Materials characterization

Advanced materials characterization labs require access to the latest techniques and will push analytical tools, including SEMs, to the extremes of their capabilities. Most of these labs are multi-user facilities that accommodate users with varying degrees of experience. Time on the microscope is precious, and excessive time spent on maintenance, alignments, training, or image optimization needs to be avoided.

Apreo 2 Scanning Electron Microscope

The new Thermo Scientific Apreo 2 SEM expands access to high-performance imaging and analytics to all levels of microscopy expertise. With Thermo Scientific ChemiSEM Technology, a unique live elemental imaging capability, compositional information is always available, through the most intuitive interface. Eliminating all the hassle associated with typical EDS implementations, ChemiSEM Technology offers unprecedented time to result and ease of use.

The Apreo 2 SEM poses much smaller demands on users and lab managers with Thermo Scientific SmartAlign Technology, an optics system that aligns itself. Furthermore, the Apreo 2 SEM automates the image fine-tuning process with Thermo Scientific FLASH technology. FLASH Technology executes any necessary corrections to lens centering, the stigmators, and final focus of the image. The combination of these technologies means that users new to electron microscopy can access the high-end performance of the Apreo 2 SEM. Additionally, the Apreo 2 SEM is the only SEM with a 1-nanometer resolution at 10 mm analytical working distance. No longer does long working distance mean poor imaging. With the Apreo 2 SEM, anyone will be able to confidently get great results.

Apreo 2 SEM video teaser

Apreo 2 Scanning Electron Microscope features

High performance, resolution, and contrast

The combination of advanced optics, detection and automation in Apreo 2 makes obtaining high resolution imaging possible even for users new to SEM.

Lithium Ion cathode

Wide range of sample types

Apreo 2 was designed for maximum flexibility. High quality, high resolution imaging is possible regardless of target samples properties. Insulators, beam sensitive or magnetic materials can all be imaged with ease thanks to Apreo 2's unique optics, detection and beam control options.

Live quantitative EDS with ChemiSEM

Elemental information at your fingertips with ChemiSEM, which provides live quantitative elemental mapping for unprecedented time to result and ease of use.

Quick and easy sample loading

Easy access to the stage, a convenient multi-sample holder, and a fast pump down ensures no time is wasted loading samples. An automated routine to insert and remove a pressure limiting aperture (PLA) allows for a seamless switch between high and low vacuum without opening the chamber.

Advanced automation

From optics, to image acquisition, Apreo 2 provides a range of automated features to make imaging time as effective and efficient as possible. Flash Technology automates image fine tuning The unique Undo function permits efficient exploration of imaging conditions Thermo Scientific Maps software automates large area acquisition with up to 4 different simultaneous signals

Performance at long working distance

Apreo 2 is the only SEM that offers high-resolution performance (1nm) and excellent image quality at analytical working distance (10mm). Sample morphology, topography and surface information can all be simultaneously explored while being at a safe distance from the pole piece. Thanks to its high-speed and high-sensitivity in-lens backscattered detector, BSE are still detected even at extremely low beam currents (as low as few pA).


Apreo 2 Scanning Electron Microscope specifications

Hoja de estilo para las especificaciones de la tabla de productos
 

Apreo 2 S

Apreo 2 C

Resolution

  • 0.9 nm at 1 kV
  • 0.8 nm at 1 kV (beam decel.)
  • 1.0 nm at 1 kV, 10 mm working distance (beam decel.)
  • 0.8 nm at 500 V (beam decel.)
  • 1.2 nm at 200 V (beam decel.)
  • 1.2 nm at 1 kV
  • 1.0 nm at 1 kV (beam decel.)
  • 1.2 nm at 500 V (beam decel.)

Standard detectors

  • ETD, T1, T2, T3, IR-CCD, Nav-Cam+
  • ETD, T1, T2, IR-CCD, Nav-Cam+

PivotBeam

  • Mode for selected area electron channeling (also known as "rocking beam" mode).
  • Not applicable

Optional detectors

  • DBS, LVD, DBS-GAD, STEM 3+, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC, etc.

ChemiSEM Technology (optional)

  • Live quantitative SEM image coloring is available based on energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS). Point & ID, linescan, region, element maps, and reliable Noran quantification are included.

