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Thermo Scientific Quattro ESEM은 이미징 및 분석의 전방위적인 성능을 고유한 환경 모드(ESEM)와 결합하여 자연 상태로 시료를 연구할 수 있게 해줍니다. 고유한 현장( }in situ ) 실험도 지원하는 플랫폼 상에서 서로 다른 경험 수준과 분야를 가진 다수 사용자를 위한 다기능성과 사용 편의성을 필요로하는 다양한 학계, 산업 및 정부 기관 실험실에 적합합니다. Quattro ESEM은 탁월한 분해능을 보장하는 FEG(전계 방출 건)를 갖추고 있으며, 3가지 진공 모드(고진공, 저진공 및 ESEM)는 기체를 발생하거나 진공을 사용할 수 없는 시료 등 사용가능한 모든 SEM의 다양한 시료를 수용할 수 있는 유연성을 제공합니다.

고성능 다기능성

Quattro ESEM은 다양한 액세서리를 수용할 수 있는 챔버 덕분에 다기능으로 활용할 수 있는 분석 플랫폼입니다. 그 분석 기능에는 180도 듀얼 EDS 부착을 위한 포트가 있는 에너지 분산형 X선 분광법(EDS), EDS와 동평면의 전자 후방 산란 회절(EBSD), 그리고 분산 파장 X선 분광법(WDS)이 포함됩니다.

Quattro ESEM은 옵션인 고진공 가열 스테이지, Thermo Scientific AutoScript 4 소프트웨어(Python 기반 스크립팅 도구), 그리고 새로운 RGB 음극선발광(CL) 검출기를 지원합니다. RGB CL 검출기는 기존 전자 또는 X선 영상 기법에서는 보이지 않는 시료 속성을 강조하는 컬러 이미지를 생성합니다. 고진공 가열 스테이지에서는 고온에서 깨끗한 시료 관찰을 가능하게 합니다. AutoScript 4 소프트웨어를 통해, 사용자는 무인 데이터 획득을 위해 이미징 및 스테이지 이동을 프로그래밍할 수 있습니다.

Quattro ESEM 응용 분야에는 다음이 포함됩니다.

나노 특성 분석

  • 금속 및 합금, 균열, 용접, 연마된 절편, 자기 및 초전도 물질
  • 세라믹, 복합재, 플라스틱
  • 필름/코팅
  • 지질학적 절편, 광물
  • 연성 물질: 고분자, 제약, 필터, 겔, 조직, 식물 물질
  • 입자, 다공성 물질, 섬유

특성 분석 in situ

  • 결정화/상 변형
  • 산화, 촉매
  • 물질 성장
  • 수화/탈수/습윤/접촉 각 분석
  • 인장(가열 또는 냉각)

동적 in situ 실험

Quattro ESEM의 다기능성은 재료 과학의 광범위한 주제에 매우 적합합니다. 이 제품은 기존의 고분해능 SEM 이미징/분석 및 동적 현장(in situ) 실험 수행에 있어 탁월한 성능을 제공합니다. 또한 연구원이 구조 및 구성에 대한 가장 정확한 정보를 얻도록 자연 상태의 다양한 시료를 연구할 수 있게 해줍니다.

고유한 환경 모드

Quattro ESEM의 환경 SEM 기능을 통해, 과학자들은 젖은/습한, 고온 또는 반응성 환경과 같은 다양한 조건에서 물질을 연구할 수 있게 되어 건축, 자동차, 포장, 코팅, 에너지 등 다양한 분야에서 신재료와 제품을 개발할 수 있게 되었습니다. Quattro ESEM은 과학과 환경에 큰 영향을 미치는 산화, 부식, 에칭, 결정 성장 및 촉매 등의 화학 반응의 진행을 연구할 수 있는 독특한 기능을 특징으로 합니다.


