48ab - 응용분야/시료/제품/리소스/문의하기

에너지 분산 X선 분광법(EDS, EDX 또는 XEDS라고도 함)은 물질의 화학적 특성 분석/원소 분석을 가능하게 하는 분석 기법입니다. 에너지원(전자 현미경의 전자 빔 등)에 의해 자극되는 시료는 코어 쉘 전자를 방출하여 흡수된 에너지의 일부를 방출합니다. 그러면 더 높은 에너지 외부 셸 전자가 그 자리를 채우게 되고 원자 기원에 기반한 특성 스펙트럼을 가진 X선으로서 에너지 차이가 방출됩니다. 이를 통해 에너지원에 의해 자극된 주어진 시료량의 조성을 분석할 수 있습니다. 스펙트럼의 피크 위치는 원소를 식별하고, 신호의 강도로 원소의 농도를 알 수 있습니다.

앞서 설명했듯이 전자 빔은 코어 셸 전자를 배출하고 X선 방출을 유발할 충분한 에너지를 제공합니다. EDS 검출기를 전자 현미경에 추가하여 원자 수준까지 조성 정보를 얻을 수 있습니다. 전자 프로브가 시료를 가로질러 스캔되면 특유의 X선을 방출하고 측정합니다. 기록된 각 EDS 스펙트럼은 시료의 특정 위치에 맵핑됩니다. 결과의 품질은 신호 강도와 청결도에 따라 다릅니다. 신호 강도는 특히 미량 원소 검출 및 선량 최소화를 위해 양호한 신호 대 잡음비에 크게 좌우됩니다(더 빠른 기록 및 아티팩트 없는 결과를 얻을 수 있음). 청결도는 전자 컬럼을 구성하는 물질의 결과로서 관찰되는 피크에서 허위 피크의 수에 영향을 미칩니다.

Thermo Fisher Scientific은 이러한 주요한 품질을 최대화하기 위해 다양한 솔루션을 제공합니다.

 

리소스

원소가 있는 색상이 지정된 나노 입자의 분할 표면 렌더링: 백금 쉘(녹색)이 있는 은 코어(빨간색). 가시성을 높이기 위해 백금 쉘은 반투명 색상으로 되어 있습니다. 시료 제공: Prof. Yi Ding and Prof. Jun Luo, Center for Electron Microscopy, Tianjin University of Technology.

P-Zn-In 나노튜브의 EDS 단층 촬영 시료 제공: Dr. Reza Shahbazian Yassar, Michigan Tech University.

원소가 있는 색상이 지정된 나노 입자의 분할 표면 렌더링: 백금 쉘(녹색)이 있는 은 코어(빨간색). 가시성을 높이기 위해 백금 쉘은 반투명 색상으로 되어 있습니다. 시료 제공: Prof. Yi Ding and Prof. Jun Luo, Center for Electron Microscopy, Tianjin University of Technology.

P-Zn-In 나노튜브의 EDS 단층 촬영 시료 제공: Dr. Reza Shahbazian Yassar, Michigan Tech University.

응용분야

부품 청결도 검사 중에 SEM에 의해 발견된 알루미늄 미네랄 입자

기술적 청결도

그 어느 때보다 오늘날의 제조업계는 신뢰할 수 있는 고품질 부품을 필요로 합니다. 주사전자현미경을 이용해, 내부에서 광범위한 분석 데이터를 제공하고 생산 주기를 단축시킬 수 있는 부품 청결도 분석을 수행할 수 있습니다.

전자현미경을 사용한 품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.

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기초 재료 연구

새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.

 


시료


배터리 연구

배터리 개발은 microCT, SEM 및 TEM, Raman 분광법, XPS 및 디지털 3D 시각화 및 분석을 통한 멀티 스케일(multi-scale) 분석에 의해 이루어질 수 있습니다. 이 접근 방식이 더 나은 배터리를 만드는 데 필요한 구조 및 화학 정보를 제공하는 방법에 대해 알아보십시오.

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고분자 연구

고분자 미세 구조는 물질의 벌크 특성 및 성능과 관련이 있습니다. 전자현미경법은 R&D 및 품질 관리 응용 분야의 고분자 형태학 및 구성에 대한 종합적인 마이크로 단위 분석을 가능케 합니다.

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금속 연구

금속을 효과적으로 생산하려면 함유물 및 침전물에 대한 정밀한 제어가 필요합니다. 당사의 자동화 도구를 사용하여 나노 입자 계수, EDS 화학 물질 분석 및 TEM 시료 준비 등 금속 분석에 필수적인 다양한 작업을 수행할 수 있습니다.

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오일 및 가스

오일 및 가스에 대한 수요가 지속됨에 따라, 탄화수소를 효율적이고 효과적으로 추출해야 할 필요성이 계속해서 증가하고 있습니다. Thermo Fisher Scientific은 다양한 석유 과학 응용 분야를 위한 다양한 현미경법 및 분광학 솔루션을 제공합니다.