Landing energy range

  • 20 eV – 30 keV

Stage bias (beam deceleration)

  • -4000 V to +600 V standard with every system

Low vacuum mode

  • Optional: 10 – 500 Pa chamber pressure

Stage

  • 5-axis motorized eucentric stage, 110 x 110 mm2 with a 105° tilt range. Maximum sample weight: 5 kg in un-tilted position.

Maximum beam current

  • 50 nA (400 nA configuration also available)

Standard sample holder

  • Multi-purpose holder, uniquely mounts directly onto the stage, hosts up to 18 standard stubs (Ø12 mm), three pre-tilted stubs, cross-section samples and two pre-tilted row-bar holders (38° and 90°) and does not require tools to mount a sample

Chamber

  • 340 mm inside width, 12 ports, three simultaneous EDS detectors possible, two at 180°, coplanar EDS/EBSD orthogonal to the tilt axis of the stage
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Komodo Tabs

Resources

Long working distance imaging on palladium nanoparticles on cerium oxide matrix.

Easy nanoparticles imaging at 10 mm working distance.

Highlight contrast that would otherwise go unnoticed

High material contrast and easy platinum nanoparticles imaging at 10 mm working.

This video demonstrates how Apreo's Trinity detection system quickly answers all our questions about a sample. 

On-demand webinar: Introduction to Apreo 2 - Unmatched versatility powered by ChemiSEM Technology

This is an introduction on-demand webinar to be followed by a more extensive overview of the Apreo 2 SEM, its features, functionalities, ChemiSEM technology, and a demonstration of the Apreo 2 in action. Attend this on-demand webinar to:

  • Learn about the latest in analytical UHR-SEM from Thermo Fisher Scientific.
  • Get introduced to the Apreo 2 SEM.

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Long working distance imaging on palladium nanoparticles on cerium oxide matrix.

Easy nanoparticles imaging at 10 mm working distance.

Highlight contrast that would otherwise go unnoticed

High material contrast and easy platinum nanoparticles imaging at 10 mm working.

This video demonstrates how Apreo's Trinity detection system quickly answers all our questions about a sample. 

On-demand webinar: Introduction to Apreo 2 - Unmatched versatility powered by ChemiSEM Technology

This is an introduction on-demand webinar to be followed by a more extensive overview of the Apreo 2 SEM, its features, functionalities, ChemiSEM technology, and a demonstration of the Apreo 2 in action. Attend this on-demand webinar to:

  • Learn about the latest in analytical UHR-SEM from Thermo Fisher Scientific.
  • Get introduced to the Apreo 2 SEM.

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Applications

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Investigación sobre materiales fundamentales

Se investigan nuevos materiales a escalas cada vez más pequeñas para lograr el máximo control de sus propiedades físicas y químicas. La microscopía electrónica proporciona a los investigadores información clave sobre una amplia variedad de características materiales a escala nanométrica.

 

Quality Control_Thumb_274x180_144DPI

Control de calidad
 

El control y garantía de calidad son esenciales en la industria moderna. Ofrecemos una gama de herramientas de EM y espectroscopía para el análisis multiescala y multimodal de defectos, lo que le permite tomar decisiones fiables e informadas para el control y la mejora de procesos.

 

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Desarrollo y trazabilidad de semiconductores

Microscopía electrónica avanzada, haz de iones enfocado y técnicas analíticas asociadas para identificar soluciones viables y métodos de diseño para la fabricación de dispositivos semiconductores de alto rendimiento.

yield_ramp_metrology_2_thumb_274x180

Metrología y rampa de producción

Ofrecemos capacidades analíticas avanzadas para el análisis de defectos, metrología y control de procesos, diseñadas para ayudar a aumentar la productividad y mejorar el rendimiento en una amplia gama de aplicaciones y dispositivos semiconductores.

Análisis de fallos de semiconductores

Análisis de fallos de semiconductores

Las estructuras de dispositivos semiconductores cada vez más complejas dan lugar a que existan más ubicaciones en las que se oculten los defectos inducidos por fallos. Nuestros flujos de trabajo de última generación le ayudarán a localizar y caracterizar los sutiles problemas eléctricos que afectan a la producción, al rendimiento y a la fiabilidad.

physical_characterization_thumb_274x180_144dpi

Caracterización física y química

La demanda continua de los consumidores impulsa la creación de dispositivos electrónicos más pequeños, más rápidos y más baratos. Su producción se basa en instrumentos y flujos de trabajo de alta productividad que generan imágenes, analizan y caracterizan una amplia gama de semiconductores y dispositivos de visualización.