주요 특징

동적  in situ 실험

자연 상태 물질에 대한 in situ 연구: 환경 모드(ESEM)를 갖춘 고유의 고분해능 FEG-SEM. 광범위한 극저온, 펠티에(Peltier) 및 가열 스테이지를 이용하여 -165°C~1400°C의 온도에서 in situ 분석이 가능합니다.

시료 준비 시간 최소화

저진공 및 ESEM 기능을 통해 비전도성 및/또는 수화 검체의 하전없는(charge-free) 이미징 및 분석이 가능합니다.

시료 관찰

모든 작동 모드에서 동시적인 SE 및 BSE 이미징을 통해 모든 시료의 모든 정보를 관찰합니다.

탁월한 분석 성능

3개의 동시 EDS 검출기, 180° 분리 EDS 포트, WDS, 그리고 동평면 EDS/EBSD까지 허용하는 챔버로 탁월한 분석 성능을 제공합니다. 비전도성 시료의 탁월한 분석: Quattro ESEM의 렌즈를 통한 펌핑(through-the-lens pumping)을 사용하여 저진공 상태에서 정확한 EDS 및 EBSD가 가능합니다.

유연성 및 정밀성

모든 관점에서의 시료 관찰을 위해 105°의 경사 범위를 가진 유연하고 정밀한 유센트릭(eucentric) 시료 스테이지.

혁신적인 옵션으로 사용 편의성

사용자 지침과 실행 취소 기능이 포함된, 사용하기 편하고 직관적인 소프트웨어. 더 적은 마우스 클릭으로 작업이 더 빠릅니다. 인입식(retractable) RGB 음극선발광(CL) 검출기, 1100°C 고진공 가열 스테이지 및 Python 기반 스크립팅 도구(API)인 AutoScript 4 소프트웨어를 포함한 새롭고 혁신적인 옵션.


사양

재품 표 사항에 대한 스타일시트
분해능
  • 고진공 이미징
    • 30kV(STEM)에서 0.8nm
    • 고진공 상태로 30kV(SE)에서 1.0nm
    • 저진공 상태로 ESEM 모드 30kV(SE)에서 1.3nm
    • 1kV(SE)에서 3.0nm
표준 검출기
  • ETD, 저진공 SED(LVD), ESEM 모드용 가스 SED(GSED), IR 카메라
옵션 검출기
  • Nav-Cam+, DBS, DBS-GAD, ESEM-GAD, ICD, STEM 3+, WetSTEM, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC 등
ChemiSEM 기술 (옵션)
  • 에너지 분산 X선 분광법(EDS)에 기초하는 실시간 정량 SEM 이미지 채색을 사용할 수 있습니다. 포인트 & ID, 라인스캔, 지역, 원소 맵 및 정확한 Noran 정량이 포함됩니다.
스테이지 바이어스(빔 감속, 옵션)
  • -4000 V~+50V
저진공 모드
  • 최대 2600Pa(H2O) 또는 4000Pa(N2)
스테이지
  • 5-축 전동식 유센트릭 스테이지, 110 x 110mm2(경사 범위는 105°). 최대 시료 중량: 기울이지 않은 위치에서 5kg.
표준 시료 홀더
  • 표준 다중 시료 SEM 홀더는 스테이지에 고유하게 직접 장착할 수 있으며 최대 18개의 표준 스터브(⌀12mm)까지 호스팅되며, 시료를 장착하기 위한 도구가 필요하지 않음
챔버
  • 340mm 내부 폭, 12개의 포트, 3개의 동시 EDS 검출기 가능, 180°에서 2개, 스테이지의 경사 축과 직각을 이루는 동평면 EDS/EBSD
in situ 액세서리(옵션)
  • 소프트웨어에 의해 제어되는 -20°C~+60°C Peltier 냉각 스테이지
  • 소프트웨어에 의해 제어되는 1000°C 저진공/ESEM 가열 스테이지
  • 소프트웨어에 의해 제어되는 1100°C 고진공 가열 스테이지
  • 소프트웨어에 의해 제어되는 1400°C 저진공/ESEM 가열 스테이지
  • 통합형 가스 주입: 다음 물질의 빔 유도 증착을 위한 최대 2개 장치(다른 액세서리들은 사용 가능한 GIS 수를 제한할 수 있음):
    • 백금
    • 텅스텐
    • 탄소
  • 조작기
  • 극저온 스테이지
  • 전기 프로빙(probing)/다중-프로빙(multi-probing) 스테이션
소프트웨어 옵션
Style Sheet for Komodo Tabs

