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반도체 소자 설계가 더 작은 노드에 접근함에 따라 제조 수율을 높이는 것이 점점 더 어려워지고 있습니다. 이와 같이 더 작은 노드와 더 복잡한 3D 아키텍처로 인해 설계 프로세스의 단계와 복잡성이 증가하고 있습니다. 수백 개의 단계가 관련되어 있으며 한 단계에서 발생하는 결함이나 전기적 고장으로 인해 전체 생산 시간이 지연될 수 있습니다. 출시 및 생산에 소요되는 시간은 새로운 반도체 설계의 상업적 성공을 위해 매우 중요하므로 이러한 각 단계가 최적화 되었음을 확인하기 위한 계측 및 검사 도구가 필요합니다. 이를 통해 최대 수율을 보장하고 유지할 수 있습니다.
수율 분석은 최대한 신속하고 저렴하게 수행해야 합니다. 그러나 소자 제조와 관련된 많은 단계를 고려할 때 이는 종종 매우 어려울 수 있습니다. 예를 들어 첨단 로직(logic) 소자에서는 finFET 게이트 높이, 핀 높이 및 측벽 각도 등 많은 다양한 측정이 수행되어야 합니다. 비용 효율적이고 시기 적절한 방식으로 이러한 측정을 수행하려면 반도체 분석을 위해 특별히 설계된 첨단 특성분석 도구가 필요합니다. 제조업체는 자동 SEM 또는 (S)TEM 기반 계측 기기를 사용하여 정확하고 시기 적절한 반도체 검사를 수행하고, 제조 비용을 절감하며, 제품 개발 주기를 단축할 수 있습니다.
Thermo Fisher Scientific은 반도체 계측 및 검사를 위한 첨단 분석 기능을 갖춘 차세대 제품군을 제공합니다. 이 솔루션은 로직, 3D NAND, DRAM, 아날로그, 전력 및 디스플레이 소자 제조 시 품질 관리 및 수율을 개선하여 반도체 제조(fab)에서 생산성을 높이도록 설계되었습니다.
반도체 계측 & 수율 워크플로우 예
Style Sheet for Komodo Tabs
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
열 고장 분리
로컬 전력 소실의 불균등한 분포는 로컬 온도를 크게 상승시켜 장치 고장을 유발할 수 있습니다. 고감도 LIT(lock-in infrared thermography)에 의해 열 고장 분리를 위한 고유한 솔루션을 제공합니다.
TEM 계측
고급 자동 TEM 계측의 일반적인 절차는 수동 방법에 비해 훨씬 높은 정밀도를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 운영자 편견이 없는 옹스트롬 미만 수준의 특이성을 사용하여 통계학적으로 관련된 대량의 데이터를 생성할 수 있습니다.
반도체 장치의 시료 준비
Thermo Scientific DualBeam 시스템은 반도체 장치의 원자 단위 분석을 위한 정확한 TEM 시료 준비 기능을 제공합니다. 자동화 및 고급 기계 학습 기술은 정확한 위치에서 고품질 시료를 생성하며 시료당 비용이 낮습니다.
SEM 계측
주사전자현미경은 나노미터 규모의 정확하고 신뢰할 수 있는 계측 데이터를 제공합니다. 자동 초고분해능 SEM 계측법을 통해 메모리, 로직 및 데이터 스토리지 응용 분야에서 더 빠른 수율 및 출시 시간을 제공합니다.
반도체 분석 및 이미징
Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.
장치 층 제거
기능 크기 축소는 첨단 설계 및 아키텍처와 함께 반도체에 대한 불량 분석을 점차 까다로워지게 하는 결과를 가져옵니다. 장치의 손상 없는 층 제거는 전기적 결함 및 고장을 감지하기 위한 중요한 기법입니다.
열 고장 분리
로컬 전력 소실의 불균등한 분포는 로컬 온도를 크게 상승시켜 장치 고장을 유발할 수 있습니다. 고감도 LIT(lock-in infrared thermography)에 의해 열 고장 분리를 위한 고유한 솔루션을 제공합니다.
TEM 계측
고급 자동 TEM 계측의 일반적인 절차는 수동 방법에 비해 훨씬 높은 정밀도를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 운영자 편견이 없는 옹스트롬 미만 수준의 특이성을 사용하여 통계학적으로 관련된 대량의 데이터를 생성할 수 있습니다.
반도체 장치의 시료 준비
Thermo Scientific DualBeam 시스템은 반도체 장치의 원자 단위 분석을 위한 정확한 TEM 시료 준비 기능을 제공합니다. 자동화 및 고급 기계 학습 기술은 정확한 위치에서 고품질 시료를 생성하며 시료당 비용이 낮습니다.
SEM 계측
주사전자현미경은 나노미터 규모의 정확하고 신뢰할 수 있는 계측 데이터를 제공합니다. 자동 초고분해능 SEM 계측법을 통해 메모리, 로직 및 데이터 스토리지 응용 분야에서 더 빠른 수율 및 출시 시간을 제공합니다.
반도체 분석 및 이미징
Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.
장치 층 제거
기능 크기 축소는 첨단 설계 및 아키텍처와 함께 반도체에 대한 불량 분석을 점차 까다로워지게 하는 결과를 가져옵니다. 장치의 손상 없는 층 제거는 전기적 결함 및 고장을 감지하기 위한 중요한 기법입니다.
반도체 물질 및 장치 특성 분석
반도체 장치가 축소되고 복잡해짐에 따라 새로운 설계와 구조를 필요로 하게 되었습니다. 고생산성의 3D 분석 워크플로우는 장치 개발 시간을 단축하고 수율을 극대화할 수 있으며, 장치가 산업의 향후 요구 사항에 부합되도록 보장합니다.
기기 카드 원본 스타일시트
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards
