Instrumentos para FIB-SEM

Científicos e ingenieros tanto en el ámbito académico como en el industrial se enfrentan constantemente a nuevos retos que requieren una caracterización altamente localizada de una amplia gama de muestras y materiales. El continuo impulso para mejorar la calidad de estos materiales significa que suele ser necesaria la información estructural y de composición a nanoescala. Los instrumentos DualBeam, con tecnología de microscopía electrónica de barrido de haz de iones enfocado (FIB-SEM), generan exactamente este tipo de datos combinando la modificación precisa de la muestra de FIB con la obtención de imágenes de alta resolución de SEM.

Thermo Fisher Scientific es el líder del sector en tecnología FIB-SEM con más de 25 años de experiencia en instrumentación DualBeam. Ofrecemos una amplia gama de productos y capacidades de automatización avanzadas para una gran variedad de aplicaciones, incluyendo la preparación de muestras de microscopía electrónica de transmisión (TEM), caracterización subsuperficial y 3D, creación de nanoprototipos y experimentación in situ.

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Microscopía electrónica

Instrumentos DualBeam

instrumentos para FIB SEM para el análisis estructural automatizado, preparación de muestras de TEM y creación de nanoprototipos.

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Ciencias de la vida

 

Ciencia de materiales

 

Semiconductores


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Krios G4 Cryo-TEM

  • Ergonomía mejorada
  • Se adapta más fácilmente a los laboratorios nuevos y existentes
  • Productividad y automatización maximizadas
  • Óptima calidad de imagen para la reconstrucción 3D de alta resolución

Spectra 300 TEM

  • Información química y estructural de máxima resolución a nivel atómico
  • Intervalo de alta tensión flexible de 30-300 kV
  • Sistema de condensador de tres lentes

Spectra 200 TEM

  • Adquisición de imágenes de alta resolución y contraste para tensiones de aceleración de 30-200 kV
  • Lente de objetivo simétrico S-TWIN/X-TWIN con diseño de pieza polar de holgura amplia de 5,4 mm
  • Resolución de imágenes STEM subangstrom de 60 kV-200 kV

Glacios Cryo-TEM

  • Tensión de aceleración flexible de 80 a 200 kV
  • Cargador automático líder del sector para la manipulación de muestras criogénicas
  • Tamaño reducido
  • Facilidad de uso mejorada

Talos Arctica TEM

  • Mayor velocidad de adquisición de datos
  • Datos de alta calidad con manipulación robótica de muestras y carga automática
  • Funcionamiento sin supervisión de la plataforma y adquisición de datos automatizada
  • Coste de propiedad reducido con diagnóstico remoto y servicio preventivo

Metrios AX TEM

  • Opciones de automatización compatibles con calidad, uniformidad, metrología y OPEX reducido
  • Aprovecha el aprendizaje automático para excelentes funciones automáticas y reconocimiento de funciones
  • Flujos de trabajo para preparación de laminillas in-situ y ex-situ

Talos L120C TEM

  • Mayor estabilidad
  • Cámara Ceta 4k × 4K con sensor CMOS
  • Intervalo de ampliación TEM de 25 a 650 kX
  • Análisis por EDS flexible que revela información química

Talos F200i TEM

  • Imágenes S/TEM de alta calidad y EDS preciso
  • Disponible con tecnología EDS dual
  • Capacidades óptimas e integrales in situ
  • Amplio campo de visión a alta velocidad

Talos F200S TEM

  • Datos precisos de composición química
  • Adquisición de imágenes de alto rendimiento y análisis de composición preciso para microscopía dinámica
  • Cuenta con software Velox para una adquisición y análisis rápidos y fáciles de datos multimodales

Talos F200X TEM

  • Alta resolución/rendimiento en adquisición de imágenes STEM y análisis químicos
  • Añade soportes de muestras específicos de la aplicación in situ para experimentos dinámicos
  • Cuenta con software Velox para una adquisición y análisis rápidos y fáciles de datos multimodales

Talos F200C TEM

  • Análisis por EDS flexible que revela información química
  • Adquisición de imágenes TEM y STEM de alto contraste y alta calidad
  • La cámara Ceta de 16 MP con sensor CMOS proporciona un amplio campo de visión y una rápida velocidad de lectura

ExSolve WTP DualBeam

  • Puede preparar laminillas específicas de sitios de 20 nm de grosor en obleas completas de hasta 300 mm de diámetro
  • Soluciona las necesidad de muestreo automatizado de alto rendimiento en nodos de tecnología avanzada

