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EDS 분석(에너지 분산 X선 분광학, 또는 EDX 분석이라고도 함)은 마이크로 단위 화학 조성 연구를 위한 강력한 기법입니다. EDS는 주사전자현미경(SEM)과 결합하여 시료에 전자 빔이 스캔될 때 방출되는 X-선으로부터 조성 정보를 도출합니다. 이 기술이 검출할 수 있는 원소의 범위는 거의 전체 주기율표를 포괄합니다. EDS가 제공하는 데이터는 공정/품질 관리부터 불량 분석 및 기초 연구에 이르기까지 다양한 응용 분야에 필수적입니다. 그렇기 때문에 거의 모든 SEM에 EDS 시스템이 장착됩니다.
Thermo Scientific ChemiSEM 기술은 분석의 유용성, 편리성 및 빠른 속도를 제공합니다. 최첨단 원소 분석과 전자 이미지를 실시간으로 통합합니다. 하나의 소프트웨어 인터페이스에서 다음을 수행할 수 있습니다.
ChemiSEM 기술은 EDS 분석의 혁신을 기반으로 원소 정보를 더욱 빠르고 쉽게 제공합니다. SEM의 사용자 인터페이스 내에 완전히 통합되어 원소 정보가 라이브 이미지에 컬러로 표시됩니다. ChemiSEM 기술은 실시간 정량을 기반으로 하며 EDS 분석에 대한 수십 년에 걸쳐 축적된 전문 지식에 기초하여 신뢰할 수 있는 결과를 보장합니다. ChemiSEM 기술은 항상 활성화되어 있으므로, 결과를 얻는 데 소요되는 시간을 크게 단축할 수 있습니다. 또한 이전에는 눈에 띄지 않았던 특성을 표시해주므로 보다 완벽한 정보와 더욱 신뢰성 있는 결과를 얻을 수 있습니다.
ChemiSEM 기술은 머신 러닝, 초고속 신호 처리 및 가장 엄격한 SEM EDS에 기반한 새로운 데이터 분할 방식을 결합합니다. 이는 ChemiSEM 기술을 통해 기존 기법에 비해 2~4배 빠르게 원소 정보에 액세스할 수 있다는 것을 의미합니다.
ChemiSEM 기술은 수십 년의 전문 기술력을 바탕으로 가장 광범위한 작동 조건에서 정확한 정성 및 정량 분석을 제공합니다.
ChemiSEM 기술은 최대한 가장 종합적인 마이크로 단위 원소 조성을 제공합니다. 즉각적인 컬러 이미지 결과를 통해 사용자는 보다 큰 그림을 볼 수 있으며, 다른 방식으로는 놓쳤을 수도 있는 결함이나 오류를 확인할 수 있습니다.
통합형 컬러 이미지 생성 및 원소 분석은 연구자들이 더 이상 SEM 이미지 생성에서 EDS 분석으로 이동하지 않아도 되므로, 각 시료의 컬러 이미지를 얻는 데 소요되는 시간을 단축시켜 줍니다.
탁월한 사용 용이성과 즉각적인 컬러 이미지 결과를 제공하는 ChemiSEM 기술을 통해 모든 사람들이 원소 정보를 이용할 수 있습니다. 다중 사용자 실험실은 해당 시설을 사용할 수 있는 과학자 및 엔지니어의 수를 쉽게 증가시킬 수 있습니다.
ChemiSEM 기술이 항상 활성화되어 있어 모든 사용자가 원소 데이터를 획득할 수 있으므로, 그 어느 때보다 완벽한 정보를 더 많이 얻을 수 있습니다. 아래 동영상을 통해 EDS 및 SEM 동시 분석의 몇 가지 활용 사례를 확인해 보십시오.
눈 깜짝할 사이에 획득되는 원소 정보
이 동영상은 30mm2 EDS 검출기가 장착된 Thermo Scientific Prisma E SEM에서 촬영되었습니다. 조성의 자동식별(AutoID)과 관심 원소의 용이한 선택을 사용하여 ChemiSEM 기술의 속도를 보여드립니다.
쉽게 눈에 띄지 않는 부분을 콘트라스트로 강조
ChemiSEM 기술이 항상 활성화되어 있으므로 원소 정보가 필요할 때 더 이상 애플리케이션을 바꿀 필요가 없고, SEM 사용자 인터페이스에 실시간 결과가 표시됩니다. 이 동영상은 여러 가지 형태의 원소 정보(지점 및 영역)를 강조해 보여줍니다.
신뢰할 수 있는 결과
신뢰할 수 없는 원소 정보는 의미가 없습니다. 이 동영상은 ChemiSEM 기술이 X선 피크 중첩 및 디콘볼루션을 처리하는 방법을 보여줍니다. 실시간 컬러 이미징에서도 원소 정보가 올바르고 관련성이 있는지를 확인합니다.
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