STEM 현미경 | Talos F200E | Thermo Fisher Scientific

더 빠르고, 더 작고, 더 상호 연결된 장치에 대한 수요로 원자 규모의 기술 개발이 계속해서 촉진되고 있습니다. 연구자와 엔지니어는 이러한 규모에서 신뢰할 수 있는 빠른 분석 및 특성 분석이 필요하며, 이는 투과전자현미경 검사(TEM)를 통해서만 가능합니다.

Thermo Scientific Talos F200E (주사) 투과전자현미경은 광범위한 반도체 결함 분석 및 연구 응용분야에 맞춤화된 고처리량 에너지 분산 X선 분광학(EDS) 기능을 결합하여 왜곡을 최소화한 고분해능 STEM 및 TEM 영상을 제공합니다.

반도체 및 마이크로전자 장치 분석을 위한 고생산성 솔루션

다양한 물질과 장치에 대해 반복 가능한 고분해능 특성 분석을 제공해야 하기 때문에 빠른 프로세스 개발과 수율 램프(yield ramp) 지원은 반도체 분석 연구소에 상당한 부담을 줍니다. Talos F200E (S)TEM은 이러한 실험실을 염두에 두고 이전 Talos 모델보다 >1.5배 더 빠른 EDS 분석 및 1% 이하의 TEM 이미지 왜곡 비율로 설계되었습니다. 속도 및 반복성이 향상된 Talos F200E (S)TEM은 소자 분석, 결함 특성 분석, 수율 지원을 위한 업계 최고의 제품입니다.

주요 특징

고품질 (S)TEM 이미징

왜곡을 최소화하고 동시 다중 신호 검출 및 대비에 최적화된 STEM 영상을 제공하는 고처리량 TEM 이미징

신속하고 정밀한 화학물질 특성 분석

신속하고 정밀한 정량/정성 EDS 획득 및 분석

반도체 관련 응용분야 전용

구성품: 검체-스테이지 동기화된 라이브 TEM 이미지 회전, 다중 STEM 검출기의 동시 작동, integrated differential phase contrast (iDPC) 이미징, STEM 시야 매칭, 즉각적인 EDS 맵 정량화, 이미지 왜곡 최소화 등.

사양

재품 표 사항에 대한 스타일시트

X-FEG의 밝기	1.8 × 10⁹A/cm² srad(@200kV)
총 빔 전류	> 50nA
EDS 시스템	Super-X	Dual-X
전체 입체각	0.9 srad	2.56 srad
효과적인 입체각*	0.9 srad	1.65 srad
검출기	4 SDD	대형 2 SDD
카메라	Thermo Scientific Ceta-M Camera로 왜곡이 적은 4K × 4K
STEM	Panther STEM 세그먼트 검출기
SEMI S2	인증
STEM 분해능	≤0.16nm
TEM 정보 한계	≤0.12nm
TEM 라인 분해능	≤0.10nm
최대 회절각	24˚
Z-이동	±0.375 mm
TEM 이미지 선형 왜곡	≤1%
TEM 이미지 변이 (선택 사항)	≤1%
Gatan Continuum 필터	선택 사항