반도체 계측 | SEM 계측 | Thermo Fisher Scientific

주사전자현미경(SEM)은 3D 구조의 고품질 표면과 단면 영상을 제공합니다. 소비자와 산업계의 요구에 따라 반도체의 크기가 계속 감소함에 따라, 나노스케일 계측은 공정과 소자 설계 수율에 점점 더 중요한 요소가 되고 있습니다. 중요한 치수의 정확하고 반복 가능한 나노스케일 측정을 위해서는 고해상도 SEM 이미징과 매우 정확한 배율 보정이 필요합니다.

Thermo Fisher Scientific에서 제공하는 초고분해능 자동 SEM 기능을 업계 최고의 소프트웨어 솔루션과 함께 사용하여, 주요 메모리 및 로직 고객의 문제를 해결하는 데 필요한 자동화, 정밀도, 견고함을 갖춘 이미징과 계측을 수행할 수 있습니다. NIST-추적가능 보정 표준, 발전된 이미징 자동화(단면 및 top-down 모두), 차세대 머신 러닝 지원 계측 기능을 활용하는 Thermo Scientific 자동 SEM은 직접 공정과 장치 모니터링을 위한 경제적인 3D 계측을 제공하며 시장 출시 기간도 단축시킵니다.

Thermo Fisher Scientific은 top-down SEM 계측을 위해 Thermo Scientific AutoSEM 소프트웨어를 사용하는 Thermo Scientific Verios 5 SEM 등 중요한 치수 분석을 위한 다양한 SEM 계측 도구를 제공합니다. 자세한 정보를 보려거나 데모를 요청하시려면 아래의 해당 제품 페이지를 클릭하십시오.