Helios G4 EXL DualBeam

  • Control preciso y conocimiento de la temperatura de la muestra
  • Estabilidad mejorada de la muestra, navegación y corrección de deriva de la muestra asistida en los ejes 'x', 'y' y 'z'
  • Avance en las funciones de adquisición de imágenes y películas de alta calidad

Helios 5 DualBeam

  • Preparación de muestras de TEM ultrafina, de alta calidad y completamente automatizada
  • Subsuperficie de alto rendimiento, alta resolución y caracterización en 3D
  • Capacidades de rápida creación de prototipos a nanoescala

Helios 5 PFIB DualBeam

  • Preparación de muestras STEM y TEM sin galio
  • Subsuperficie multimodal e información 3D
  • Columna FIB con plasma xenón de 2,5 μA de última generación

Helios G4 PFIB DualBeam

  • Preparación de muestras STEM y TEM sin galio
  • Subsuperficie multimodal e información 3D
  • Columna FIB con plasma xenón de 2,5 μA de última generación

Sistema Helios 5 Laser PFIB

  • Secciones cruzadas rápidas a escala milimétrica
  • Subsuperficie profunda relevante estadísticamente y análisis de datos 3D
  • Comparte todas las capacidades de la plataforma Helios 5 PFIB

Helios Hydra DualBeam

  • 4 especies de iones rápidos conmutables (Xe, Ar, O, N) para el procesamiento optimizado de PFIB de la gama más amplia de materiales
  • Preparación de muestras de TEM sin GA
  • Adquisición de imágenes SEM de alta resolución

Aquilos 2 Cryo-FIB

  • La automatización permite la producción de varias laminillas
  • Posibilidad de colocar y extraer la estructura que desee con el nanomanipulador de extracción
  • Visualización 3D para tomografía de alta resolución

Scios 2 DualBeam

  • Soporte completo de muestras magnéticas y no conductoras
  • Subsuperficie de alto rendimiento y caracterización en 3D
  • Facilidad de uso y capacidades de automatización avanzadas

Axia ChemiSEM

  • Asignación elemental cuantitativa en directo
  • Adquisición de imágenes de microscopía electrónica de barrido de alta fidelidad
  • Flexible y fácil de usar, incluso para usuarios principiantes
  • Fácil mantenimiento.

Verios 5 XHR SEM

  • SEM monocroma para resolución de subnanómetros sobre el rango de energía completo de 1 keV a 30 keV
  • Fácil acceso a la energía de recepción de haz, a un nivel tan bajo como 20 eV
  • Excelente estabilidad con fase piezoeléctrica como estándar

Quattro ESEM

  • Tecnología de obtención de imágenes por microscopía electrónica de barrido (SEM) con cañón de emisión de campo (FEG) de alta resolución con versatilidad absoluta y capacidad medioambiental única (ESEM)
  • Consulte la información completa de todas las muestras con obtención de imágenes SE y BSE en cada modo de funcionamiento

Prisma E SEM

  • SEM de nivel básico con excelente calidad de imagen
  • Rápida y sencilla navegación y carga de muestras para varias muestras
  • Compatible con una amplia gama de materiales gracias a los exclusivos modos de vacío

Apreo 2 SEM

  • SEM de alto rendimiento para resolución integral de subnanómetros o nanómetros
  • Detector de retrodispersión de T1 incorporado en la columna para contraste de materiales sensibles de velocidad TV
  • Excelente rendimiento en trabajos con larga distancia (10 mm)

VolumeScope 2 SEM

  • Datos 3D isotrópicos de grandes volúmenes
  • Alto contraste y resolución en los modos de vacío alto y bajo
  • Un solo movimiento entre el uso de SEM normal y la adquisición de imágenes de cara de bloques en serie

SEM de escritorio Phenom Pharos

  • Fuente FEG con un rango de tensión de aceleración desde 2 hasta 15 kV
  • Detector de EDS y SE, totalmente integrado, opcional

SEM de escritorio Phenom XL G2

  • Para muestras grandes (100 x 100 mm) e ideal para automatización
  • Resolución de <10 nm y aumento de hasta 200.000x; tensión de aceleración desde 4,8 kV hasta 20 kV
  • Detector de EDS y BSE, totalmente integrado, opcional

SEM de escritorio Phenom ProX

  • SEM de escritorio de alto rendimiento con detector EDS integrado
  • Resolución de <8 nm (SE) y <10 nm (BSE); aumento de hasta 150.000x
  • Detector SE opcional

