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Verios 5 XHR Scanning Electron Microscope
The Verios 5 XHR SEM offers subnanometer resolution over the full 1 keV to 30 keV energy range with excellent materials contrast. Unprecedented levels of automation and ease-of-use make this performance accessible to users of any experience level.
Scanning electron microscopy characterization
- High resolution nanomaterial imaging with the UC+ monochromated electron source for sub-nanometer performance from 1-30 kV.
- High contrast on sensitive materials with excellent performance down to 20 eV landing energy and high-sensitivity in-column and below-the-lens detectors and signal filtering for low-dose operation and optimal contrast selection.
- Greatly reduced time to nanoscale information for users with any experience level using the Elstar electron column featuring SmartAlign and FLASH technologies.
- Consistent measurement results with ConstantPower lenses, electrostatic scanning and a choice of two piezoelectric stages.
- Flexibility for accessories with a large chamber.
- Unattended SEM operation with Thermo Scientific AutoScript 4 Software, an optional Python-based application programming interface.
SmartAlign technology
SmartAlign technology eliminates the need for any user alignments of the electron column, which not only minimizes maintenance, but also increases your productivity.
Innovative electron optics
Including Thermo Scientific’s patented UC+ gun (monochromator), ConstantPower lenses and electrostatic scanning for accurate and stable imaging.
Sub-nanometer resolution
Elstar Schottky monochromated (UC+) FESEM technology and performance with sub-nanometer resolution from 1 to 30 keV.
Consistent measurement results
The Verios is ideally suited to lab-based metrology applications, with the ability to calibrate to a NIST certified standard at high magnification.
Low dose operation and optimal contrast selection
Advanced suite of high-sensitivity, in-column & below-the-lens detectors and signal filtering for low dose operation and optimal contrast selection.
Easy access to beam landing energies
As low as 20 eV with very high resolution for true surface characterization.
Unattended SEM operation
With AutoScript 4 Software, an optional Python-based application programming interface (API).
Large chamber
With a choice of two precise and stable piezo-driven stages.
Hoja de estilo para las especificaciones de la tabla de productos
Electron beam resolution |
| |
Standard detectors | ETD, TLD, MD, ICD, beam current measurement, Nav-Cam+, IR-camera | |
Optional detectors | Optional detectors | EDS, EBSD, RGB cathodoluminescence, Raman, WDS, and more | |
Stage bias (beam deceleration, optional) | Up to -4000 V, included as standard | |
Sample cleaning | Integrated plasma cleaner, included as standard | |
Sample manipulation | Verios 5 UC
| Verios 5 HP
|
Chamber | 379 mm inside width, 21 ports | |
Software options |
| |
Style Sheet for Komodo Tabs
Webinar introducing the new Verios 5 XHR SEM
This webinar will present Thermo Scientific technology advances in electron source, electron column, detector and the user interface that enables routine ultra-low voltage SEM imaging and characterization. By watching the webinar, you’ll learn how to:
- Find out which level of information high-performance SEM is able to provide for nanomaterial samples
- Understand how different technologies on the Verios 5 work in unison for exceptional low-V performance
- Discover how user interface automation brings expert results to all users
Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs
This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:
- How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
- How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
- How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.
Nanotubes imaged with the Verios SEM.
MoS₂ flakes on TiO₂ nanotubes imaged at a landing energy of 700 eV.
Molecular-organic framework (MOF) imaged at 350 V
Mesoporous silica imaged at 1 kV
Webinar introducing the new Verios 5 XHR SEM
This webinar will present Thermo Scientific technology advances in electron source, electron column, detector and the user interface that enables routine ultra-low voltage SEM imaging and characterization. By watching the webinar, you’ll learn how to:
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- Understand how different technologies on the Verios 5 work in unison for exceptional low-V performance
- Discover how user interface automation brings expert results to all users
Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs
This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:
- How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
- How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
- How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.
Nanotubes imaged with the Verios SEM.
MoS₂ flakes on TiO₂ nanotubes imaged at a landing energy of 700 eV.
Molecular-organic framework (MOF) imaged at 350 V
Mesoporous silica imaged at 1 kV
Investigación sobre materiales fundamentales
Se investigan nuevos materiales a escalas cada vez más pequeñas para lograr el máximo control de sus propiedades físicas y químicas. La microscopía electrónica proporciona a los investigadores información clave sobre una amplia variedad de características materiales a escala nanométrica.
