让分析更智能

在如今的半导体行业,气体中的微量杂质也会对生产过程造成很大影响,如设备性能降低、生产延迟和收益损失等。APIX δQ和APIX Quattro气体分析仪,可对超高纯大宗气体中的痕量杂质进行连续监测,与其他技术相比,其拥有更高的准确度和更低的检出限。APIX δQ和APIX Quattro气体分析仪结合大气压电离质谱技术(API-MS),先进的仪器设计,以及专业的过程分析软件,为您提供更加智能的大宗气体品质控制监测方案,保障高效生产,避免经济损失。

优势:
  • 稳定可靠的全自动在线监测系统
  • 超高灵敏度,最低检出限能够达到10 ppt以下,满足最严格质量要求的气体分析
  • 自动流路切换和校准
  • 快速在线测量,对气体异常能够立即响应
  • 工业标准通讯协议,便于工厂控制和集成

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GasWorks Process MS Software
GasWorks 过程质谱仪软件

Thermo Scientific GasWorks 过程质谱仪软件为 Prima PRO、Prima BT、Sentinel PRO 和 APIX 质谱仪提供了独一无二且功能强大的用户界面。即使不具备质谱仪操作经验,操作者也能够便捷地对过程分析仪进行设置、操作和维护。

软件包括丰富的功能和特色。不论是需要在生产过程异常时提供简单的报警指示,还是需要对过程理解和控制进行复杂的数据分析,Gasworks 软件都能提供有效的解决方案。

  • 支持分析仪独立运行
  • 无样品流路和分析方法设置数量限制
  • 具有严谨的数学方程处理复杂混合物数据
  • 具有到期密码和审核跟踪功能等多重安全保护
  • 支持接入第三方分析数据

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