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현대적인 산업 공정은 높은 처리량을 필요로 하며 비용 효율적인 생산을 요구합니다. 그 속도는 최종 제품의 품질, 신뢰성 및 일관성에 대한 요구 사항에 따라 결정됩니다. 따라서 공정 관리는 생산량과 품질 간의 균형을 유지하기 위해 생산을 최적화하고 규제하려고 합니다. 분석이 전체 생산 시간에 미치는 영향을 최소화하기 위해 크기, 형태, 불순물과 같은 다양한 변수의 모니터링은 최대한 효율적이어야 합니다. 또한 관찰 결과는 공정의 조정이 시료의 진정한 특성에 기초할 수 있도록 신뢰성이 대단히 높아야 합니다.

전자 현미경(EM)은 매우 다양하고 유용한 데이터를 얻을 수 있음에도 불구하고 수동 작업의 필요성 때문에 공정 제어 응용 분야에서는 실용적이지 못했습니다. 전용 도구와 자동화된 소프트웨어의 출현으로 EM은 생산 모니터링 및 분석에 있어 중요한 부분이 되어가고 있습니다. 에너지 분산 X선 분광법(EDS)을 동일한 기기 내에서 EM 이미지 생성 기능과 결합하여 화학적 정보 및 구조적 정보를 얻을 수 있습니다.

주사전자현미경(SEM) 도구는 마이크론 미만에서 나노미터 수준에 이르는 크기의 입자, 함유물 및 제품 품질에 근본적인 영향을 미치는 결함을 자동으로 시각화, 정량화 및 보고할 수 있습니다. 투과전자현미경(TEM)은 나노입자의 구조 및 원소 구성과 같은 나노단위 미만 특성을 관찰하고 특성 분석할 수 있습니다. 단 수 분 만에 이루어지는 이 빠른 분석은, 중요한 공정 관리 및 개선을 위해 주요 시료 파라미터에 대한 실행가능하고 강력한 통계 자료를 생성합니다. 마지막으로, 표면 하부 정보가 필요한 경우, DualBeam(집속 이온 빔 및 SEM) 도구는 표면 밀링과 이미징의 교대를 통해 시료를 탐침하여 층 두께와 같은 3D 정보를 제공합니다.

Thermo Fisher Scientific은 공정 관리 응용 분야를 위한 다양한 하드웨어 및 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. 자세한 내용은 아래 링크를 참조하십시오.


리소스

시료


배터리 연구

배터리 개발은 microCT, SEM 및 TEM, Raman 분광법, XPS 및 디지털 3D 시각화 및 분석을 통한 멀티 스케일(multi-scale) 분석에 의해 이루어질 수 있습니다. 이 접근 방식이 더 나은 배터리를 만드는 데 필요한 구조 및 화학 정보를 제공하는 방법에 대해 알아보십시오.

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나노입자

재료는 큰 규모 단위보다 나노 단위에서 근본적으로 다른 특성을 드러냅니다. 이를 연구하기 위해, S/TEM 기기를 에너지 분산형 X선 분광법과 결합하여 나노미터 미만의 분해능 데이터를 얻을 수 있습니다.

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금속 연구

금속을 효과적으로 생산하려면 함유물 및 침전물에 대한 정밀한 제어가 필요합니다. 당사의 자동화 도구를 사용하여 나노 입자 계수, EDS 화학 물질 분석 및 TEM 시료 준비 등 금속 분석에 필수적인 다양한 작업을 수행할 수 있습니다.

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촉매 연구

촉매는 대부분의 현대적인 산업 공정에 있어 대단히 중요합니다. 그 효율은 촉매 입자의 미세 조성 및 형태학에 따라 달라집니다. EDS와 EM은 이러한 속성 연구에 매우 적합합니다.

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고분자 연구

고분자 미세 구조는 물질의 벌크 특성 및 성능과 관련이 있습니다. 전자현미경법은 R&D 및 품질 관리 응용 분야의 고분자 형태학 및 구성에 대한 종합적인 마이크로 단위 분석을 가능케 합니다.

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2D 재료

새로운 재료의 연구는 저차원 물질의 구조에 점점 더 많은 관심을 기울이고 있습니다. 프로브(probe) 교정 및 단색화법을 이용하는 주사 투과 전자 현미경법으로 고분해능 2차원 물질 이미지 생성을 수행할 수 있습니다.

