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Focused ion beam scanning electron microscopy
The Thermo Scientific Scios 2 DualBeam is an ultra-high-resolution analytical focused ion beam scanning electron microscopy (FIB-SEM) system that provides outstanding sample preparation and 3D characterization performance for a wide range of samples, including magnetic and non-conductive materials. With innovative features designed to increase throughput, precision, and ease of use, the Scios 2 DualBeam is an ideal solution to meet the needs of scientists and engineers in advanced research and analysis across academic, governmental, and industrial research environments.
Subsurface characterization
Subsurface or three-dimensional characterization is often required to better understand the structure and properties of a sample. The Scios 2 DualBeam, with optional Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) Software, allows for high-quality, fully automated acquisition of multi-modal 3D datasets, including backscattered electron (BSE) imaging for maximum materials contrast, energy-dispersive spectroscopy (EDS) for compositional information, and electron backscatter diffraction (EBSD) for microstructural and crystallographic information. Combined with Thermo Scientific Avizo Software, the Scios 2 DualBeam delivers a unique workflow solution for high-resolution, advanced 3D characterization and analysis at the nanometer scale.
Backscattered electron and secondary electron imaging
The innovative NICol electron column provides the foundation of the system’s high-resolution imaging and detection capabilities. It offers excellent nanoscale details, with a wide range of working conditions, whether operating at 30 keV in STEM mode (to access structural information) or at lower energies (to obtain charge-free, detailed surface information). With its unique in-lens Thermo Scientific Trinity Detection System, the Scios 2 DualBeam is designed for simultaneous acquisition of angular and energy-selective secondary electron (SE) and BSE imaging. Fast access to detailed nanoscale information is possible not only top-down, but also on tilted specimens or cross-sections. Optional below-the-lens detectors and an electron-beam-deceleration mode ensure fast and easy simultaneous collection of all signals, revealing the smallest features in a material surface or cross-section. Fast, accurate, and reproducible results are obtained thanks to the unique NICol column design with full auto alignments.
TEM sample preparation
Scientists and engineers constantly face new challenges that require highly localized characterization of increasingly complex samples with ever smaller features. The latest technological innovations of the Scios 2 DualBeam, in combination with the optional, easy-to-use, comprehensive Thermo Scientific AutoTEM 4 Software and Thermo Fisher Scientific’s application expertise, allow for fast and easy preparation of site-specific high-resolution S/TEM samples for a wide range of materials. In order to achieve high-quality results, final polishing with low-energy ions is required to minimize surface damage on the sample. The Thermo Scientific Sidewinder HT Focused Ion Beam (FIB) column not only delivers high-resolution imaging and milling at high voltages but also offers good low-voltage performance, enabling the creation of high-quality TEM lamella.
DualBeam Microscopes
Scios 2 DualBeam
Focused ion beam scanning electron microscope for ultra-high resolution, high-quality sample preparation and 3D characterization.
Join the Conversation
Fast and easy preparation
High-quality, site-specific, TEM and atom probe samples using the Sidewinder HT ion column.
Ultra-high resolution imaging
Using the Thermo Scientific NICol Electron Column with best-in-class performance on the widest range of samples, including magnetic and nonconductive materials.
The most complete sample information
With sharp, refined, and charge-free contrast obtained from a variety of integrated in-column and below-the-lens detectors.
High-quality, multi-modal subsurface and 3D information
Access the high-quality, multi-modal subsurface and 3D information with precise targeting of the region of interest using optional AS&V4 Software.
Precise sample navigation
Tailored to individual application needs thanks to the high flexibility 110 mm stage and in-chamber Thermo Scientific Nav-Cam Camera.
Artifact-free imaging and patterning
With dedicated modes such as DCFI, drift suppression and Thermo Scientific SmartScan Modes.
Optimize your solution
Meet specific application requirements thanks to flexible DualBeam configuration, including optional low-vacuum mode with up to 500 Pa chamber pressure.
