赛默飞色谱质谱及光谱仪综合解决方案
在《国家集成电路产业发展推进纲要》推动下,中国半导体市场已成为全球增长引擎。半导产品良率与经济效益息息相关,硅片晶圆纯度、生产过程中使用的清洗剂和刻蚀剂、封装材料、环境洁净度等都会影响产品良率。同时,在当前环境保护要求日益严苛背景下,工业废水等环保问题也成为行业的焦点。
目 录
- 半导体材料分析 ...................................................4
VPD-HR-ICPMS 法分析硅片表面超痕量元素 .....4
PGME 液晶样品中超痕量元素含量分析 ..............5 - 高纯试剂分析 ......................................................6
超纯水分析 ..........................................................6
水溶性溶剂分析 ...................................................7
酸分析 .................................................................9
强碱分析 ...........................................................12
半导体试剂检测自动化方案 ..............................13 - 电子元件分析 ....................................................14
- 洁净室空气及环境监测 ......................................15