리소스

웨비나: 주사전자현미경: 귀사의 요구사항에 맞는 기술 선택

이 주문형 웨비나는 귀사의 고유한 요구 사항에 가장 적합한 SEM을 결정하는 데 도움이 되도록 고안되었습니다. 다중 사용자 연구 실험실을 위한 Thermo Fisher Scientific SEM 기술의 개요를 제시하고, 이러한 광범위한 솔루션이 성능, 다기능성, 현장(in situ) 동력학 및 더욱 빠른 결과를 제공하는 방법을 중점적으로 다룹니다. 다음 사항에 관심이 있는 경우, 이 웨비나를 시청하시기 바랍니다.

  • 다양한 미세 분석 양상에 대한 요구사항을 충족시키는 방법(EDX, EBSD, WDS, CL 등).
  • 시료 전처리없이 시료를 자연 상태로 특성 분석하는 방법.
  • 새로운 고급 자동화를 통해 연구원이 시간을 절약하고 생산성을 높일 수 있는 방법.

웨비나: 주사전자현미경: 귀사의 요구사항에 맞는 기술 선택

이 주문형 웨비나는 귀사의 고유한 요구 사항에 가장 적합한 SEM을 결정하는 데 도움이 되도록 고안되었습니다. 다중 사용자 연구 실험실을 위한 Thermo Fisher Scientific SEM 기술의 개요를 제시하고, 이러한 광범위한 솔루션이 성능, 다기능성, 현장(in situ) 동력학 및 더욱 빠른 결과를 제공하는 방법을 중점적으로 다룹니다. 다음 사항에 관심이 있는 경우, 이 웨비나를 시청하시기 바랍니다.

  • 다양한 미세 분석 양상에 대한 요구사항을 충족시키는 방법(EDX, EBSD, WDS, CL 등).
  • 시료 전처리없이 시료를 자연 상태로 특성 분석하는 방법.
  • 새로운 고급 자동화를 통해 연구원이 시간을 절약하고 생산성을 높일 수 있는 방법.

응용분야

전자현미경을 사용한 공정 제어

전자현미경을 사용한 공정 제어

오늘날 산업계는 우수한 품질의 높은 처리량과 강력한 공정 제어를 통해 유지되는 균형을 필요로 하고 있습니다. 전용 자동화 소프트웨어를 갖춘 SEM 및 TEM 도구는 공정 모니터링 및 개선을 위한 신속하고 멀티-스케일의 정보를 제공합니다.

 

전자현미경을 사용한 품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.

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기초 재료 연구

새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.

 

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반도체 경로탐색(Pathfinding) 및 개발

고성능 반도체 장치의 제조에 필요한 실행 가능한 솔루션과 설계 방법을 확인하기 위한 고급 전자 현미경 검사, 집속 이온빔 및 관련 분석 기법.

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수율 경사 및 계측

당사에서는 다양한 반도체 응용 분야와 장치의 생산성을 높이고 수율을 높일 수 있도록 설계된 결함 분석, 계측 및 공정 관리를 위한 고급 분석 기능을 제공합니다.

반도체 불량 분석

반도체 불량 분석

반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.

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물리적 및 화학적 특성 분석

지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.


기술

에너지 분산 분광법

에너지분산 분광법(EDS)은 전자 현미경 이미지를 통해 상세한 원소 정보를 수집하고 EM 관찰을 위한 중요한 조성 정보를 제공합니다. EDS를 사용하면 신속하고 종합적인 표면 스캔부터 개별 원자에 이르는 화학적 조성을 측정할 수 있습니다.

