TEM 이미징 | 투과전자현미경 | Thermo Fisher Scientific

투과 전자 현미경

투과 전자 현미경(TEM)은 고분해능 이미징 기술로서, 전자빔이 얇은 시료를 통과하여 이미지를 생성합니다. 전자빔은 시료의 두께/밀도, 조성, 그리고 결정성에 영향을 받을 수 있습니다. 시료를 통과한 전자는 그후, 결과 이미지에서 콘트라스트를 제공합니다.

TEM은 투과 전자의 파장길이가 짧으므로 우수한 분해능을 제공합니다. 스캔의 각 지점에서 이차 전자의 순 강도를 모으는 주사 전자 현미경(SEM)과는 달리, TEM 분해능은 개별 전자의 파장과 전자 광학부의 품질에 의해서만 제한됩니다. 이것은 투과 전자 현미경이 일상적으로 나노미터 이하 스케일 (만일 원자 분해능이 아니라면) 이미지를 수집할 수 있음을 의미합니다.

주사 투과 전자 현미경

주사 투과 전자 현미경(STEM)은 투과 전자 현미경(TEM)과 주사 전자 현미경(SEM)의 원리를 결합합니다. TEM처럼 STEM은 매우 얇은 시료를 필요로 하며, 주로 시료에 의해 투과되는 빔 전자를 봅니다. TEM과 비교시 STEM의 주요 장점 중의 하나는 특성 X-선 및 전자 에너지 소실 스펙트럼(EELS)를 포함하여 TEM에서 공간적으로 상관관계화 될 수 없는 다른 시그널의 사용을 가능하게 하는 것입니다.

SEM과 마찬가지로, STEM은 래스터(raster) 패턴으로 시료 전체에 매우 미세하게 집속된 전자빔을 스캔합니다. 빔 전자와 시료 원자 사이의 상호작용을 통해 멀티모드 데이터의 동시 획득이 가능하며, 이것은 빔 위치와 상관관계화되어 가상의 이미지를 생성하며, 여기에서 시료의 모든 위치에서의 시그널 레벨이 이미지의 콘트라스트에 의해 나타납니다. 기존 SEM 이미징과 비교할 때 주된 장점은 공간 분해능의 개선입니다.

STEM을 사용하면, 시료에서 극도로 국소적인 분석 데이터를 수집할 수 있습니다. 여기에는 대면적, 고분해능 energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS) 맵, EELS를 사용하는 산화 상태 탐침(probing), 물질 인터페이스에 대한 원자 분해능 이미징이 포함됩니다.

초저온 투과 전자 현미경

초저온 전자현미경(cryo-EM)은 단일 입자 분석, 마이크로-전자 회절, 초저온 단층촬영(cryo-tomography) 등 점점 더 인기있는 생명 광학 분야 기술입니다. 초저온 전자현미경법은 극저온에서 작동하도록 설계된 특수 TEM인 초저온 투과 전자현미경(cryo-TEM) 상에서 수행됩니다. 일반적으로 이들은 필요한 온도를 유지하고 시료 오염과 손상을 줄이기 위해 시료 로딩, 시료 챔버, 시료 스테이지를 변형시키는 것을 특징으로 합니다.

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투과 전자 현미경

Thermo Fisher Scientific의 TEM 제품군은 단순화되고 자동화된 작업을 통해 향상된 이미징과 분석을 특징으로 하며, 더 높은 데이터 품질과 더 신속한 획득 시간을 제공합니다. 또한 조성 맵핑과 3D 화학 특성 분석을 위해, Thermo Scientific Dual-X, Super-X, Ultra-X EDS 검출기를 사용하여 EDS 시그널 검출에서의 탁월한 진보와 우수한 고분해능 STEM 이미징을 결합하였습니다. Thermo Scientific TEM 플랫폼은 하나의 시스템에 여러 애플리케이션을 결합하여 여러 명의 사용자와 여러 분야를 지원합니다.