Hoja de estilo para las especificaciones de la tabla de productos
| Electron beam resolution |
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| Electron beam parameter space |
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| Ion optics |
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| Detectors |
|
| Stage and sample | Flexible 5-axis motorized stage:
|
* Available as an option, configuration dependent
3D reconstruction of W-Mo-Cu sample using a combination of BSE (green-blue) and EDS (orange) data, which has been produced with a Scios DualBeam, AS&V4 and Avizo software.
Alumina nanospheres imaged with Scios 2 DualBeam at 1 kV. Image courtesy of Mark Darus, Thermo Fisher Scientific.
Introducing the Thermo Scientific Scios 2 FIB-SEM. Learn how this ultra-high resolution analytical system provides outstanding sample preparation and 3D characterization performance for the widest range of samples, including magnetic and nonconductive materials.
Webinar: Advanced DualBeam automation for every need
Register for our exclusive webinar to learn how easy it has become to automate daily routine tasks on your DualBeam instrument using our Python-based AutoScript 4 API. Automation can also increase throughput, reproducibility and ease of use, quicken time to data and boost efficiency.
3D reconstruction of W-Mo-Cu sample using a combination of BSE (green-blue) and EDS (orange) data, which has been produced with a Scios DualBeam, AS&V4 and Avizo software.
Alumina nanospheres imaged with Scios 2 DualBeam at 1 kV. Image courtesy of Mark Darus, Thermo Fisher Scientific.
Introducing the Thermo Scientific Scios 2 FIB-SEM. Learn how this ultra-high resolution analytical system provides outstanding sample preparation and 3D characterization performance for the widest range of samples, including magnetic and nonconductive materials.
Webinar: Advanced DualBeam automation for every need
Register for our exclusive webinar to learn how easy it has become to automate daily routine tasks on your DualBeam instrument using our Python-based AutoScript 4 API. Automation can also increase throughput, reproducibility and ease of use, quicken time to data and boost efficiency.
Control de proceso
La industria moderna exige un alto rendimiento con una calidad superior, un equilibrio que se mantiene a través de un control de procesos sólido. Las herramientas SEM y TEM con software de automatización exclusivo proporcionan información rápida y multiescala para la supervisión y la mejora de procesos.
Control de calidad
El control y garantía de calidad son esenciales en la industria moderna. Ofrecemos una gama de herramientas de EM y espectroscopía para el análisis multiescala y multimodal de defectos, lo que le permite tomar decisiones fiables e informadas para el control y la mejora de procesos.
Investigación sobre materiales fundamentales
Se investigan nuevos materiales a escalas cada vez más pequeñas para lograr el máximo control de sus propiedades físicas y químicas. La microscopía electrónica proporciona a los investigadores información clave sobre una amplia variedad de características materiales a escala nanométrica.
Desarrollo y trazabilidad de semiconductores
Microscopía electrónica avanzada, haz de iones enfocado y técnicas analíticas asociadas para identificar soluciones viables y métodos de diseño para la fabricación de dispositivos semiconductores de alto rendimiento.
Metrología y rampa de producción
Ofrecemos capacidades analíticas avanzadas para el análisis de defectos, metrología y control de procesos, diseñadas para ayudar a aumentar la productividad y mejorar el rendimiento en una amplia gama de aplicaciones y dispositivos semiconductores.
Análisis de fallos de semiconductores
Las estructuras de dispositivos semiconductores cada vez más complejas dan lugar a que existan más ubicaciones en las que se oculten los defectos inducidos por fallos. Nuestros flujos de trabajo de última generación le ayudarán a localizar y caracterizar los sutiles problemas eléctricos que afectan a la producción, al rendimiento y a la fiabilidad.
Caracterización física y química
La demanda continua de los consumidores impulsa la creación de dispositivos electrónicos más pequeños, más rápidos y más baratos. Su producción se basa en instrumentos y flujos de trabajo de alta productividad que generan imágenes, analizan y caracterizan una amplia gama de semiconductores y dispositivos de visualización.
Preparación de muestras (S)TEM
Los microscopios DualBeam permiten la preparación de muestras ultrafinas de alta calidad para el análisis (S)TEM. Gracias a la automatización avanzada, los usuarios con cualquier nivel de experiencia pueden obtener resultados de nivel experto para una amplia gama de materiales.
