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6세대 Thermo Scientific Phenom ProX G6 데스크탑 SEM은 광학 현미경 검사와 플로어(floor) 모델 SEM 분석의 간극을 메워 연구 시설의 기능을 확장합니다. 본 제품은 견고하고 사용하기 쉽고 신속한 원소 분석을 위해 통합된 에너지 분산 X선 회절(EDS) 검출기와 함께 고속 고분해능 이미징을 제공합니다.

주요 특징

신속하고 간편한 사용

Phenom Pro 데스크탑 SEM은 플로어(floor) 모델 SEM 기기의 일반적인 시료에 대한 일상적인 분석의 부담을 덜어 주기 위해 사용됩니다. 기기 구성 및 시료 로딩 메커니즘을 통해 실험 간 조정에 소요되는 시간을 최소화함으로써 빠른 이미지 생성을 보장합니다.

수명이 긴 CeB6 소스

Phenom Pro 데스크탑 SEM을 사용하면 모든 경험 수준의 사용자가 고품질의 결과를 신속하게 생성할 수 있습니다. 수명이 긴 CeB6 소스는 밝기가 높으면서도 유지보수 필요성이 적습니다.

견고한 소형 형태 인자(form factor)

높은 안정성과 작은 형태 인자(form factor)로 어떠한 실험실 환경에서도 기기를 사용할 수 있습니다. 더 간단히 말해, 특수 인프라나 전문가의 감독이 필요하지 않습니다.


사양

재품 표 사항에 대한 스타일시트
조명 광학 배율
  • 27~160x
전자 광학 배율 범위
  • 160~350,000x
분해능
  • ≤ 6nm SED 및 ≤ 8nm BSD
디지털 줌
  • 최대 12x
조명 광학 탐색 카메라
  • 색상
가속 전압
  • 기본값: 5kV, 10kV 및 15kV
  • 고급 모드: 4.8kV ~ 20.5kV 사이의 조정 가능한 범위 이미지 생성 및 분석 모드
진공 모드
  • 고진공 모드
  • 저진공 시료 홀더 옵션을 통한 전하 감소 모드
검출기
  • 후방 산란 전자 검출기(표준)
  • 에너지 분산 X선 검출기(표준)
  • 2차 전자 검출기(옵션)
시료 크기
  • 최대 25 mm 직경 (32 mm 선택 가능)
시료 높이
  • 최대 35 mm (100 mm 선택 가능)

데스크탑 SEM 블로그

유용성을 저하시키지 않고 전자 현미경 검사의 강력한 성능을 활용하고자 하십니까? 주사전자현미경법에 대한 지식을 높이고 데스크탑 SEM이 Phenom Desktop SEM blog에서 연구를 최적으로 지원하는 방법을 알아보십시오.

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리소스

제품 개발 엔지니어 Luigi Raspolini가 강력하고 편리한 다기능 원소 및 SEM 분석을 위한 EDS 기능을 갖춘 Thermo Scientific Phenom ProX G6-the Desktop SEM에 대한 새로운 모든 기능을 설명합니다. 

University of Cambridge, Colin Humphreys 교수의 후기.

웨비나: Phenom Pro(X) G6 데스크탑 SEM

본 웨비나를 통해 다음 내용에 대해 학습하십시오.

  • 사용 편의성 - 달성할 수 있는 다기능성 및 사양
  • 2분 내에 이미지 생성 및 분석 수행으로 더 많은 연구 수행
  • 단 30초의 빠른 이미지 획득 시간
  • 사용자 인터페이스 — 사전 설정을 갖춘 24인치, 전체 화면 SEM 이미지

웨비나: 주사전자현미경: 귀사의 요구사항에 맞는 기술 선택

이 주문형 웨비나는 귀사의 고유한 요구 사항에 가장 적합한 SEM을 결정하는 데 도움이 되도록 고안되었습니다. 다중 사용자 연구 실험실을 위한 Thermo Fisher Scientific SEM 기술의 개요를 제시하고, 이러한 광범위한 솔루션이 성능, 다기능성, 현장(in situ) 동력학 및 더욱 빠른 결과를 제공하는 방법을 중점적으로 다룹니다. 다음 사항에 관심이 있는 경우, 이 웨비나를 시청하시기 바랍니다.

  • 다양한 미세 분석 양상에 대한 요구사항을 충족시키는 방법(EDX, EBSD, WDS, CL 등).
  • 시료 전처리없이 시료를 자연 상태로 특성 분석하는 방법.
  • 새로운 고급 자동화를 통해 연구원이 시간을 절약하고 생산성을 높일 수 있는 방법.

제품 개발 엔지니어 Luigi Raspolini가 강력하고 편리한 다기능 원소 및 SEM 분석을 위한 EDS 기능을 갖춘 Thermo Scientific Phenom ProX G6-the Desktop SEM에 대한 새로운 모든 기능을 설명합니다. 

University of Cambridge, Colin Humphreys 교수의 후기.

웨비나: Phenom Pro(X) G6 데스크탑 SEM

본 웨비나를 통해 다음 내용에 대해 학습하십시오.