SEM de escritorio Phenom Pro

  • SEM de escritorio de alto rendimiento
  • Resolución de <8 nm (SE) y <10 nm (BSE); aumento de hasta 150.000x
  • Detector SE opcional

SEM de escritorio Phenom Pure

  • SEM de escritorio de nivel básico
  • Resolución de <25 nm; aumento de hasta 65.000x
  • Fuente CeB6 de larga duración

SEM de escritorio Phenom Perception GSR

  • SEM de escritorio GSR automatizado exclusivo
  • Resolución de <10 nm; aumento de hasta 200.000x
  • Fuente CeB6 de larga duración

SEM de escritorio Phenom ParticleX AM

  • SEM de escritorio versátil con software de automatización para fabricación de aditivos
  • Resolución de <10 nm; aumento de hasta 200.000x
  • Detector SE opcional

SEM de escritorio Phenom ParticleX TC

  • SEM de escritorio versátil con software de automatización para pulcritud técnica
  • Resolución de <10 nm; aumento de hasta 200.000x
  • Detector SE opcional

SEM de escritorio de acero Phenom ParticleX

  • SEM y EDS integrados
  • Facilidad de uso
  • Elementos de submicrómetro

Sistema ELITE

  • Completamente no destructivo
  • Identifica rápidamente el componente defectuoso en la tarjeta de montaje y obtener la disposición exacta
  • Localiza el defecto en x-y con la precisión del micrómetro, con una ubicación de profundidad exacta de 20 µm

Sistema Hyperion II

  • Sondeo de fuerza atómica
  • Localice los fallos del transistor
  • Corriente de pico integrada (CAFM)

Sistema nProber IV

  • Localice los fallos BEOL y del transistor
  • Nanosondeo térmico (de -40° C a 150 °C)
  • Funcionamiento semiautomático

Sistema Meridian S

  • Diagnóstico de fallos con tecnología de sonda activa
  • Estimulación láser estática (SLS / OBIRCH) y opciones de emisión de fotones
  • Admite la estimulación de dispositivos de microsonda y de tarjetas de sonda

Sistema Meridian WS-DP

  • Detección de emisiones de fotones de baja tensión, bajo nivel de ruido y alta sensibilidad con sistemas de cámara DBX o InGaAs de banda ancha
  • Microscopio de barrido láser de longitud de onda múltiple para análisis de cadena de barrido, asignación de frecuencia, sondeo de transistores y aislamiento de fallos

Sistema Meridian 7

  • Aislamiento dinámico de fallos ópticos para el nodo de 10 nm e inferiores
  • Luz infrarroja y visible de alta resolución
  • Preparación de muestras de alto rendimiento de 5 μm disponible

Sistema Meridian IV

  • Detección de emisión de fotones DBX de longitud de onda ampliada de alta sensibilidad
  • Detección de emisión de fotones de InGaAs estándar
  • Microscopio de barrido láser con opciones de longitud de onda múltiple

Taipan G2+ Sistema de edición de circuitos

  • Resolución de adquisición de imágenes y fresado para cumplir con las especificaciones de nodo de 10 nm
  • Excelente selectividad de surcos grabados y control de deposición para conductores y aislantes
  • Excelente navegación y precisión en la colocación del haz de iones

Sistema de edición de circuitos Centrios

  • Excelente resolución de imagen/fresado
  • Control y precisión de fresado mejorados
  • Basado en la plataforma Thermo Scientific Helios DualBeam

Sistema de pruebas de cierre y ESD MK.4TE

  • Operaciones basadas en relés rápidos: hasta 2304 canales
  • Preacondicionado avanzado del dispositivo con seis niveles de transmisión por vector separados
  • Polarización de dispositivo y estímulos de cierre totalmente compatibles

Dispositivo de prueba de descarga electrostática Orion3

  • Prueba del modelo del dispositivo cargado
  • Cámaras de color duales de alta resolución
  • Prueba de densidades a menos de un paso de 0,4 mm

Sistema de prueba Celestron

  • Prueba de TLP a nivel de obleas y de paquetes
  • Generador de pulso TLP de corriente alta
  • Puede conectarse con sondas semiautomáticas
  • Software intuitivo para el control y la generación de informes

Sistema de prueba de ESD Pegasus

  • Pruebas según los estándares más recientes del sector
  • Red ESD 150pF/330Ω de nivel de sistema real
  • Conexión de 2 pines mediante sondeo de obleas a cualquier dispositivo

Nexsa

  • Módulo de basculación para mediciones de ARXPS
  • Fuente de iones de modo dual para capacidades de realización de perfiles de profundidad
  • Análisis de aislantes.