Caracterización de materiales en 3D
El desarrollo de materiales suele requerir caracterización en 3D en varias escalas. Los instrumentos DualBeam permiten el corte en secciones en serie de grandes volúmenes y la posterior adquisición de imágenes SEM a escala de nanómetro, las cuales se pueden procesar en reconstrucciones 3D de la muestra de alta calidad.
Preparación de muestras de APT
La tomografía de sonda atómica (APT) proporciona un análisis de composición de materiales en 3D con resolución atómica. La microscopía Focused ion beam (FIB) es una técnica esencial para la preparación de muestras de alta calidad, orientación y sitio específico para la caracterización de APT.
Corte transversal
El corte transversal proporciona una visión adicional, ya que descubre información de la subsuperficie. Los instrumentos DualBeam tienen columnas FIB para poder realizar el corte transversal con alta calidad. Con la automatización, se puede realizar el procesamiento de muestras de alto rendimiento sin supervisión.
Experimentación in situ
La observación directa y en tiempo real de los cambios microestructurales con microscopía electrónica es necesaria para comprender los principios subyacentes de los procesos dinámicos como la recristalización, el crecimiento del grano y la transformación de fases durante el calentamiento, refrigeración y humectación.
Análisis de escala múltiple
Los novedosos materiales se deben analizar a una resolución cada vez mayor, manteniendo el contexto más amplio de la muestra. El análisis de escala múltiple permite la correlación de varias herramientas y modalidades de obtención de imágenes, tales como microTC de rayos X, DualBeam, PFIB láser, SEM y TEM.
Preparación de muestras de dispositivos semiconductores
Los sistemas DualBeam de Thermo Scientific proporcionan una preparación precisa de las muestras de TEM para el análisis a escala atómica de dispositivos semiconductores. La automatización y las tecnologías de aprendizaje automático avanzado producen muestras de alta calidad, en la ubicación correcta y con un bajo costo por muestra.
Preparación de muestras (S)TEM
Los microscopios DualBeam permiten la preparación de muestras ultrafinas de alta calidad para el análisis (S)TEM. Gracias a la automatización avanzada, los usuarios con cualquier nivel de experiencia pueden obtener resultados de nivel experto para una amplia gama de materiales.
Caracterización de materiales en 3D
El desarrollo de materiales suele requerir caracterización en 3D en varias escalas. Los instrumentos DualBeam permiten el corte en secciones en serie de grandes volúmenes y la posterior adquisición de imágenes SEM a escala de nanómetro, las cuales se pueden procesar en reconstrucciones 3D de la muestra de alta calidad.
Preparación de muestras de APT
La tomografía de sonda atómica (APT) proporciona un análisis de composición de materiales en 3D con resolución atómica. La microscopía Focused ion beam (FIB) es una técnica esencial para la preparación de muestras de alta calidad, orientación y sitio específico para la caracterización de APT.
Corte transversal
El corte transversal proporciona una visión adicional, ya que descubre información de la subsuperficie. Los instrumentos DualBeam tienen columnas FIB para poder realizar el corte transversal con alta calidad. Con la automatización, se puede realizar el procesamiento de muestras de alto rendimiento sin supervisión.
Experimentación in situ
La observación directa y en tiempo real de los cambios microestructurales con microscopía electrónica es necesaria para comprender los principios subyacentes de los procesos dinámicos como la recristalización, el crecimiento del grano y la transformación de fases durante el calentamiento, refrigeración y humectación.
Análisis de escala múltiple
Los novedosos materiales se deben analizar a una resolución cada vez mayor, manteniendo el contexto más amplio de la muestra. El análisis de escala múltiple permite la correlación de varias herramientas y modalidades de obtención de imágenes, tales como microTC de rayos X, DualBeam, PFIB láser, SEM y TEM.
Preparación de muestras de dispositivos semiconductores
Los sistemas DualBeam de Thermo Scientific proporcionan una preparación precisa de las muestras de TEM para el análisis a escala atómica de dispositivos semiconductores. La automatización y las tecnologías de aprendizaje automático avanzado producen muestras de alta calidad, en la ubicación correcta y con un bajo costo por muestra.
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