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고급 물질 특성 분석 실험실에서는 최신 기술에 대한 접근이 필요하며, SEM 등 분석 도구의 기능을 극대화하려 합니다. 이러한 실험실 대부분은 다양한 경험 수준의 사용자를 수용하는 다중 사용자 시설입니다. 현미경에 소요되는 시간은 매우 소중하며 유지 관리, 정렬, 교육 또는 이미지 최적화에 과다한 시간을 소비하지 않아야 합니다.
새로운 Thermo Scientific Apreo 2 SEM은 모든 수준의 현미경 전문가에게 고성능 이미징 및 분석을 가능하게 합니다. Thermo Scientific ChemiSEM 기술, 고유의 실시간 원소 이미징 기능을 통해, 가장 직관적인 인터페이스에 의한 조성 정보를 언제든지 이용가능합니다. 일반적인 EDS 구현과 관련된 모든 장애를 제거해 주는 ChemiSEM 기술은, 결과 도출에 필요한 시간과 사용 편의성에 있어 전례 없는 성능을 제공합니다.
Apreo 2 SEM은 자체적으로 정렬되는 광학 시스템인 Thermo Scientific SmartAlign 기술을 통해, 사용자와 실험실 관리자에게 제기되는 요구사항을 크게 줄여줍니다. 또한 Apreo 2 SEM은 Thermo Scientific FLASH 기술을 통해 이미지 미세 조정 프로세스를 자동화합니다. FLASH 기술은 렌즈 중심 잡기, 스티그메이터(stigmator) 및 이미지의 최종 초점에 필요한 수정을 실시합니다. 이러한 기술의 조합은, 전자 현미경 검사를 처음 접하는 사용자가 Apreo 2 SEM의 최첨단 성능을 이용할 수 있음을 의미합니다. 또한 Apreo 2 SEM은 10mm 분석 작동 거리에서 1 나노미터 분해능을 가진 유일한 SEM입니다. 이제 더 이상 긴 작동 거리가 저품질 이미지를 의미하지 않습니다. Apreo 2 SEM을 사용하면 누구나 우수한 결과를 얻을 수 있습니다.
Apreo 2 SEM 동영상 티저
Apreo 2는 고급 광학부, 검출, 자동화가 결합되어 SEM을 처음 사용하는 사용자도 고분해능의 이미지를 얻을 수 있습니다.
전례없는 결과 도출 시간과 사용 용이성을 위해 라이브 정량 원소 맵핑을 제공하는 ChemiSEM을 사용하여 원소 정보를 쉽게 얻을 수 있습니다.
스테이지로 쉽게 액세스 할 수 있고, 편리한 다중 시료 홀더, 빠른 펌프를 사용하므로 시료 로딩에 시간을 낭비하지 않습니다. pressure limiting aperture(PLA)를 삽입하고 제거하는 자동화 루틴을 통해 챔버를 열지 않고서도 고진공과 저진공 사이를 원활하게 전환할 수 있습니다.
광학부에서 이미지 획득까지, Apreo 2 이미징 시간을 가능한 효과적이고 효율적으로 활용하기 위해 다양한 자동화 기능을 제공합니다. 플래시(flash) 기술은 이미지 미세 조정을 자동화합니다. 고유한 Undo 기능은 효율적인 이미징 조건을 탐색을 가능하게 합니다. Thermo Scientific Maps 소프트웨어는 최대 4개의 다른 동시 신호를 사용하여 대면적 수집을 자동화합니다.
Apreo 2는 고분해능 성능(1nm) 및 분석 작동 거리(10mm)에서 우수한 이미지 품질을 제공하는 유일한 SEM입니다. 폴 피스(pole piece)로부터 안전한 거리에 있으면서 시료 형태, 토포그래피(topography) 및 표면 정보를 모두 동시에 탐색할 수 있습니다. 고속, 고감도의 렌즈내 후방산란 검출기(in-lens backscattered detector) 덕분에 극도로 낮은 빔 전류(수 pA 만큼 낮은)에서도 여전히 BSE가 검출됩니다.
