정전기 방전 검사 | Pegasus | Thermo Fisher Scientific

Thermo Scientific Pegasus ESD 검사 시스템은 웨이퍼, 다이 또는 패키지 수준에서 보호 구조를 특성 분석하는 데 사용되는 낮은 패러사이트 2핀 테스터(low parasitic 2-pin tester)입니다. Pegasus는 또한 기기 적합성 평가 루틴의 일부로 사용할 수 있으며, 자동화된(릴레이 기반) high pin count ESD 검사 시스템을 사용하여 수집된 결과에 대한 보충 데이터를 제공합니다. 검사는 HBM(Human Body Model) 파형, MM(Machine Model) 파형에 대한 최신 산업 표준뿐만 아니라 EOS/ESD 협회의 HMM(Human Metal Model)에 기반한 파형과 같은 진정한 시스템 수준(150pF/330Ω) IEC를 제공합니다. 시스템의 펄스 소스(pulse source) 설계 및 펄스 소스 전달 방법은 발생기 출력 뿐 아니라 검사 대상 장치에서 직접 파형 충실도를 보장합니다. 각 ESD 이벤트에 대해 현재 파형을 자동으로 캡처하고 분석할 수 있습니다. 또한 전압 파형을 캡처하여 보호 구조의 켜짐 수준(turn-on level)을 결정하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 전압 파형은 일반적으로 ESD 이벤트 후 변화를 보이기 때문에 고장 여부를 결정하는 수단으로 사용할 수도 있습니다.

주요 특징

완전한 규정준수 검사

최신 산업 표준에 따른 규정을 완전 준수하는 HBM(Human Body Model) 및 MM(Machine Model) 검사.

시스템 수준 ESD

제안된 HMM(Human Metal Model) 요구 사항을 충족하는 진정한 시스템 수준의 ESD 150pF/330Ω 네트워크(50Ω 에뮬레이터가 아님)

웨이퍼 프로브

패키지, 다이 또는 웨이퍼에서 모든 소자를 웨이퍼 프로브로 2핀 연결

고장 분석

비교 고장 분석을 위한 사전/사후 커브 트레이스 측정.

오실로스코프 인터페이스

자동 내부 감쇠 기능이 포함된 오실로스코프 인터페이스(GPIB, USB 또는 TCP/IP)

저장

최신 산업 표준을 이용한 자동 분석 기능으로 모든 파형 저장.

ESD 파형(waveform) 발생기

Pods(ESD 파형 발생기)는 프로버 스테이션에 쉽게 설치할 수 있습니다.

공급 제어

pre- 및 post-Idd 측정을 위한 바이어스 공급 제어

사양

재품 표 사항에 대한 스타일시트

파형	HMM - 제안된 ESDA HMM; HBM - JEDEC/ESDA JS-001, MIL-STD 883, and AEC Q100-002; MM - ESDA STM5.2, JEDEC JESD22-A115, AEC Q100-003
ZAP 전압	HMM 및 HBM의 경우 +/- 15 V~12 kV, MM의 경우 +/- 50 V~2 kV
ZAP 전압 분해능	1V
ZAP 전압 정확도	설정점 +/-5 V 소스 성능 ZAP의 1%
ZAP 개수/간격 범위	1~9999개/0.3~10초 간격
커브 트레이싱	전압: 0~200 V(더 높은 전압은 제조업체에 문의) 분해능: 10 mV 전압 범위: 200 mV, 2 V, 20 V, 200 V 전류: 0~1 A 분해능: 100 nA 전류 범위: 1 μA, 10 μA, 100 μA, 1 mA, 10 mA, 100 mA, 1 A 정확도 범위의 0.5% 출력: 22 W: 21 V @ 1 A~210 V @ 0.1 A 저항 감지: 1 ohm~200 M ohm 측정 지점: 10~250
합격/불합격 기준	상대값 및 절대값
기본 제어기 치수	43.2cm(17인치) W x 43.2cm(17인치) D x 13.2cm(5.2인치) H
저진공 모드	16.4cm(6in) W x 12.7cm(5in) D x 8.9cm(3.5in) H
중량	제어기: 8.4kg(18.5lbs) 포드: 1.4kg(3lbs)
메인 제어기 전원	100~240VAC, 2Amp 50/60Hz
온도 범위	작동 온도: +15°C~+40°C(+59°F~+104°F) 비작동 온도: 4°C~+60°C(+40°F~+140°F) 습도 범위: 30~60%, 비응축
전원 요건	시스템: 100~240VAC, 2A, 50/60Hz 컴퓨터 및 모니터: 100~240VAC, 6.5A, 5060Hz