광학적 고장 분리 | Meridian S | Thermo Fisher Scientific

Thermo Scientific Meridian S 시스템은 프로브 카드 또는 마이크로 프로브를 통한 정적 바이어스(static bias)로 자극된 소자에서 도립형 광자 방출(EMMI) 및 레이저 주사 현미경 분석을 수행하도록 설계되었습니다. 시스템의 전반적인 소유 비용이 수익성에서 중요하므로 Meridian S 시스템은 다양한 광자 방출 옵션과 듀얼 사이드 프로빙(dual-side probing) 유연성 뿐 아니라 레이저 전압 이미징/프로빙 및 소프트 결함 위치 파악 같은 동적 광학적 고장 분리를 위한 업그레이드 경로를 제공합니다.

Meridian S 시스템은 전 세계 고장 분석 실험실에서 사용하도록 설계되었으며 다음을 지원합니다.

체계적인 프로세스, 설계 또는 통합 문제 식별
임의의 전기적 고장에 대한 근본 원인 분리

주요 특징

활성 프로브(Active Probe) 기술을 통한 고장 진단

활성 프로브 기술을 사용하는 고장 진단 기능으로 활성화되는 고감도이며 lock-in 기능이 있는 노이즈-제거식 static laser stimulation/optical beam induced resistance change (SLS/OBIRCH) 검출.

광자 방출

단락 격리, 과다 누출 영역 감지, 활성 영역 맵핑을 위한 다양한 감도 요건을 만족하는 광자 방출 옵션.

사용 편의성

편의성과 생산성을 고려하여 설계한 프로빙 셋업 및 소프트웨어

확장 및 업그레이드 가능

확장 및 업그레이드가 가능한 광학 플랫폼.

사양

재품 표 사항에 대한 스타일시트

도립형(Inverted) 광학 시스템
콤보 시스템: LSM + PEM 표준(LSM 전용 또는 PEM 전용 구성 옵션 포함)
220VAC, 50Hz/60Hz
표준 9" x 9" load board interface 및 맞춤 가능한 대체품
Dual-side microprobing 및 Probe Card 구성 사용가능
스테이지 반복성 ≤ 2μm
결함 재검출을 위한 레이저 마커(옵션)

응용분야