The Thermo Scientific iFast Developer's Tool Kit combines the flexibility of scripting with the ease of use of graphical programming to make recipe creation faster and easier than ever before. 

The iFast Developer's Tool Kit enables operators to quickly and easily create new or modify existing recipes to fit their specific needs. Recipes are edited within a new intuitive graphical environment, enabling faster learning of the programming environment as well as an easier understanding of existing recipes. Within the iFast Developer's environment, the operator is able to control column settings, detector settings, stage motion and position, patterning and site alignments with logical operation and looping. This enables a high degree of customization to match specific application requirements. 

iFast Recorder is included with iFast Developer's Tool Kit allowing to record recipes interactively on an instrument both for unattended operation as well as the creation of a baseline recipe for further enhancements with the Developer's Tool Kit.

Key Features

  • Graphical programming environment.
  • Runner for unattended operation.
  • Alignment tools: image recognition and edge finding.
  • FIB, SEM, Stage, GIS, patterning and other controls.
  • Macro recorder for faster recipe creating.
  • Process looping.
  • Logical tests such as If-Then statements.

Applications

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반도체 경로탐색(Pathfinding) 및 개발

고성능 반도체 장치의 제조에 필요한 실행 가능한 솔루션과 설계 방법을 확인하기 위한 고급 전자 현미경 검사, 집속 이온빔 및 관련 분석 기법.

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수율 경사 및 계측

당사에서는 다양한 반도체 응용 분야와 장치의 생산성을 높이고 수율을 높일 수 있도록 설계된 결함 분석, 계측 및 공정 관리를 위한 고급 분석 기능을 제공합니다.

반도체 불량 분석

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반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.

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물리적 및 화학적 특성 분석

지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.


Techniques

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반도체 분석 및 이미징

Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.

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전자 현미경 서비스

최적의 시스템 성능을 보장하기 위해 세계 수준의 현장 서비스 전문가 네트워크, 기술 지원 및 인증된 예비 부품을 제공해드립니다.

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