Apreo 2 S | Apreo 2 C | |
분해능 |
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표준 검출기 |
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PivotBeam |
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옵션 검출기 |
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ChemiSEM 기술 (옵션) |
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랜딩 에너지 범위 |
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스테이지 바이어스(빔 감속) |
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저진공 모드 |
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스테이지 |
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최대 빔 전류 |
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표준 시료 홀더 |
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챔버 |
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이 주문형 세미나에서는 Apreo 2 SEM에 대한 보다 광범위한 개요와 제품 특징, 기능, ChemiSEM 기술을 알려드리고 Apreo 2의 실제 시연을 보여드립니다. 웨비나 내용:
이 주문형 웨비나는 귀사의 고유한 요구 사항에 가장 적합한 SEM을 결정하는 데 도움이 되도록 고안되었습니다. 다중 사용자 연구 실험실을 위한 Thermo Fisher Scientific SEM 기술의 개요를 제시하고, 이러한 광범위한 솔루션이 성능, 다기능성, 현장(in situ) 동력학 및 더욱 빠른 결과를 제공하는 방법을 중점적으로 다룹니다. 다음 사항에 관심이 있는 경우, 이 웨비나를 시청하시기 바랍니다.
이 동영상은 Apreo의 Trinity 검출 시스템이 시료에 대한 모든 질문에 응답하는 방법을 보여줍니다.
쉽게 눈에 띄지 않는 대비(contrast)를 강조 표시합니다
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새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.
품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.
고성능 반도체 장치의 제조에 필요한 실행 가능한 솔루션과 설계 방법을 확인하기 위한 고급 전자 현미경 검사, 집속 이온빔 및 관련 분석 기법.
당사에서는 다양한 반도체 응용 분야와 장치의 생산성을 높이고 수율을 높일 수 있도록 설계된 결함 분석, 계측 및 공정 관리를 위한 고급 분석 기능을 제공합니다.
반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.
지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.
디스플레이 기술의 진화를 통해 디스플레이 품질 및 광변환 효율성을 개선하여 다양한 산업 부문의 응용분야를 지원하는 동시에 생산 비용을 지속적으로 절감할 수 있습니다. 당사의 공정 계측, 고장 분석, 연구 및 개발 솔루션은 디스플레이 기업의 이러한 문제를 해결하는 데 도움을 줍니다.
ChemiSEM
실시간 정량과 함께 실시간 EDS(에너지 분산 X선 분광법)를 사용하는 ChemiSEM 기술은 SEM 이미징을 컬러 기술로 변환합니다. 이제 어느 사용자든 원소 데이터를 지속적으로 획득하여 그 어느 때보다 완전한 정보를 얻을 수 있습니다.
에너지 분산 분광법
에너지분산 분광법(EDS)은 전자 현미경 이미지를 통해 상세한 원소 정보를 수집하고 EM 관찰을 위한 중요한 조성 정보를 제공합니다. EDS를 사용하면 신속하고 종합적인 표면 스캔부터 개별 원자에 이르는 화학적 조성을 측정할 수 있습니다.
고온 시료 이미징
실제 조건에서의 물질 연구는 종종 고온 작업과 관련됩니다. 주사 전자 현미경 또는 DualBeam 도구를 사용하여 물질의 재결정화, 용융, 변형 또는 열 존재 시 반응과 같은 물질의 작용을 현장 연구할 수 있습니다.
음극선 발광
음극선 발광(CL)이란 전자 빔에 의해 자극될 때 물질에서 발생하는 빛의 방출을 가리킵니다. 특수 CL 검출기로 캡처되는 이 신호는 시료의 구성, 결정 결함 또는 광 특성에 대한 정보를 담고 있습니다.
멀티스케일 분석
새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.
반도체 분석 및 이미징
Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.
ChemiSEM
실시간 정량과 함께 실시간 EDS(에너지 분산 X선 분광법)를 사용하는 ChemiSEM 기술은 SEM 이미징을 컬러 기술로 변환합니다. 이제 어느 사용자든 원소 데이터를 지속적으로 획득하여 그 어느 때보다 완전한 정보를 얻을 수 있습니다.
에너지 분산 분광법
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음극선 발광
음극선 발광(CL)이란 전자 빔에 의해 자극될 때 물질에서 발생하는 빛의 방출을 가리킵니다. 특수 CL 검출기로 캡처되는 이 신호는 시료의 구성, 결정 결함 또는 광 특성에 대한 정보를 담고 있습니다.
멀티스케일 분석
새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.
반도체 분석 및 이미징
Thermo Fisher Scientific은 일반적인 이미지 생성 작업에서 정밀도 높은 전압 대비 측정이 필요한 고급 고장 분석 기술에 이르까지 반도체 실험실의 모든 기능을 위한 주사전자현미경을 제공합니다.