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자동차 재료 테스트

현대적인 차량의 모든 구성 요소는 안전성, 효율성 및 성능을 고려하여 설계됩니다. 전자현미경법 및 분광법에 의한 자동차 재료의 상세한 특성 분석을 통해 중요한 공정을 결정하고 제품을 개선하며 새로운 재료를 신속하게 식별할 수 있습니다.

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Style Sheet for Komodo Tabs

기술

(S)TEM 시료 준비

DualBeam 현미경은 (S)TEM 분석을 위한 고품질의 초박막 시료의 준비를 가능하게 해줍니다. 고급 자동화 기능에 힘입어 모든 경험 수준의 사용자가 전문가 수준의 결과물을 얻을 수 있습니다.

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3D 재료 특성 분석

물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.

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EDS 원소 분석

EDS는 전자 현미경 관찰에 있어 중요한 조성 정보를 제공해 줍니다. 특히, 당사의 독자적인 Super-X 및 Dual-X 검출기 시스템은 향상된 처리량 및/또는 감도를 위한 옵션을 제공함으로써 연구 우선 순위에 준하여 데이터 획득을 최적화합니다.

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ChemiSEM

실시간 정량과 함께 실시간 EDS(에너지 분산 X선 분광법)를 사용하는 ChemiSEM 기술은 SEM 이미징을 컬러 기술로 변환합니다. 이제 어느 사용자든 원소 데이터를 지속적으로 획득하여 그 어느 때보다 완전한 정보를 얻을 수 있습니다.

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환경 SEM(ESEM)

환경 SEM을 통해 원래 상태로 재료의 이미지를 생성할 수 있습니다. 이 제품은 젖었거나 오염되었거나 반응성이거나 가스를 발생하거나 혹은 진공 조건에 사용할 수 없는 시료를 검사 및 분석해야 할 필요가 있는 학술 및 산업 분야 연구자들에게 적합합니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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멀티스케일 분석

새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.

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자동화 입자 워크플로우

APW(Automated NanoParticle Workflow)는 나노입자 분석을 위한 투과전자현미경 워크플로우로, 나노 단위에서 대면적, 고분해능 이미징 및 데이터 획득을 즉석으로 처리할 수 있습니다.

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(S)TEM 시료 준비

DualBeam 현미경은 (S)TEM 분석을 위한 고품질의 초박막 시료의 준비를 가능하게 해줍니다. 고급 자동화 기능에 힘입어 모든 경험 수준의 사용자가 전문가 수준의 결과물을 얻을 수 있습니다.

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3D 재료 특성 분석

물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.

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EDS 원소 분석

EDS는 전자 현미경 관찰에 있어 중요한 조성 정보를 제공해 줍니다. 특히, 당사의 독자적인 Super-X 및 Dual-X 검출기 시스템은 향상된 처리량 및/또는 감도를 위한 옵션을 제공함으로써 연구 우선 순위에 준하여 데이터 획득을 최적화합니다.

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ChemiSEM

실시간 정량과 함께 실시간 EDS(에너지 분산 X선 분광법)를 사용하는 ChemiSEM 기술은 SEM 이미징을 컬러 기술로 변환합니다. 이제 어느 사용자든 원소 데이터를 지속적으로 획득하여 그 어느 때보다 완전한 정보를 얻을 수 있습니다.

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환경 SEM(ESEM)

환경 SEM을 통해 원래 상태로 재료의 이미지를 생성할 수 있습니다. 이 제품은 젖었거나 오염되었거나 반응성이거나 가스를 발생하거나 혹은 진공 조건에 사용할 수 없는 시료를 검사 및 분석해야 할 필요가 있는 학술 및 산업 분야 연구자들에게 적합합니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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멀티스케일 분석

새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.

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자동화 입자 워크플로우

APW(Automated NanoParticle Workflow)는 나노입자 분석을 위한 투과전자현미경 워크플로우로, 나노 단위에서 대면적, 고분해능 이미징 및 데이터 획득을 즉석으로 처리할 수 있습니다.

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제품

기기 카드 원본 스타일시트

Helios 5 Laser PFIB 시스템

  • 빠르고, 밀리미터-스케일 단면 절단
  • 통계적으로 유의미한 깊은 표면 하부 및 3D 데이터 분석
  • Helios 5 PFIB 플랫폼의 모든 기능 공유

Helios Hydra DualBeam

  • 가장 광범위한 물질에 대한 최적화된 PFIB 처리를 위한 고속 전환가능한 4개의 이온 종(XE, AR, O, N)
  • Ga 없이 TEM 시료 준비
  • 초고분해능 SEM 이미징