Desarrollo y trazabilidad de semiconductores
Microscopía electrónica avanzada, haz de iones enfocado y técnicas analíticas asociadas para identificar soluciones viables y métodos de diseño para la fabricación de dispositivos semiconductores de alto rendimiento.
Metrología y rampa de producción
Ofrecemos capacidades analíticas avanzadas para el análisis de defectos, metrología y control de procesos, diseñadas para ayudar a aumentar la productividad y mejorar el rendimiento en una amplia gama de aplicaciones y dispositivos semiconductores.
Análisis de fallos de semiconductores
Las estructuras de dispositivos semiconductores cada vez más complejas dan lugar a que existan más ubicaciones en las que se oculten los defectos inducidos por fallos. Nuestros flujos de trabajo de última generación le ayudarán a localizar y caracterizar los sutiles problemas eléctricos que afectan a la producción, al rendimiento y a la fiabilidad.
Caracterización física y química
La demanda continua de los consumidores impulsa la creación de dispositivos electrónicos más pequeños, más rápidos y más baratos. Su producción se basa en instrumentos y flujos de trabajo de alta productividad que generan imágenes, analizan y caracterizan una amplia gama de semiconductores y dispositivos de visualización.
Espectroscopia de energía dispersiva
La espectroscopía de energía dispersiva (EDS) recopila información elemental detallada junto con imágenes de microscopía electrónica, proporcionando un contexto de composición esencial para las observaciones de EM. Con EDS, se puede determinar la composición química desde barridos de superficie rápidos y holísticos hasta átomos individuales.
Adquisición de imágenes de muestras calientes
El estudio de los materiales en condiciones reales suele implicar el trabajo a altas temperaturas. El comportamiento de los materiales cuando se recristalizan, derriten, deforman o reaccionan ante el calor se puede estudiar in situ con la microscopía electrónica de barrido o con las herramientas DualBeam.
Análisis de escala múltiple
Los novedosos materiales se deben analizar a una resolución cada vez mayor, manteniendo el contexto más amplio de la muestra. El análisis de escala múltiple permite la correlación de varias herramientas y modalidades de obtención de imágenes, tales como microTC de rayos X, DualBeam, PFIB láser, SEM y TEM.
Catodoluminiscencia
La catodoluminiscencia (CL) describe la emisión de luz de un material cuando se excita por un haz de electrones. Esta señal, captada por un detector de CL especializado, contiene información sobre la composición de la muestra, defectos de cristal o propiedades fotónicas.
Metrología de SEM
La microscopía electrónica de barrido proporciona datos de metrología precisos y fiables a escala nanométrica. La metrología SEM automatizada de resolución ultraalta permite un tiempo de producción y un de comercialización más rápidos para aplicaciones de memoria, lógica y almacenamiento de datos.
Espectroscopia de energía dispersiva
La espectroscopía de energía dispersiva (EDS) recopila información elemental detallada junto con imágenes de microscopía electrónica, proporcionando un contexto de composición esencial para las observaciones de EM. Con EDS, se puede determinar la composición química desde barridos de superficie rápidos y holísticos hasta átomos individuales.
Adquisición de imágenes de muestras calientes
El estudio de los materiales en condiciones reales suele implicar el trabajo a altas temperaturas. El comportamiento de los materiales cuando se recristalizan, derriten, deforman o reaccionan ante el calor se puede estudiar in situ con la microscopía electrónica de barrido o con las herramientas DualBeam.
Análisis de escala múltiple
Los novedosos materiales se deben analizar a una resolución cada vez mayor, manteniendo el contexto más amplio de la muestra. El análisis de escala múltiple permite la correlación de varias herramientas y modalidades de obtención de imágenes, tales como microTC de rayos X, DualBeam, PFIB láser, SEM y TEM.
Catodoluminiscencia
La catodoluminiscencia (CL) describe la emisión de luz de un material cuando se excita por un haz de electrones. Esta señal, captada por un detector de CL especializado, contiene información sobre la composición de la muestra, defectos de cristal o propiedades fotónicas.
Metrología de SEM
La microscopía electrónica de barrido proporciona datos de metrología precisos y fiables a escala nanométrica. La metrología SEM automatizada de resolución ultraalta permite un tiempo de producción y un de comercialización más rápidos para aplicaciones de memoria, lógica y almacenamiento de datos.
Soluciones de microscopía electrónica para el análisis, investigación y caracterización
Recursos y asistencia para la microscopía electrónica
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