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나노입자

재료는 큰 규모 단위보다 나노 단위에서 근본적으로 다른 특성을 드러냅니다. 이를 연구하기 위해, S/TEM 기기를 에너지 분산형 X선 분광법과 결합하여 나노미터 미만의 분해능 데이터를 얻을 수 있습니다.

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지질학 연구

지구과학은 암석 시료 내 특징을 일정하고 정확하게 멀티 스케일(multi-scale)로 관찰합니다. SEM-EDS는 자동화 소프트웨어와 결합하여 암석학 및 광물학 연구를 위한 텍스처 및 광물 구성의 직접적인 대규모 분석을 가능하게 합니다.

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법의학

법의학 조사의 일환으로 전자현미경법을 사용하여 범죄 현장의 미세 증거를 분석하고 비교할 수 있습니다. 사용가능한 시료로는 유리 및 페인트 절편, 공구 마크, 약물, 폭발물 및 GSR(총격 잔류물) 등이 있습니다.

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2D 재료

새로운 재료의 연구는 저차원 물질의 구조에 점점 더 많은 관심을 기울이고 있습니다. 프로브(probe) 교정 및 단색화법을 이용하는 주사 투과 전자 현미경법으로 고분해능 2차원 물질 이미지 생성을 수행할 수 있습니다.

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촉매 연구

촉매는 대부분의 현대적인 산업 공정에 있어 대단히 중요합니다. 그 효율은 촉매 입자의 미세 조성 및 형태학에 따라 달라집니다. EDS와 EM은 이러한 속성 연구에 매우 적합합니다.

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자동차 재료 테스트

현대적인 차량의 모든 구성 요소는 안전성, 효율성 및 성능을 고려하여 설계됩니다. 전자현미경법 및 분광법에 의한 자동차 재료의 상세한 특성 분석을 통해 중요한 공정을 결정하고 제품을 개선하며 새로운 재료를 신속하게 식별할 수 있습니다.

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제품

기기 카드 원본 스타일시트

Spectra Ultra

  • 대부분의 빔에 민감한 물질에 대한 새로운 이미징 및 분광법 기능
  • Ultra-X를 통한 EDX 검출 기능의 도약
  • 시료 무결성을 유지하도록 설계된 컬럼

Spectra 200

  • 30 ~ 200kV 가속 전압에서 고분해능 및 콘트라스트 이미지 생성
  • 5.4mm의 wide-gap pole piece 설계에 의한 대칭적 S-TWIN/X-TWIN 대물 렌즈
  • 60kV ~ 200kV에서 Angstrom 미만의 STEM 이미징 분해능

Spectra 300

  • 원자 수준의 최고 분해능으로 구조적, 화학적 정보 제공
  • 30 ~ 300kV의 유연하고 높은 전압 범위
  • 3 렌즈 콘덴서 시스템

Talos L120C TEM

  • 안정성 향상
  • 4K × 4K Ceta CMOS 카메라
  • 25 ~ 650kX의 TEM 확대 범위
  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공

Talos F200i TEM

  • 고품질 S/TEM 이미지 및 정확한 EDS
  • 이중 EDS 기술과 함께 사용 가능
  • 최상의 전방위적인 현장(in situ) 기능
  • 고속으로 대형 관측시야 이미징

Talos F200X TEM

  • STEM 세포 이미징과 화학적 분석에서 높은 분해능/처리량
  • 동적 실험을 위해, 현장(in situ) 시료 홀더 추가
  • 신속하고 용이한 다중 모드 데이터 획득 및 분석을 위한 Velox 소프트웨어 기능

Talos F200C TEM

  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공
  • 고대비, 고품질 TEM 및 STEM 이미징
  • Ceta 16Mpixel CMOS 카메라에 의한 넓은 관측시야와 높은 판독 속도 구현

Talos F200S TEM

  • 정확한 화학적 조성 데이터
  • 동적 현미경법을 위한 고성능 이미징과 정확한 조성 분석
  • 신속하고 용이한 다중 모드 데이터 획득 및 분석을 위한 Velox 소프트웨어 기능

Helios Hydra DualBeam

  • 가장 광범위한 물질에 대한 최적화된 PFIB 처리를 위한 고속 전환가능한 4개의 이온 종(XE, AR, O, N)
  • Ga 없이 TEM 시료 준비
  • 초고분해능 SEM 이미징

Helios 5 PFIB DualBeam

  • 갈륨 없이 STEM 및 TEM 시료 준비
  • 다중 모드 표면 하부 및 3D 정보
  • 차세대 2.5 μA 제논 플라즈마 FIB 컬럼

Helios 5 DualBeam

  • 완전 자동 고품질 초박형 TEM 시료 준비
  • 높은 처리량의 고분해능 표면 및 3D 특성 분석
  • 고속 나노 프로토타입 제작 기능

Verios 5 XHR SEM

  • 1keV ~ 30keV의 전체 에너지 범위에 걸친 나노미터 미만 분해능을 위한 모노크로메이트 SEM
  • 최저 20eV까지 빔 랜딩 에너지에 쉽게 접근 가능
  • 표준으로 제공되는 피에조(piezo) 스테이지에 의한 뛰어난 안정성

