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2024年6月14日
次世代パワー半導体の研究・技術開発に欠かせない炭化ケイ素(SiC)や窒化ガリウム(GaN)ウエハーの不純物解析に「ガルバノ光学系搭載フェムト秒LA-ICP-MS」をいち早く導入し、受託分析/受託調査を手掛ける東レリサーチセンター様の取り組みをご紹介するタイアップ広告記事が、EE Times Japanに掲載されました。
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https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2405/16/news003.html