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采用 XPS 和氩簇离子深度剖析有机场效应晶体管

MAGCIS 离子源与 K-α XPS 系统相连，用于深度剖析二氧化硅/硅基质上有机金属半导体膜。MAGCIS 离子源以团簇离子模式对酞菁铜膜进行无损剖析，并以一价离子模式剖析二氧化硅绝缘层。刻蚀周期间获得的 XPS 光谱可定量测定各层样品的化学性质，并通过剖析表明样品的化学组成没有发生改变。

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