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반도체 소자의 소형화는 매우 빠른 속도로 진행되고 있습니다. 이러한 소자를 정확하게 개발, 특성 분석 및 검사하려면 첨단 이미징 및 분석 기술이 필요합니다. 간단한 일반 작업부터 복잡한 장치에 대한 극도로 정밀한 전압-콘트라스트 측정이 필요한 첨단 고장 분석(FA) 기술에 이르기까지 주사 전자 현미경(SEM) 이미징은 반도체 제조 요구 사항에 필요한 매우 다양한 중요 데이터를 제공할 수 있습니다.
예를 들어, 더 높은 가속 전압은 신호를 최대화하고 데이터 생성 시간을 단축하는데 주로 사용됩니다. 이전 세대 소자의 경우 구조적 치수가 더 크기 때문에 이러한 높은 전압이 허용되었습니다. 그러나 소자의 소형화로 인해 배선폭이 계속 줄어들기 때문에 더 높은 가속 전압은 더 이상 적합하지 않으며, 더 작은 배선폭을 정확하게 이미지화하려면 더 낮은 전압이 필요합니다. 또한 낮은 kV 이미징을 통해 트랜지스터의 특성에 영향을 주지 않고 작동 중인 트랜지스터를 분석할 수 있으며, 기본 섹션의 간섭 없이 레이어(layer)를 분석할 수 있습니다. 또한 새로운 물질은 빔 손상을 최소화하기 위해 낮은 전압이 필요합니다.
Thermo Fisher Scientific은 차세대 반도체 소자를 분석하는 데 이상적인 저전압 도구를 비롯한 다양한 SEM 기기를 제공합니다. 여기에는 Thermo Scientific ChemiSEM 기술과 함께 사용할 수 있는 범용 도구인 Thermo Scientific PRISMA SEM 및 Thermo Scientific Quattro SEM이 포함됩니다. 당사는 또한 Thermo Scientific Apreo SEM에서 고품질의 낮은 kV 이미징 및 Thermo Scientific Verios XHR SEM에서 고대비 나노미터 미만 이미징 기능을 제공합니다. 자세한 내용을 보려면 아래의 해당 제품 페이지를 클릭하십시오.
SEM 이미징 및 분석 워크플로우 예
Everhart-Thornley 검출기가 있는 Apreo SEM을 사용하여 생성된 와이어 본드의 2kV 이미지.
Concentric back-scattered (CBS) 검출기가 있는 Apreo SEM을 사용하여 생성된 와이어 본드의 5kV 이미지.
Apreo SEM에서 수집된, 전기적 프로빙을 위해 기계적으로 디프로세싱된 영역의 맵 개요.
Apreo SEM에서 concentric back-scattered (CBS)을 사용하는 카메라 이미지 센서의 단면.
Thermo Scientific Verios 5 SEM을 사용하여 수집한 배터리 촉매의 400V 이미지.
컬럼내(in-column) 검출기를 사용하여 Verios SEM으로 획득한 VNAND 단면 이미지.
Everhart-Thornley 검출기가 있는 Apreo SEM을 사용하여 생성된 와이어 본드의 2kV 이미지.
Concentric back-scattered (CBS) 검출기가 있는 Apreo SEM을 사용하여 생성된 와이어 본드의 5kV 이미지.
Apreo SEM에서 수집된, 전기적 프로빙을 위해 기계적으로 디프로세싱된 영역의 맵 개요.
Apreo SEM에서 concentric back-scattered (CBS)을 사용하는 카메라 이미지 센서의 단면.
Thermo Scientific Verios 5 SEM을 사용하여 수집한 배터리 촉매의 400V 이미지.
컬럼내(in-column) 검출기를 사용하여 Verios SEM으로 획득한 VNAND 단면 이미지.
반도체 경로탐색(Pathfinding) 및 개발
고성능 반도체 장치의 제조에 필요한 실행 가능한 솔루션과 설계 방법을 확인하기 위한 고급 전자 현미경 검사, 집속 이온빔 및 관련 분석 기법.
수율 경사 및 계측
당사에서는 다양한 반도체 응용 분야와 장치의 생산성을 높이고 수율을 높일 수 있도록 설계된 결함 분석, 계측 및 공정 관리를 위한 고급 분석 기능을 제공합니다.
반도체 불량 분석
반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.
물리적 및 화학적 특성 분석
지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.
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전력 장치는 주로 전력 장치 아키텍쳐 및 레이아웃의 결과로서 오류를 국지화를 위한 고유한 과제를 제기합니다. 저희의 전력 장치 분석 도구와 워크플로우는 작동 조건에서 오류 위치를 빠르게 찾고 물질 특성 분석, 인터페이스, 장치 구조에 대한 정밀하고 고처리량의 분석을 제공합니다.
디스플레이 모듈 고장 분석
디스플레이 기술의 진화를 통해 디스플레이 품질 및 광변환 효율성을 개선하여 다양한 산업 부문의 응용분야를 지원하는 동시에 생산 비용을 지속적으로 절감할 수 있습니다. 당사의 공정 계측, 고장 분석, 연구 및 개발 솔루션은 디스플레이 기업의 이러한 문제를 해결하는 데 도움을 줍니다.
반도체 물질 및 장치 특성 분석
반도체 장치가 축소되고 복잡해짐에 따라 새로운 설계와 구조를 필요로 하게 되었습니다. 고생산성의 3D 분석 워크플로우는 장치 개발 시간을 단축하고 수율을 극대화할 수 있으며, 장치가 산업의 향후 요구 사항에 부합되도록 보장합니다.
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