K-Alpha

  • Espectroscopía de área seleccionable.
  • Monocromador microfocalizado.
  • Espectroscopía del estado químico de alta resolución.

ESCALAB Xi+

  • Espectroscopía de alta sensibilidad.
  • XPS con fuente de rayos X no monocromática.
  • Analizador hemisférico de 180°.

Sistema Vitrobot

  • Vitrificación de muestras totalmente automatizada
  • Dispositivo de inmunotransferencia
  • Transferencia de rejilla semiautomatizada
  • Alta productividad de muestras

Software Amira

  • Compatibilidad con multidatos/visualización/canal
  • Visualización interactiva de alta calidad
  • Segmentación basada en el aprendizaje automático
  • Creación intuitiva de recetas

Software Auto Slice and View 4.0

  • Cortes en secciones en serie automatizadas para DualBeam
  • Adquisición de datos multimodales (SEM, EDS, EBSD)
  • Capacidades de edición sobre la marcha
  • Ubicación del corte en los bordes

Software AutoScript 4

  • Reproducibilidad y precisión mejoradas
  • Adquisición de imágenes y patrones de alto rendimiento y sin supervisión
  • Compatible con un entorno de secuencia de comandos basado en Python 3.5

Software AutoTEM 5

  • Preparación de muestras S/TEM in situ totalmente automatizada
  • Compatible con geometría invertida, plana y "top-down" (arriba-abajo)
  • Flujo de trabajo altamente configurable
  • Interfaz de usuario intuitiva, fácil de utilizar

Software Avizo

  • Compatibilidad con varios datos/varias vistas, multicanal, series temporales, datos de gran tamaño
  • Registro automático avanzado multimodo 2D/3D
  • Algoritmos de reducción de artefactos

Software EPU 2

  • Solución integrada en el microscopio para adquisición de partículas únicas
  • Optimizado para recolección de partículas de alto rendimiento
  • Compatible con película, cámaras CCD y detectores de electrones directos

Software Ifast

  • Grabador de macros para crear recetas más rápido
  • Electroforesis para funcionamiento nocturno sin supervisión
  • Herramientas de alineación: Reconocimiento de imágenes y detección de bordes

Software Inspect 3D

  • Filtros y herramientas de tratamiento de imágenes para correlación cruzada
  • Seguimiento de funciones para alineación de imágenes
  • Técnica de reconstrucción algebraica para la comparación de proyección iterativa

Software Maps

  • Adquiera imágenes de alta resolución en grandes áreas
  • Encuentre fácilmente áreas de interés
  • Automatice el proceso de adquisición de imágenes

Software NEXS

  • Sincroniza automáticamente la posición/aumento entre NEXS y el sistema de edición de circuitos para experiencia de usuario perfecta
  • Se conecta con la mayoría de herramientas de Thermo Scientific utilizadas para EFA, PFA y el espacio de edición de circuitos

Software Pergeos

  • Compatibilidad con varios datos/varias vistas, multicanal, series temporales, datos de gran tamaño
  • Simulación de flujo de dos fases
  • Tomografía computarizada de energía dual (DECT)

Software Tomography 4.0

  • Algoritmo de reconstrucción sobre la marcha
  • Adquisición de TEM y STEM completamente automática
  • Calibración única
  • Flujo de trabajo sencillo desde datos a estructuras

Software Velox

  • Panel de experimentos en el lado izquierdo de la ventana de procesamiento.
  • Asignación elemental cuantitativa
  • Interfaz de diseño de detector interactiva para control y configuración de experimentos reproducibles

Reconstrucción en 3D

  • Interfaz de usuario intuitiva, uso máximo
  • Interfaz de usuario totalmente automatizada e intuitiva
  • Basada en la tecnología 'shape from shading' (forma a través de sombreados), sin inclinación de etapas necesaria

AsbestoMetric

  • Herramienta automatizada para adquisición de imágenes, detección de fibras y generación de informes
  • Análisis por EDX asistido con revisión de fibras
  • Informe de la Norma ISO estándar sobre el análisis de asbesto

Elemental Mapping

  • Información rápida y fiable sobre la distribución de elementos de la muestra o la línea seleccionada
  • Resultados fácilmente exportados y comunicados

