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에너지 분산 X선 분광법(EDS, EDX 또는 XEDS라고도 함)은 물질의 화학적 특성 분석/원소 분석을 가능하게 하는 분석 기법입니다. 에너지원(전자 현미경의 전자 빔 등)에 의해 자극되는 시료는 코어 쉘 전자를 방출하여 흡수된 에너지의 일부를 방출합니다. 그러면 더 높은 에너지 외부 셸 전자가 그 자리를 채우게 되고 원자 기원에 기반한 특성 스펙트럼을 가진 X선으로서 에너지 차이가 방출됩니다. 이를 통해 에너지원에 의해 자극된 주어진 시료량의 조성을 분석할 수 있습니다. 스펙트럼의 피크 위치는 원소를 식별하고, 신호의 강도로 원소의 농도를 알 수 있습니다.
앞서 설명했듯이 전자 빔은 코어 셸 전자를 배출하고 X선 방출을 유발할 충분한 에너지를 제공합니다. EDS 검출기를 전자 현미경에 추가하여 원자 수준까지 조성 정보를 얻을 수 있습니다. 전자 프로브가 시료를 가로질러 스캔되면 특유의 X선을 방출하고 측정합니다. 기록된 각 EDS 스펙트럼은 시료의 특정 위치에 맵핑됩니다. 결과의 품질은 신호 강도와 청결도에 따라 다릅니다. 신호 강도는 특히 미량 원소 검출 및 선량 최소화를 위해 양호한 신호 대 잡음비에 크게 좌우됩니다(더 빠른 기록 및 아티팩트 없는 결과를 얻을 수 있음). 청결도는 전자 컬럼을 구성하는 물질의 결과로서 관찰되는 피크에서 허위 피크의 수에 영향을 미칩니다.
Thermo Fisher Scientific은 이러한 주요한 품질을 최대화하기 위해 다양한 솔루션을 제공합니다.
그 어느 때보다 오늘날의 제조업계는 신뢰할 수 있는 고품질 부품을 필요로 합니다. 주사전자현미경을 이용해, 내부에서 광범위한 분석 데이터를 제공하고 생산 주기를 단축시킬 수 있는 부품 청결도 분석을 수행할 수 있습니다.
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새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.
배터리 개발은 microCT, SEM 및 TEM, Raman 분광법, XPS 및 디지털 3D 시각화 및 분석을 통한 멀티 스케일(multi-scale) 분석에 의해 이루어질 수 있습니다. 이 접근 방식이 더 나은 배터리를 만드는 데 필요한 구조 및 화학 정보를 제공하는 방법에 대해 알아보십시오.
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재료는 큰 규모 단위보다 나노 단위에서 근본적으로 다른 특성을 드러냅니다. 이를 연구하기 위해, S/TEM 기기를 에너지 분산형 X선 분광법과 결합하여 나노미터 미만의 분해능 데이터를 얻을 수 있습니다.
지구과학은 암석 시료 내 특징을 일정하고 정확하게 멀티 스케일(multi-scale)로 관찰합니다. SEM-EDS는 자동화 소프트웨어와 결합하여 암석학 및 광물학 연구를 위한 텍스처 및 광물 구성의 직접적인 대규모 분석을 가능하게 합니다.
법의학 조사의 일환으로 전자현미경법을 사용하여 범죄 현장의 미세 증거를 분석하고 비교할 수 있습니다. 사용가능한 시료로는 유리 및 페인트 절편, 공구 마크, 약물, 폭발물 및 GSR(총격 잔류물) 등이 있습니다.
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촉매는 대부분의 현대적인 산업 공정에 있어 대단히 중요합니다. 그 효율은 촉매 입자의 미세 조성 및 형태학에 따라 달라집니다. EDS와 EM은 이러한 속성 연구에 매우 적합합니다.
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