V까지 커브 트레이싱 50pA까지 누출 측정 강제 전류가 있는 전압 또는 누출에 기반한 DUT 실패 검출 | |
트랜스미션 라인 펄스 (TLP / VF-TLP) | 최신 ESD 협회 표준 검사법 문서(ANSI/ESD STM 5.5.1-2016)를 준수하여 설계 | |
표준 VF-TLP 구성 | 1.2~10ns의 펄스 폭 | 시스템 전면에서 케이블 변경에 의해 선택 표준 너비는 1.2, 2.5, 5ns(기타는 옵션)입니다. |
200ps~2ns의 상승 시간 | 옵션 필터로 제어됨 표준 상승 시간은 200 및 300ps입니다. 2ns 외부 상승 시간 필터 포함 | |
최대 펄스 전류 | 15A를 50 ohm 으로 로딩 단락(short circuit)으로 약 30A | |
최대 개방 회로(open circuit) 전압 | 1500V |
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ESD 규정 준수성 검사
정전기 방출(ESD)은 반도체와 집적 회로의 작은 특성 및 구조를 손상시킬 수 있습니다. 당사에서는 기기가 표적 ESD 규정 준수 표준을 준수하는지 검증하는 종합적인 검사 장비 세트를 제공합니다.
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