Quattro ESEM

  • 고유한 환경 기능(ESEM)을 갖춘 다기능성 고분해능 FEG SEM
  • 모든 조작 모드에서 동시 SE 및 BSE 이미징을 통한 모든 시료의 모든 정보 관찰

PRISMA E SEM

  • 탁월한 이미지 품질의 초보 수준 SEM
  • 여러 시료를 신속하고 쉽게 로딩 및 탐색
  • 전용 진공 모드를 통해 광범위한 물질 사용 가능

VolumeScope 2 SEM

  • 큰 부피로부터 등방성(isotropic) 3D 데이터
  • 고진공 및 저진공 모드에서 고대비와 고분해능
  • 일반 SEM 사용과 연속 블록-페이스 이미징 간의 간단한 전환

Apreo 2 SEM

  • 전방위적인 나노미터 미만 분해능을 위한 고성능 SEM
  • 민감하고 TV 속도 물질 대비를 위한 In-column T1 후방산란 검출기
  • 긴 작동 거리에서(10mm)에서 뛰어난 성능

Scios 2 DualBeam

  • 자성 및 비전도성 시료에 대한 완벽한 지원
  • 높은 처리량의 표면 하부 및 3D 특성 분석
  • 향상된 사용 편의성 및 자동화 기능

Phenom XL G2 데스크탑 SEM

  • 대형 시료(100x100mm)에 적합하며 자동화에 이상적
  • <10nm 분해능 및 최대 200,000x 확대, 4.8kV에서 최대 20kV의 가속 전압
  • 완전 통합형 EDS 및 BSE 검출기 옵션

Phenom ProX G6 데스크탑 SEM

  • EDS 통합 검출기를 갖춘 고성능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <6nm(SE) 및 <8nm(BSE), 최대 350,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom Pro G6 데스크탑 SEM

  • 고성능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <6nm(SE) 및 <8nm(BSE), 최대 350,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom ParticleX AM 데스크탑 SEM

  • 적층 제조를 위한 자동화 소프트웨어가 포함된 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom ParticleX TC 데스크탑 SEM

  • 청결도 기술을 위한 자동화 소프트웨어를 갖춘 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom Pure G6 데스크탑 SEM

  • 입문 수준 데스크탑 SEM
  • 분해능 <15nm, 최대 175,000x 확대
  • 수명이 긴 CeB6 소스

Phenom Perception GSR 데스크탑 SEM

  • 전용 자동 GSR 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • 수명이 긴 CeB6 소스

Phenom Pharos G2 Desktop FEG-SEM

  • 1 - 20 kV 가속 전압 범위의 FEG 소스
  • <2.0 nm (SE) 및 3.0 nm (BSE) 분해능 @ 20 kV
  • 완전 통합형 EDS 및 SE 검출기 옵션

AsbestoMetric

  • 이미지 획득, 섬유 검출 및 보고를 위한 자동화 도구
  • 섬유 재방문을 통한 EDS 분석 지원
  • 석면 분석에 관한 ISO 표준 보고서

Avizo 소프트웨어
재료 과학

  • 다중 데이터/다중 뷰, 다중 채널, 타임 시리즈, 대량 데이터 지원
  • 고급 다중 모드 2D/3D 자동 등록
  • 아티팩트(artifact) 감소 알고리즘

Inspect 3D 소프트웨어

  • 교차-상관관계를 위한 이미지 처리 도구 및 필터
  • 이미지 정렬을 위한 형상 추적
  • 반복 투영 비교를 위한 대수적 재구성 기술

Maps 소프트웨어

  • 넓은 영역에서 고분해능 이미지 획득
  • 관심 영역을 쉽게 발견
  • 자동 이미지 획득 절차
  • 소스가 다른 데이터의 상관관계화

원소 맵핑

  • 시료 또는 선택한 라인 내의 원소 분포에 대한 신속하고 신뢰할 수 있는 정보
  • 결과의 용이한 내보내기 및 보고

3D 재구성

  • 직관적인 사용자 인터페이스, 최대 채택 능력
  • 직관적이고 완전 자동화된 사용자 인터페이스
  • '명암에 의한 형상' 기술에 기초하고 있으며, 스테이지 기울기 불필요

Velox

  • 처리 창 왼쪽에 있는 실험 패널
  • 실시간 정량 맵핑
  • 재현가능한 실험 제어 & 설정을 위한 상호작용식 검출기 레이아웃 인터페이스
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em-h2-헤더 등급으로 H2를 p로 변경하기 위한 스타일 시트

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Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards

재료 과학을 위한 전자 현미경
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최적의 시스템 성능을 보장하기 위해 세계 수준의 현장 서비스 전문가 네트워크, 기술 지원 및 인증된 예비 부품을 제공해드립니다.