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고온 시료 이미징

실제 조건에서의 물질 연구는 종종 고온 작업과 관련됩니다. 주사 전자 현미경 또는 DualBeam 도구를 사용하여 물질의 재결정화, 용융, 변형 또는 열 존재 시 반응과 같은 물질의 작용을 현장 연구할 수 있습니다.

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환경 SEM(ESEM)

환경 SEM을 통해 원래 상태로 재료의 이미지를 생성할 수 있습니다. 이 제품은 젖었거나 오염되었거나 반응성이거나 가스를 발생하거나 혹은 진공 조건에 사용할 수 없는 시료를 검사 및 분석해야 할 필요가 있는 학술 및 산업 분야 연구자들에게 적합합니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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입자 분석

입자 분석은 나노 재료 연구 및 품질 관리에 있어 중요한 역할을 합니다. 분말 및 입자의 신속한 특성 분석을 위해 나노미터 규모의 분해능과 전자 현미경법의 우수한 이미지 생성 기능을 특수 소프트웨어와 결합할 수 있습니다.

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음극선 발광

음극선 발광(CL)이란 전자 빔에 의해 자극될 때 물질에서 발생하는 빛의 방출을 가리킵니다. 특수 CL 검출기로 캡처되는 이 신호는 시료의 구성, 결정 결함 또는 광 특성에 대한 정보를 담고 있습니다.

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ChemiSEM

실시간 정량과 함께 실시간 EDS(에너지 분산 X선 분광법)를 사용하는 ChemiSEM 기술은 SEM 이미징을 컬러 기술로 변환합니다. 이제 어느 사용자든 원소 데이터를 지속적으로 획득하여 그 어느 때보다 완전한 정보를 얻을 수 있습니다.

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반도체 분석 및 이미징

Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.

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에너지 분산 분광법

에너지분산 분광법(EDS)은 전자 현미경 이미지를 통해 상세한 원소 정보를 수집하고 EM 관찰을 위한 중요한 조성 정보를 제공합니다. EDS를 사용하면 신속하고 종합적인 표면 스캔부터 개별 원자에 이르는 화학적 조성을 측정할 수 있습니다.

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고온 시료 이미징

실제 조건에서의 물질 연구는 종종 고온 작업과 관련됩니다. 주사 전자 현미경 또는 DualBeam 도구를 사용하여 물질의 재결정화, 용융, 변형 또는 열 존재 시 반응과 같은 물질의 작용을 현장 연구할 수 있습니다.

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환경 SEM(ESEM)

환경 SEM을 통해 원래 상태로 재료의 이미지를 생성할 수 있습니다. 이 제품은 젖었거나 오염되었거나 반응성이거나 가스를 발생하거나 혹은 진공 조건에 사용할 수 없는 시료를 검사 및 분석해야 할 필요가 있는 학술 및 산업 분야 연구자들에게 적합합니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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입자 분석

입자 분석은 나노 재료 연구 및 품질 관리에 있어 중요한 역할을 합니다. 분말 및 입자의 신속한 특성 분석을 위해 나노미터 규모의 분해능과 전자 현미경법의 우수한 이미지 생성 기능을 특수 소프트웨어와 결합할 수 있습니다.

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음극선 발광

음극선 발광(CL)이란 전자 빔에 의해 자극될 때 물질에서 발생하는 빛의 방출을 가리킵니다. 특수 CL 검출기로 캡처되는 이 신호는 시료의 구성, 결정 결함 또는 광 특성에 대한 정보를 담고 있습니다.

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ChemiSEM

실시간 정량과 함께 실시간 EDS(에너지 분산 X선 분광법)를 사용하는 ChemiSEM 기술은 SEM 이미징을 컬러 기술로 변환합니다. 이제 어느 사용자든 원소 데이터를 지속적으로 획득하여 그 어느 때보다 완전한 정보를 얻을 수 있습니다.

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반도체 분석 및 이미징

Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.

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전자 현미경 서비스

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