광학적 고장 격리 | Meridian WS-DP | Thermo Fisher Scientific

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수율 창출 시간은 수익성에 매우 중요한 요소입니다. 따라서 첨단 파운드리, 집적 소자 제조업체, 팹리스 기업이 전기적 고장의 원인을 파악하기 위해 다이싱(dicing) 및 패키징(packaging) 후까지 기다리기에는 비용이 너무 많이 소요됩니다. Thermo Scientific Meridian WS-DP 시스템은 생산 테스터, 로드 보드(load board), 프로브 카드(probe card)를 사용하여 결함 위치를 더 빠르게 파악합니다.

Meridian 제품군의 모든 진단 옵션을 Meridian WS-DP에서 사용할 수 있습니다: LVx, 방출, LADA, OBIRCH.

Meridian WS-DP 시스템은 다음을 제공합니다:

체계적 결함을 식별할 수 있는 기능
전기 측정 처리량 크게 확대
결함 위치 파악 성공률 개선
물리적 분석 시간 단축

기능:

표준 InGaAs 기반 방출 검출 또는
고감도 확장된 파장 DBX 기반 방출 검출
특허를 받고 업계에서 검증된 "Point & Click" Solid Immersion Lens (SIL)
신속한 다이-투-다이(die-to-die) 인덱싱
고속 ATE 인터페이스를 통한 동적 고장 범위
정적 분석 및 동적 분석을 위한 레이저 주사 현미경(LSM)
가장 널리 사용되는 타사 EDA 애플리케이션과의 호환성

주요 특징

레이저 전압 이미징

레이저 전압 이미징(LVI)은 Meridian WS-DP 시스템의 특정 주파수에서 활성화되는 트랜지스터의 물리적 위치를 보여줍니다.

CW 레이저 전압 프로빙

Continuous wave laser voltage probing (CW-LVP)은 Meridian WS-DP 시스템에서 기능성 파형 데이터를 획득합니다.

광자 방출 현미경 검사

Meridian 플랫폼의 광자 방출 현미경 검사(PEM)는 고감도 InGaAs 또는 DBX 카메라와 수치가 높은 numerical aperture(NA) 수차-보정된 광학부의 최적화된 조합을 기반으로 합니다. Meridian WS-DP 시스템은 후면 장치 분석을 위한 고분해능 실리콘 관통 이미징 기능을 제공합니다. 낮은 노이즈와 고감도 성능으로 신호 대 노이즈 비율이 탁월한 방출 데이터를 가능하게 하므로 트랜지스터 수준에서 신속하게 고장을 감지할 수 있습니다. DBX 구성은 sub-0.5 Vdd 소자에서도 업계 최고의 결과를 제공합니다.

사양

재품 표 사항에 대한 스타일시트

기계식	ATE 호환성	상용 ATE 테스터 및 맞춤형 솔루션
	프로브 카드 / 로드 보드(Load Board)	9.5", 12", 18" 원형 프로브 카드 직접 프로브 로드 보드 440mm 및 300mm 프로브 카드 비표준 형상에 사용할 수 있는 맞춤형 솔루션
	프로브 핀 개수	<100>~10,000개 핀의 프로브 어레이
	웨이퍼 스테이지 진공	웨이퍼 안정성을 위한 20lbs 진공력
움직임 제어	다이-투-다이 스텝핑(Die-to-die stepping)	Sierra 소프트웨어에 통합 및 지원
	Platen 움직임	+/- 5도 회전 16um theta 분해능
	웨이퍼 / DUT 지원	9.5", 12", 18" 원형 프로브 카드 직접 프로브 로드 보드 440mm 및 300mm 프로브 카드 비표준 형상에 사용할 수 있는 맞춤형 솔루션
	XYZ 현미경 스테이지 정확도	1um
	XY 웨이퍼 스테이지 정확도	5um
	다이(die) 크기 호환성	광범위한 솔루션