FiberMetric

  • Ahorre tiempo mediante mediciones automáticas
  • Recopilación rápida y automática de todos los datos estadísticos
  • Visualización y medición de nanofibras y microfibras con exactitud incomparable

Nanobuilder

  • Creación de prototipos basados en CAD
  • Ejecución de trabajos totalmente automatizada, navegación por etapas, fresado y depósito
  • Alineación automática y control de desviación

ParticleMetric

  • Software integrado en ProSuite para análisis en línea y fuera de línea
  • Funciones de correlación de partículas como diámetro, circularidad, relación de aspecto y convexidad
  • Creación de conjuntos de datos de imágenes con la asignación de imágenes automatizada

Interfaz de programación de Phenom

  • Personalice su SEM para que se ajuste al flujo de trabajo
  • Aumente la eficacia y ahorre tiempo con procesos automatizados
  • Controle la configuración de imagen y la navegación por etapas

PoroMetric

  • Correlaciona las características de los poros como el área, la relación de aspecto, el eje principal y el secundario
  • Adquiera imágenes directamente desde el SEM de escritorio
  • Datos estadísticos con imágenes de alta calidad

ProSuite

  • Recolección automatizada de imágenes
  • Control remoto en tiempo real
  • Las aplicaciones estándar incluyen: Asignación automatizada de imágenes + interfaz de usuario remoto

Quartz PCI/CFR

  • Trazabilidad de adquisición de imágenes SEM compatible con la norma CFR 21, parte 11
  • Compatible con los SEM de escritorio Phenom XL y Phenom Pro
  • Compatible con el sistema operativo Windows 10 de 64 bits

μHeater

  • Solución de calentamiento ultrarrápido para adquisición de imágenes de alta resolución in situ
  • Totalmente integrada
  • Temperaturas de hasta 1200 °C

μPolisher

  • Potencial para permitir un gran número de aplicaciones novedosas e inexploradas
  • Fresado de muy baja energía
  • Tamaño de punto pequeño para un tratamiento preciso de la superficie local

Filtros de adquisición de imágenes Selectris y Selectris X

  • Diseñados para adquisición de imágenes de alta estabilidad y resolución atómica
  • Funcionamiento sencillo
  • En combinación con el detector de electrones directos Falcon 4 de Thermo Scientific

Cámara Ceta D

  • Rendimiento óptimo en cualquier tensión alta (20–300 kV)
  • Compatible con filtros postcolumna y espectrómetros
  • Adquisición de películas para estudios dinámicos

Detector Falcon 4

  • Eficacia cuántica de investigación de primer nivel
  • Tiempo de exposición 10 veces menor que el de su predecesor
  • Totalmente integrado en el software Thermo Scientific
  • Gestión de datos integrada

Soporte de muestras de reducción de carga

  • Aumento de hasta 8 veces más
  • Preparación más rápida de muestras
  • Se pueden obtener imágenes de las muestras sin conductividad en su estado natural

Soporte de muestras de alimentación eléctrica

  • Conecte sondas eléctricas a la muestra para mediciones in situ
  • La altura de la muestra se puede ajustar manualmente de 0 a 25 mm
  • Mediciones de corrientes de la sonda

Soporte de muestras eucéntricas

  • Rotación en dos dimensiones e inclinación eucéntrica en un SEM de escritorio
  • Tiempo rápido de obtención de imágenes con carga de muestras en < 1 minuto
  • Módulo de visualización de muestras 3D en tiempo real

Insertos de filtro

  • Análisis de residuos de filtro y análisis de asbesto
  • Disponible en dos modelos compatibles con filtros de 47 mm (1,85 pulg) y de 25 mm (1 pulgada)
  • Uso con el SEM de escritorio Phenom

Soporte de muestras metalúrgicas

  • Diseñado para su compatibilidad con muestras con montaje de resina
  • Solución preferida para la metalurgia y al trabajar con insertos
  • Tamaño de la muestra de hasta 32 mm de diámetro y 30 mm de altura

Soporte de muestras de microherramientas

  • Sujeción rápida
  • Inclinación y la rotación que permiten una fácil colocación de la muestra
  • No se requieren herramientas adicionales para la carga de muestras

Soporte de muestras de rotación e inclinación motorizado

  • Intervalo de inclinación de -10° a +45°
  • Rotación continua en dos dimensiones en 360°
  • Controlado por la aplicación ProSuite de control de movimiento exclusiva

Dispersor de partículas Nebula

  • Método estándar para la dispersión uniforme de polvo seco
  • Evita las agrupaciones de partículas
  • Se utiliza con el SEM de escritorio Phenom

