Instrumentos para FIB-SEM

Científicos e ingenieros tanto en el ámbito académico como en el industrial se enfrentan constantemente a nuevos retos que requieren una caracterización altamente localizada de una amplia gama de muestras y materiales. El continuo impulso para mejorar la calidad de estos materiales significa que suele ser necesaria la información estructural y de composición a nanoescala. Los instrumentos DualBeam, con tecnología de microscopía electrónica de barrido de haz de iones enfocado (FIB-SEM), generan exactamente este tipo de datos combinando la modificación precisa de la muestra de FIB con la obtención de imágenes de alta resolución de SEM.

Thermo Fisher Scientific es el líder del sector en tecnología FIB-SEM con más de 25 años de experiencia en instrumentación DualBeam. Ofrecemos una amplia gama de productos y capacidades de automatización avanzadas para una gran variedad de aplicaciones, incluyendo la preparación de muestras de microscopía electrónica de transmisión (TEM), caracterización subsuperficial y 3D, creación de nanoprototipos y experimentación in situ.

Preparación de muestras de TEM

La preparación de muestras de TEM se considera una de las tareas más importantes en la investigación científica de materiales. Sin embargo, también es una de las más difíciles y laboriosas. Las últimas innovaciones tecnológicas de la tecnología DualBeam, junto con nuestras completas soluciones de software y experiencia en aplicaciones, permiten una preparación rápida y sencilla de muestras de S/TEM (microscopía electrónica de barrido/transmisión) específicas para una ubicación y de alta calidad para una amplia gama de materiales. El software Thermo Scientific AutoTEM añade la capacidad de preparar muestras de TEM in situ, de forma totalmente automatizada y sin supervisión, lo que aumenta significativamente el rendimiento y proporciona resultados de nivel experto, independientemente de su experiencia.

Análisis estructural

Cuando se combina con el software Thermo Scientific Auto Slice & View , los instrumentos DualBeam proporcionan información en 3D sobre la estructura de la muestra mediante la eliminación selectiva (fresado) del material para la caracterización de subsuperficies. La reconstrucción digital genera conjuntos de datos 3D multimodales que pueden consistir en una variedad de señales, incluyendo imágenes de retrodispersión de electrones (BSE) para obtener el máximo contraste de materiales, espectroscopía de energía dispersiva (EDS) para información de composición y difracción de retrodispersión de electrones (EBSD) para información microestructural y cristalográfica.

La capacidad SEM de los instrumentos DualBeam ofrece detalles a nanoescala en una amplia gama de condiciones de trabajo, desde información estructural obtenida a 30 keV en modo STEM hasta información detallada de la superficie a energías bajas. Con exclusivos detectores en lente, los sistemas DualBeam están diseñados para la adquisición simultánea de datos de electrones secundarios angulares/selectivos de energía y BSE. Nuestros exclusivos diseños de columna SEM proporcionan resultados rápidos, exactos y reproducibles, que incluyen alineaciones de lente totalmente automatizadas.

Creación de prototipos a nanoescala

Las capacidades de creación a nanoescala de los sistemas DualBeam pueden reducir sustancialmente el tiempo de investigación y desarrollo. La creación rápida de prototipos con FIB permite realizar pruebas de funcionalidad antes de que se establezca el diseño final del dispositivo para la fabricación por lotes. El depósito de diferentes materiales provocado por el haz se puede combinar con el fresado FIB sin necesidad de alinear pasos de litografía adicionales; los patrones se pueden añadir directamente a las estructuras depositadas o los patrones existentes se pueden modificar. Los sustratos con patrones finales están disponibles inmediatamente para su posterior procesamiento o caracterización.