  • 사용 편의성 - 달성할 수 있는 다기능성 및 사양
  • 2분 내에 이미지 생성 및 분석 수행으로 더 많은 연구 수행
  • 단 30초의 빠른 이미지 획득 시간
  • 사용자 인터페이스 — 사전 설정을 갖춘 24인치, 전체 화면 SEM 이미지

웨비나: 주사전자현미경: 귀사의 요구사항에 맞는 기술 선택

이 주문형 웨비나는 귀사의 고유한 요구 사항에 가장 적합한 SEM을 결정하는 데 도움이 되도록 고안되었습니다. 다중 사용자 연구 실험실을 위한 Thermo Fisher Scientific SEM 기술의 개요를 제시하고, 이러한 광범위한 솔루션이 성능, 다기능성, 현장(in situ) 동력학 및 더욱 빠른 결과를 제공하는 방법을 중점적으로 다룹니다. 다음 사항에 관심이 있는 경우, 이 웨비나를 시청하시기 바랍니다.

  • 다양한 미세 분석 양상에 대한 요구사항을 충족시키는 방법(EDX, EBSD, WDS, CL 등).
  • 시료 전처리없이 시료를 자연 상태로 특성 분석하는 방법.
  • 새로운 고급 자동화를 통해 연구원이 시간을 절약하고 생산성을 높일 수 있는 방법.

응용분야

전자현미경을 사용한 공정 제어

전자현미경을 사용한 공정 제어

오늘날 산업계는 우수한 품질의 높은 처리량과 강력한 공정 제어를 통해 유지되는 균형을 필요로 하고 있습니다. 전용 자동화 소프트웨어를 갖춘 SEM 및 TEM 도구는 공정 모니터링 및 개선을 위한 신속하고 멀티-스케일의 정보를 제공합니다.

 

전자현미경을 사용한 품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.

Fundamental Materials Research_R&D_Thumb_274x180_144DPI

기초 재료 연구

새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.

 

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반도체 경로탐색(Pathfinding) 및 개발

고성능 반도체 장치의 제조에 필요한 실행 가능한 솔루션과 설계 방법을 확인하기 위한 고급 전자 현미경 검사, 집속 이온빔 및 관련 분석 기법.

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수율 경사 및 계측

당사에서는 다양한 반도체 응용 분야와 장치의 생산성을 높이고 수율을 높일 수 있도록 설계된 결함 분석, 계측 및 공정 관리를 위한 고급 분석 기능을 제공합니다.

반도체 불량 분석

반도체 불량 분석

반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.

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물리적 및 화학적 특성 분석

지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.


기술

EDS 원소 분석

EDS는 전자 현미경 관찰에 있어 중요한 조성 정보를 제공해 줍니다. 특히, 당사의 독자적인 Super-X 및 Dual-X 검출기 시스템은 향상된 처리량 및/또는 감도를 위한 옵션을 제공함으로써 연구 우선 순위에 준하여 데이터 획득을 최적화합니다.

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3D EDS 단층 촬영

오늘날의 재료 연구는 3차원의 나노단위 분석에 점점 더 의존하고 있습니다. 3D EM과 에너지 분산 X선 분광법으로 전체 화학적 조성 데이터 및 구조적 정보 등 3D 특성 분석이 가능합니다.

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EDS를 통한 원자 규모 원소 맵핑

원자 분해능 EDS는 개별 원자의 원소적 정체성을 구별함으로써 재료 분석을 위한 탁월한 화학적 정보를 제공합니다. 고분해능 TEM과 함께 사용하면 시료에서 정확한 원자 조성을 관찰할 수 있습니다.

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고온 시료 이미징

실제 조건에서의 물질 연구는 종종 고온 작업과 관련됩니다. 주사 전자 현미경 또는 DualBeam 도구를 사용하여 물질의 재결정화, 용융, 변형 또는 열 존재 시 반응과 같은 물질의 작용을 현장 연구할 수 있습니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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멀티스케일 분석

새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.

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SEM 계측

주사전자현미경은 나노미터 규모의 정확하고 신뢰할 수 있는 계측 데이터를 제공합니다. 자동 초고분해능 SEM 계측법을 통해 메모리, 로직 및 데이터 스토리지 응용 분야에서 더 빠른 수율 및 출시 시간을 제공합니다.

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반도체 분석 및 이미징

Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.

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EDS 원소 분석

EDS는 전자 현미경 관찰에 있어 중요한 조성 정보를 제공해 줍니다. 특히, 당사의 독자적인 Super-X 및 Dual-X 검출기 시스템은 향상된 처리량 및/또는 감도를 위한 옵션을 제공함으로써 연구 우선 순위에 준하여 데이터 획득을 최적화합니다.

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3D EDS 단층 촬영

오늘날의 재료 연구는 3차원의 나노단위 분석에 점점 더 의존하고 있습니다. 3D EM과 에너지 분산 X선 분광법으로 전체 화학적 조성 데이터 및 구조적 정보 등 3D 특성 분석이 가능합니다.

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EDS를 통한 원자 규모 원소 맵핑

원자 분해능 EDS는 개별 원자의 원소적 정체성을 구별함으로써 재료 분석을 위한 탁월한 화학적 정보를 제공합니다. 고분해능 TEM과 함께 사용하면 시료에서 정확한 원자 조성을 관찰할 수 있습니다.

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고온 시료 이미징

실제 조건에서의 물질 연구는 종종 고온 작업과 관련됩니다. 주사 전자 현미경 또는 DualBeam 도구를 사용하여 물질의 재결정화, 용융, 변형 또는 열 존재 시 반응과 같은 물질의 작용을 현장 연구할 수 있습니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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멀티스케일 분석

새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.

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SEM 계측

주사전자현미경은 나노미터 규모의 정확하고 신뢰할 수 있는 계측 데이터를 제공합니다. 자동 초고분해능 SEM 계측법을 통해 메모리, 로직 및 데이터 스토리지 응용 분야에서 더 빠른 수율 및 출시 시간을 제공합니다.

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반도체 분석 및 이미징

Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.

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