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Thermo Scientific Talos F200X STEM은 뛰어난 고분해능 STEM과 TEM 이미징, 그리고 업계 최고의 에너지 X선 분광학(EDS) 신호 검출을 결합한 주사 투과 전자 현미경입니다. 고유한 청결도를 가진 4개의 컬럼내(in-column) SDD Super-X 검출기를 통해 조성 맵핑을 포함한 2D/3D 화학적 특성분석을 수행합니다. Talos F200X 주사 투과 전자 현미경을 사용하면 동적 현미경 검사를 위한 빠른 탐색이 가능한 고해상도 TEM 및 STEM(HRTEM 및 HRSTEM) 이미징과 함께 모든 차원에서 가장 빠르고 정확한 EDS 분석을 수행할 수 있습니다. 또한 Talos F200X 주사 투과 전자 현미경은 환경에 민감하지 않으며, 기기 인클로저는 TEM 실내의 공기 압력 파형, 공기 흐름 및 미세 온도 변화에 대한 영향을 조절해 줍니다.
Talos F200X (S)TEM은 여러 차원에서 나노소재에 대한 빠르고 정밀한 정량 특성 분석을 제공합니다. Talos F200X (S)TEM은 처리량, 정밀도 및 사용 편의성을 높이기 위해 고안된 혁신적인 기능을 갖추고 있어 학술, 정부기관, 반도체, 그리고 산업 환경에서 첨단 연구와 분석에 이상적입니다.
연구원들에게 관측 내용을 보존하면서도 통계적으로 견고한 데이터를 제공할 수 있도록 해 주기 때문에, 고분해능 대면적 상관관계(correlative) 이미징의 필요성이 최근 증가하고 있습니다. Thermo Scientific Maps 소프트웨어(Thermo Scientific Velox 소프트웨어에 의해 지원되는)는 시료 전체에 걸쳐 이미지 어레이를 자동으로 획득한 후 이들을 스티치(stitch)하여 하나의 큰 최종 이미지를 생성합니다. 이미지 획득은 무인 상태로 수행할 수도 있습니다. APW(자동화 입자 워크플로우) 팩은 이 섹션에서 설명한 모든 장점을 갖추고 있으며 Thermo Scientific Avizo2D 소프트웨어를 사용하는 전용 처리 PC에서 고유한 프로세싱을 추가합니다. 크기, 면적, 경계, 형태, 인자, 접촉 등의 나노입자 매개 변수를 자동화된 방식으로 가져올 수 있습니다. 완전 자동화된 무인 소프트웨어 팩을 사용하면 Talos F200X (S)TEM 을 연중무휴로 사용할 수 있으며, 작업자 편향이 없어 향상된 통계를 얻을 수 있고, 반복성을 크게 개선할 수 있습니다.
Align Genie Automation Software는 초보 작업자의 학습 시간을 단축하고, 다중 사용자 환경에서 긴장을 줄이며, 숙련된 작업자에게는 데이터 제공에 소요되는 시간을 개선합니다.
고휘도 X-FEG 또는 초고휘도 X-CFEG(콜드 전계 방출 건)을 선택하십시오. X-CFEG는 최고의 (S)TEM 이미징과 최고의 에너지 분해능을 결합합니다.
Thermo Scientific Velox 소프트웨어는 신속하고 용이한 다중모드 데이터 획득과 분석을 제공합니다.
신속하고 정밀한 정량적 EDS 분석은 2D 및 3D에서 나노스케일 세부정보를 높은 선명도로 보여줍니다.
동시 다중 신호 검출 기능이 있는 고처리량 STEM 이미징을 통해 고품질 이미지를 위한 개선된 콘트라스트(contrast)를 제공합니다.
동적(Dynamic) 실험에서 어플리케이션별 현장(in situ) 시료 홀더를 추가할 수 있습니다.
혁신적이고 직관적인 Velox 소프트웨어 사용자 인터페이스를 통해 고품질 TEM 또는 STEM 이미지를 확보할 수 있습니다. Velox 소프트웨어의 고유한 EDS 흡수 보정 기능을 통해 고도로 정확한 정량 측정을 수행할 수 있습니다.
초점, 유센트릭(eucentric) 높이, 빔 이동, 콘덴서 조리개, 빔 경사 피벗 지점(pivot point) 및 회전 중심과 같은 모든 일상적인 TEM 튜닝이 자동화되어 항상 최적의 이미징 조건에서 시작할 수 있습니다. 실험은 재현성을 가지고 반복될 수 있으므로, 기기 조작이 아닌 연구에 집중할 수 있습니다.
SmartCam 카메라와 스위프트 모드(swift mode) 및 고전압(HT) 전환을 위한 정전력 대물 렌즈로 매우 안정적인 컬럼 및 원격 작동을 구현합니다. 다중 사용자 환경을 위한 빠르고 쉬운 전환.
HRTEM 라인 분해능 |
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STEM 분해능 |
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Super-X EDS 시스템 |
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EELS(전자 에너지 손실 분광법) 에너지 분해능 |
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200 kV 에서의 건(gun) 휘도 |
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오늘날 산업계는 우수한 품질의 높은 처리량과 강력한 공정 제어를 통해 유지되는 균형을 필요로 하고 있습니다. 전용 자동화 소프트웨어를 갖춘 SEM 및 TEM 도구는 공정 모니터링 및 개선을 위한 신속하고 멀티-스케일의 정보를 제공합니다.
품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.
새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.
고성능 반도체 장치의 제조에 필요한 실행 가능한 솔루션과 설계 방법을 확인하기 위한 고급 전자 현미경 검사, 집속 이온빔 및 관련 분석 기법.
