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The Thermo Scientific Meridian S System is designed to perform inverted photon emission (EMMI) and laser scanning microscopy analysis on devices stimulated by static bias via probe card or micro-probes. With the overall cost of ownership for the system being a critical aspect of profitability, the Meridian S System offers a range of photon emission options, dual-side probing flexibility and an upgrade path to dynamic optical fault isolation capabilities such as laser voltage imaging/probing and soft defect localization.
The Meridian S System is designed for use in failure analysis labs worldwide, aiding in:
High-sensitivity, lock-in capable, noise-eliminating static laser stimulation/optical beam induced resistance change (SLS/OBIRCH) detection enabled by Fault Diagnostic with Active Probe Technology.
Photon emission options spanning a range of sensitivity requirements for isolating shorts, detecting areas of excess leakage, and mapping active regions.
Probing setup and software designed for ease-of-use and productivity.
Fully scalable and upgradable optical platform.
Inverted optical system |
Combo system: LSM + PEM standard, with optional LSM-only or PEM-only configurations |
220VAC, 50Hz/60Hz |
Standard 9” x 9” load board interface, plus customizable alternatives |
Dual-side microprobing and Probe Card configurations available |
Stage repeatability ≤2μm |
Optional laser marker for defect redetection |
Microscopia eletrônica avançada, feixe de íon focalizado e técnicas analíticas associadas para identificar soluções viáveis e métodos de desenho para a fabricação de dispositivos semicondutores de alto desempenho.
Estruturas de dispositivos semicondutores cada vez mais complexas resultam em mais locais onde defeitos que induzem falhas podem se ocultar. Nossos fluxos de trabalho de última geração o ajudam a localizar e caracterizar problemas elétricos sutis que afetam o rendimento, o desempenho e a confiabilidade.
Projetos cada vez mais complexos dificultam o isolamento de falhas e defeitos na fabricação de semicondutores. As técnicas de isolamento óptico de falhas permitem analisar o desempenho de dispositivos eletricamente ativos para localizar defeitos críticos que causam falhas no dispositivo.
Projetos cada vez mais complexos dificultam o isolamento de falhas e defeitos na fabricação de semicondutores. As técnicas de isolamento óptico de falhas permitem analisar o desempenho de dispositivos eletricamente ativos para localizar defeitos críticos que causam falhas no dispositivo.
Para garantir o desempenho ideal do sistema, fornecemos acesso a uma rede de especialistas em serviços de campo, suporte técnico e peças de reposição certificadas.