Techniques

ColorSEM

Mediante la utilización de EDS en tiempo real (espectroscopia de rayos X por dispersión de energía) con cuantificación en tiempo real, la tecnología ColorSEM transforma las imágenes SEM en una técnica de color. Cualquier usuario puede adquirir datos elementales de forma continua para obtener información más completa que nunca.

Más información ›

Espectroscopia de energía dispersiva

La espectroscopía de energía dispersiva (EDS) recopila información elemental detallada junto con imágenes de microscopía electrónica, proporcionando un contexto de composición esencial para las observaciones de EM. Con EDS, se puede determinar la composición química desde barridos de superficie rápidos y holísticos hasta átomos individuales.

Más información ›

Adquisición de imágenes de muestras calientes

El estudio de los materiales en condiciones reales suele implicar el trabajo a altas temperaturas. El comportamiento de los materiales cuando se recristalizan, derriten, deforman o reaccionan ante el calor se puede estudiar in situ con la microscopía electrónica de barrido o con las herramientas DualBeam.

Más información ›

Catodoluminiscencia

La catodoluminiscencia (CL) describe la emisión de luz de un material cuando se excita por un haz de electrones. Esta señal, captada por un detector de CL especializado, contiene información sobre la composición de la muestra, defectos de cristal o propiedades fotónicas.

Más información ›

Análisis de escala múltiple

Los novedosos materiales se deben analizar a una resolución cada vez mayor, manteniendo el contexto más amplio de la muestra. El análisis de escala múltiple permite la correlación de varias herramientas y modalidades de obtención de imágenes, tales como microTC de rayos X, DualBeam, PFIB láser, SEM y TEM.

Más información ›

Adquisición de imágenes y análisis de semiconductores

Thermo Fisher Scientific ofrece microscopios electrónicos de barrido para todas las funciones de un laboratorio de semiconductores, desde tareas generales de adquisición de imágenes hasta técnicas avanzadas de análisis de fallos que requieren mediciones precisas de contraste de tensión.

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ColorSEM

Mediante la utilización de EDS en tiempo real (espectroscopia de rayos X por dispersión de energía) con cuantificación en tiempo real, la tecnología ColorSEM transforma las imágenes SEM en una técnica de color. Cualquier usuario puede adquirir datos elementales de forma continua para obtener información más completa que nunca.

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Espectroscopia de energía dispersiva

La espectroscopía de energía dispersiva (EDS) recopila información elemental detallada junto con imágenes de microscopía electrónica, proporcionando un contexto de composición esencial para las observaciones de EM. Con EDS, se puede determinar la composición química desde barridos de superficie rápidos y holísticos hasta átomos individuales.

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Adquisición de imágenes de muestras calientes

El estudio de los materiales en condiciones reales suele implicar el trabajo a altas temperaturas. El comportamiento de los materiales cuando se recristalizan, derriten, deforman o reaccionan ante el calor se puede estudiar in situ con la microscopía electrónica de barrido o con las herramientas DualBeam.

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Catodoluminiscencia

La catodoluminiscencia (CL) describe la emisión de luz de un material cuando se excita por un haz de electrones. Esta señal, captada por un detector de CL especializado, contiene información sobre la composición de la muestra, defectos de cristal o propiedades fotónicas.

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Análisis de escala múltiple

Los novedosos materiales se deben analizar a una resolución cada vez mayor, manteniendo el contexto más amplio de la muestra. El análisis de escala múltiple permite la correlación de varias herramientas y modalidades de obtención de imágenes, tales como microTC de rayos X, DualBeam, PFIB láser, SEM y TEM.

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Adquisición de imágenes y análisis de semiconductores

Thermo Fisher Scientific ofrece microscopios electrónicos de barrido para todas las funciones de un laboratorio de semiconductores, desde tareas generales de adquisición de imágenes hasta técnicas avanzadas de análisis de fallos que requieren mediciones precisas de contraste de tensión.

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Servicios de microscopía electrónica

Para garantizar un rendimiento óptimo del sistema, le proporcionamos acceso a una red de expertos de primer nivel en servicios de campo, asistencia técnica y piezas de repuesto certificadas.

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