Helios 5 DualBeam

  • 완전 자동 고품질 초박형 TEM 시료 준비
  • 높은 처리량의 고분해능 표면 및 3D 특성 분석
  • 고속 나노 프로토타입 제작 기능

Helios 5 PFIB DualBeam

  • 갈륨 없이 STEM 및 TEM 시료 준비
  • 다중 모드 표면 하부 및 3D 정보
  • 차세대 2.5 μA 제논 플라즈마 FIB 컬럼

Scios 2 DualBeam

  • 자성 및 비전도성 시료에 대한 완벽한 지원
  • 높은 처리량의 표면 하부 및 3D 특성 분석
  • 향상된 사용 편의성 및 자동화 기능

Spectra Ultra

  • 대부분의 빔에 민감한 물질에 대한 새로운 이미징 및 분광법 기능
  • Ultra-X를 통한 EDX 검출 기능의 도약
  • 시료 무결성을 유지하도록 설계된 컬럼

Talos F200i TEM

  • 고품질 S/TEM 이미지 및 정확한 EDS
  • 이중 EDS 기술과 함께 사용 가능
  • 최상의 전방위적인 현장(in situ) 기능
  • 고속으로 대형 관측시야 이미징

Talos F200S TEM

  • 정확한 화학적 조성 데이터
  • 동적 현미경법을 위한 고성능 이미징과 정확한 조성 분석
  • 신속하고 용이한 다중 모드 데이터 획득 및 분석을 위한 Velox 소프트웨어 기능

Talos F200X TEM

  • STEM 세포 이미징과 화학적 분석에서 높은 분해능/처리량
  • 동적 실험을 위해, 현장(in situ) 시료 홀더 추가
  • 신속하고 용이한 다중 모드 데이터 획득 및 분석을 위한 Velox 소프트웨어 기능

Talos F200C TEM

  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공
  • 고대비, 고품질 TEM 및 STEM 이미징
  • Ceta 16Mpixel CMOS 카메라에 의한 넓은 관측시야와 높은 판독 속도 구현

Talos L120C TEM

  • 안정성 향상
  • 4K × 4K Ceta CMOS 카메라
  • 25 ~ 650kX의 TEM 확대 범위
  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공

Axia ChemiSEM

  • 실시간 정량적 원소 맵핑
  • 높은 정확도의 주사전자현미경 이미징
  • 초보자도 사용가능한 유연성 및 사용 편의성
  • 간편한 유지관리

Quattro ESEM

  • 고유한 환경 기능(ESEM)을 갖춘 다기능성 고분해능 FEG SEM
  • 모든 조작 모드에서 동시 SE 및 BSE 이미징을 통한 모든 시료의 모든 정보 관찰

PRISMA E SEM

  • 탁월한 이미지 품질의 초보 수준 SEM
  • 여러 시료를 신속하고 쉽게 로딩 및 탐색
  • 전용 진공 모드를 통해 광범위한 물질 사용 가능

Phenom ParticleX AM 데스크탑 SEM

  • 적층 제조를 위한 자동화 소프트웨어가 포함된 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom ParticleX Steel 데스크탑 SEM

  • SEM과 EDS 통합
  • 간편한 사용
  • 마이크로미터 미만 개재물

Phenom ParticleX TC 데스크탑 SEM

  • 청결도 기술을 위한 자동화 소프트웨어를 갖춘 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

ParticleMetric

  • 온라인 및 오프라인 분석을 위한 ProSuite의 통합 소프트웨어
  • 지름, 원형, 종횡비, 돌출과 같은 입자 특성 상관관계
  • 자동 이미지 맵핑을 통한 이미지 데이터 세트 생성

Avizo 소프트웨어
재료 과학

  • 다중 데이터/다중 뷰, 다중 채널, 타임 시리즈, 대량 데이터 지원
  • 고급 다중 모드 2D/3D 자동 등록
  • 아티팩트(artifact) 감소 알고리즘

FiberMetric

  • 자동 측정을 통한 시간 절약
  • 모든 통계 데이터의 빠르고 자동화된 수집
  • 타의 추종을 불허하는 정확도로 마이크로 및 나노 섬유를 확인 및 측정

AsbestoMetric

  • 이미지 획득, 섬유 검출 및 보고를 위한 자동화 도구
  • 섬유 재방문을 통한 EDS 분석 지원
  • 석면 분석에 관한 ISO 표준 보고서

Velox

  • 처리 창 왼쪽에 있는 실험 패널
  • 실시간 정량 맵핑
  • 재현가능한 실험 제어 & 설정을 위한 상호작용식 검출기 레이아웃 인터페이스

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