The Thermo Scientific Meridian S System is designed to perform inverted photon emission (EMMI) and laser scanning microscopy analysis on devices stimulated by static bias via probe card or micro-probes. With the overall cost of ownership for the system being a critical aspect of profitability, the Meridian S System offers a range of photon emission options, dual-side probing flexibility and an upgrade path to dynamic optical fault isolation capabilities such as laser voltage imaging/probing and soft defect localization.

The Meridian S System is designed for use in failure analysis labs worldwide, aiding in:

  • Identification of systematic process, design or integration issues
  • Isolation of root cause for random electrical failures

Key Features

Fault Diagnostic with Active Probe Technology

High-sensitivity, lock-in capable, noise-eliminating static laser stimulation/optical beam induced resistance change (SLS/OBIRCH) detection enabled by Fault Diagnostic with Active Probe Technology.

Photon emission

Photon emission options spanning a range of sensitivity requirements for isolating shorts, detecting areas of excess leakage, and mapping active regions.

Ease-of use

Probing setup and software designed for ease-of-use and productivity.

Scalable and upgradable

Fully scalable and upgradable optical platform.


Specifications

Folha de estilo para especificações de tabela de produtos

Inverted optical system

Combo system: LSM + PEM standard, with optional LSM-only or PEM-only configurations

220VAC, 50Hz/60Hz

Standard 9” x 9” load board interface, plus customizable alternatives

Dual-side microprobing and Probe Card configurations available

Stage repeatability ≤2μm

Optional laser marker for defect redetection


Applications

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Desenvolvimento e localização de semicondutores

Microscopia eletrônica avançada, feixe de íon focalizado e técnicas analíticas associadas para identificar soluções viáveis e métodos de desenho para a fabricação de dispositivos semicondutores de alto desempenho.

Análise de falha de semicondutores

Análise de falha de semicondutores

Estruturas de dispositivos semicondutores cada vez mais complexas resultam em mais locais onde defeitos que induzem falhas podem se ocultar. Nossos fluxos de trabalho de última geração o ajudam a localizar e caracterizar problemas elétricos sutis que afetam o rendimento, o desempenho e a confiabilidade.


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Techniques

Isolamento de falha óptica

Projetos cada vez mais complexos dificultam o isolamento de falhas e defeitos na fabricação de semicondutores. As técnicas de isolamento óptico de falhas permitem analisar o desempenho de dispositivos eletricamente ativos para localizar defeitos críticos que causam falhas no dispositivo.

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Isolamento de falha óptica

Projetos cada vez mais complexos dificultam o isolamento de falhas e defeitos na fabricação de semicondutores. As técnicas de isolamento óptico de falhas permitem analisar o desempenho de dispositivos eletricamente ativos para localizar defeitos críticos que causam falhas no dispositivo.

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Serviços de microscopia eletrônica para
semicondutores

Para garantir o desempenho ideal do sistema, fornecemos acesso a uma rede de especialistas em serviços de campo, suporte técnico e peças de reposição certificadas.

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