Insertos de montaje de resina

  • Concepto exclusivo del soporte de muestras
  • Disponible en 3 modelos compatibles con muestras de tamaño estándar de 25 mm (~1 pulgada), 32 mm (aproximadamente 1⁄4 pulgada) y 40 mm (aproximadamente 1⁄4 pulgada) de diámetro

Soporte de muestras estándar

  • Etapa compacta que permite el análisis de muestras de hasta 100 mm x 100 mm
  • Se puede ampliar con 3 tipos de resina o insertos de montaje metalúrgicos
  • Se utiliza con el SEM de escritorio Phenom

Insertos de soporte de muestras

  • Adquisición más rápida de imágenes transversales de los revestimientos y muestras multicapa
  • Fácil sujeción sin necesidad de tornillos ni herramientas adicionales
  • No es necesario utilizar tornillos ni herramientas para fijar la muestra

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Soporte de muestras de tracción

  • Determinación de la calidad del lote
  • Determinación de la uniformidad en la fabricación
  • Ayuda al proceso de diseño

Soporte de muestras controladas por temperatura

  • Rango de temperatura: desde + -25 °C hasta + +50 °C.
  • Precisión de la temperatura ±1,5 °C
  • Resolución de la visualización de la temperatura 0,1 °C

 

Preparación de muestras de TEM

La preparación de muestras de TEM se considera una de las tareas más importantes en la investigación científica de materiales. Sin embargo, también es una de las más difíciles y laboriosas. Las últimas innovaciones tecnológicas de la tecnología DualBeam, junto con nuestras completas soluciones de software y experiencia en aplicaciones, permiten una preparación rápida y sencilla de muestras de S/TEM (microscopía electrónica de barrido/transmisión) específicas para una ubicación y de alta calidad para una amplia gama de materiales. El software Thermo Scientific AutoTEM añade la capacidad de preparar muestras de TEM in situ, de forma totalmente automatizada y sin supervisión, lo que aumenta significativamente el rendimiento y proporciona resultados de nivel experto, independientemente de su experiencia.

Análisis estructural

Cuando se combina con el software Thermo Scientific Auto Slice & View , los instrumentos DualBeam proporcionan información en 3D sobre la estructura de la muestra mediante la eliminación selectiva (fresado) del material para la caracterización de subsuperficies. La reconstrucción digital genera conjuntos de datos 3D multimodales que pueden consistir en una variedad de señales, incluyendo imágenes de retrodispersión de electrones (BSE) para obtener el máximo contraste de materiales, espectroscopía de energía dispersiva (EDS) para información de composición y difracción de retrodispersión de electrones (EBSD) para información microestructural y cristalográfica.

La capacidad SEM de los instrumentos DualBeam ofrece detalles a nanoescala en una amplia gama de condiciones de trabajo, desde información estructural obtenida a 30 keV en modo STEM hasta información detallada de la superficie a energías bajas. Con exclusivos detectores en lente, los sistemas DualBeam están diseñados para la adquisición simultánea de datos de electrones secundarios angulares/selectivos de energía y BSE. Nuestros exclusivos diseños de columna SEM proporcionan resultados rápidos, exactos y reproducibles, que incluyen alineaciones de lente totalmente automatizadas.

Creación de prototipos a nanoescala

Las capacidades de creación a nanoescala de los sistemas DualBeam pueden reducir sustancialmente el tiempo de investigación y desarrollo. La creación rápida de prototipos con FIB permite realizar pruebas de funcionalidad antes de que se establezca el diseño final del dispositivo para la fabricación por lotes. El depósito de diferentes materiales provocado por el haz se puede combinar con el fresado FIB sin necesidad de alinear pasos de litografía adicionales; los patrones se pueden añadir directamente a las estructuras depositadas o los patrones existentes se pueden modificar. Los sustratos con patrones finales están disponibles inmediatamente para su posterior procesamiento o caracterización.

 

Reconstrucción 3D de una carcasa de filtro de aceite de automoción, obtenida con el software Helios Hydra DualBeam y Auto Slice & View 4 para el corte en secciones en serie automatizadas. Ancho de campo horizontal = 350 µm.
Reconstrucción 3D de una carcasa de filtro de aceite de automoción, obtenida con el software Helios Hydra DualBeam y Auto Slice & View 4 para el corte en secciones en serie automatizadas. Ancho de campo horizontal = 350 µm.
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