당사에서는 다양한 반도체 응용 분야와 장치의 생산성을 높이고 수율을 높일 수 있도록 설계된 결함 분석, 계측 및 공정 관리를 위한 고급 분석 기능을 제공합니다.
반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.
지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.
에너지 분산 분광법
에너지분산 분광법(EDS)은 전자 현미경 이미지를 통해 상세한 원소 정보를 수집하고 EM 관찰을 위한 중요한 조성 정보를 제공합니다. EDS를 사용하면 신속하고 종합적인 표면 스캔부터 개별 원자에 이르는 화학적 조성을 측정할 수 있습니다.
3D EDS 단층 촬영
오늘날의 재료 연구는 3차원의 나노단위 분석에 점점 더 의존하고 있습니다. 3D EM과 에너지 분산 X선 분광법으로 전체 화학적 조성 데이터 및 구조적 정보 등 3D 특성 분석이 가능합니다.
EDS 원소 분석
EDS는 전자 현미경 관찰에 있어 중요한 조성 정보를 제공해 줍니다. 특히, 당사의 독자적인 Super-X 및 Dual-X 검출기 시스템은 향상된 처리량 및/또는 감도를 위한 옵션을 제공함으로써 연구 우선 순위에 준하여 데이터 획득을 최적화합니다.
EDS를 통한 원자 규모 원소 맵핑
원자 분해능 EDS는 개별 원자의 원소적 정체성을 구별함으로써 재료 분석을 위한 탁월한 화학적 정보를 제공합니다. 고분해능 TEM과 함께 사용하면 시료에서 정확한 원자 조성을 관찰할 수 있습니다.
전자 에너지 손실 분광법
재료 과학 연구는 다양한 분석 응용 분야에서 고분해능 EELS를 활용합니다. 여기에는 높은 처리량, 높은 신호 대 잡음비 원소 맵핑, 산화 상태 프로빙(probing) 및 표면 포논(phonon)도 포함됩니다.
현장(In Situ) 실험
재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.
입자 분석
입자 분석은 나노 재료 연구 및 품질 관리에 있어 중요한 역할을 합니다. 분말 및 입자의 신속한 특성 분석을 위해 나노미터 규모의 분해능과 전자 현미경법의 우수한 이미지 생성 기능을 특수 소프트웨어와 결합할 수 있습니다.
멀티스케일 분석
새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.
TEM 계측
고급 자동 TEM 계측의 일반적인 절차는 수동 방법에 비해 훨씬 높은 정밀도를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 운영자 편견이 없는 옹스트롬 미만 수준의 특이성을 사용하여 통계학적으로 관련된 대량의 데이터를 생성할 수 있습니다.
반도체 TEM 이미지 생성 및 분석
Thermo Fisher Scientific 투과 전자 현미경은 반도체 장치의 고분해능 이미지 생성 및 분석 기능을 제공함으로써, 제조업체에서 도구 세트를 보정하고 고장 메커니즘을 진단하며 전체 공정 수율을 최적화할 수 있도록 해줍니다.
에너지 분산 분광법
에너지분산 분광법(EDS)은 전자 현미경 이미지를 통해 상세한 원소 정보를 수집하고 EM 관찰을 위한 중요한 조성 정보를 제공합니다. EDS를 사용하면 신속하고 종합적인 표면 스캔부터 개별 원자에 이르는 화학적 조성을 측정할 수 있습니다.
3D EDS 단층 촬영
오늘날의 재료 연구는 3차원의 나노단위 분석에 점점 더 의존하고 있습니다. 3D EM과 에너지 분산 X선 분광법으로 전체 화학적 조성 데이터 및 구조적 정보 등 3D 특성 분석이 가능합니다.
EDS 원소 분석
EDS는 전자 현미경 관찰에 있어 중요한 조성 정보를 제공해 줍니다. 특히, 당사의 독자적인 Super-X 및 Dual-X 검출기 시스템은 향상된 처리량 및/또는 감도를 위한 옵션을 제공함으로써 연구 우선 순위에 준하여 데이터 획득을 최적화합니다.
EDS를 통한 원자 규모 원소 맵핑
원자 분해능 EDS는 개별 원자의 원소적 정체성을 구별함으로써 재료 분석을 위한 탁월한 화학적 정보를 제공합니다. 고분해능 TEM과 함께 사용하면 시료에서 정확한 원자 조성을 관찰할 수 있습니다.
전자 에너지 손실 분광법
재료 과학 연구는 다양한 분석 응용 분야에서 고분해능 EELS를 활용합니다. 여기에는 높은 처리량, 높은 신호 대 잡음비 원소 맵핑, 산화 상태 프로빙(probing) 및 표면 포논(phonon)도 포함됩니다.
현장(In Situ) 실험
재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.
입자 분석
입자 분석은 나노 재료 연구 및 품질 관리에 있어 중요한 역할을 합니다. 분말 및 입자의 신속한 특성 분석을 위해 나노미터 규모의 분해능과 전자 현미경법의 우수한 이미지 생성 기능을 특수 소프트웨어와 결합할 수 있습니다.
멀티스케일 분석
새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.
TEM 계측
고급 자동 TEM 계측의 일반적인 절차는 수동 방법에 비해 훨씬 높은 정밀도를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 운영자 편견이 없는 옹스트롬 미만 수준의 특이성을 사용하여 통계학적으로 관련된 대량의 데이터를 생성할 수 있습니다.
반도체 TEM 이미지 생성 및 분석
Thermo Fisher Scientific 투과 전자 현미경은 반도체 장치의 고분해능 이미지 생성 및 분석 기능을 제공함으로써, 제조업체에서 도구 세트를 보정하고 고장 메커니즘을 진단하며 전체 공정 수율을 최적화할 수 있도록 해줍니다.