혁신적인 재료는 안전, 청정 에너지, 운송, 인체 건강 및 산업 생산성 분야에서 필수적인 역할을 합니다. 지속적인 혁신을 위해 연구자들은 대규모에서 나노 단위 물질에 이르는 재료의 물리적 및 화학적 특성(형태학적, 구조적, 자기, 열 및 기계적)을 더욱 심도 있게 파악하기를 원합니다. 새로운 물질 발견, 분석 문제 해결, 공정 개선, 제품 품질 보장 등 모든 규모와 양상에 있어 전자 현미경은 통찰력을 제공해 줄 수 있습니다. 재료과학 연구에서의 발견은 구조적 특성을 기능적 성능에 성공적으로 연관시킬 수 있는 연구자의 능력을 강화할 수 있도록 돕습니다. 이러한 통찰력은 상업적 기업이 제품 및 프로세스를 혁신하는 것을 지원하므로 중요한 시장 출시 시간 및 비용 상의 이점을 얻게 하는 데 도움이 됩니다.

 Thermo Fisher Scientific의 전자 현미경 및 분광 분석을 비롯한 분석 솔루션은, 다음과 같은 고객의 가장 시급한 과제를 해결하는데 도움을 줄 수 있습니다.

  • 오늘 날의 고유한 사회적, 경제적 과제 요구에 부응하는 새로운 기능성 재료 개발
  • 보완적 기술로부터 재생산 가능한 데이터를 이용한 새로운 재료 발견 지원
  • 프로세스 개선 및 제품 결함을 조사하기 위한 재료 및 방법 개발의 난제 해결
  • 획기적인 발견의 발표, 지원금 확보를 위한 제안서 작성, 새로운 재료 특허 출원
  • 고객에게 도달하기 전에 결함이 제거되도록 보증
  • 아이디어를 신속하게 시장에 출시하여 회사 경쟁력 유지

리튬 이온 배터리 양극 결함 분석 플라즈마 FIB DualBeam을 통한 연속 절편 및 이미징, 그리고 Avizo 소프트웨어를 사용한 디지털 3D 재구성 기능이 매우 상세한 시료 모델을 제공합니다.

응용분야

전자현미경을 사용한 공정 제어

전자현미경을 사용한 공정 제어

오늘날 산업계는 우수한 품질의 높은 처리량과 강력한 공정 제어를 통해 유지되는 균형을 필요로 하고 있습니다. 전용 자동화 소프트웨어를 갖춘 SEM 및 TEM 도구는 공정 모니터링 및 개선을 위한 신속하고 멀티-스케일의 정보를 제공합니다.

 

전자현미경을 사용한 품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.

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기초 재료 연구

새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.

 

부품 청결도 검사 중에 SEM에 의해 발견된 알루미늄 미네랄 입자

기술적 청결도

그 어느 때보다 오늘날의 제조업계는 신뢰할 수 있는 고품질 부품을 필요로 합니다. 주사전자현미경을 이용해, 내부에서 광범위한 분석 데이터를 제공하고 생산 주기를 단축시킬 수 있는 부품 청결도 분석을 수행할 수 있습니다.

Style Sheet for Techniques Only Tab

(S)TEM 시료 준비

DualBeam 현미경은 (S)TEM 분석을 위한 고품질의 초박막 시료의 준비를 가능하게 해줍니다. 고급 자동화 기능에 힘입어 모든 경험 수준의 사용자가 전문가 수준의 결과물을 얻을 수 있습니다.

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3D 재료 특성 분석

물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.

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나노단위 프로토타이핑

기술이 지속적으로 소형화되어 감에 따라, 나노단위 장치 및 구조에 대한 수요는 계속 증가하고 있습니다. DualBeam 기기에 의한 3D 나노 프로토타입 제작은 마이크로 및 나노 규모 기능 프로토타입을 신속하게 설계, 제작 및 검사할 수 있도록 도와줍니다.

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에너지 분산 분광법

에너지분산 분광법(EDS)은 전자 현미경 이미지를 통해 상세한 원소 정보를 수집하고 EM 관찰을 위한 중요한 조성 정보를 제공합니다. EDS를 사용하면 신속하고 종합적인 표면 스캔부터 개별 원자에 이르는 화학적 조성을 측정할 수 있습니다.

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EDS 원소 분석

EDS는 전자 현미경 관찰에 있어 중요한 조성 정보를 제공해 줍니다. 특히, 당사의 독자적인 Super-X 및 Dual-X 검출기 시스템은 향상된 처리량 및/또는 감도를 위한 옵션을 제공함으로써 연구 우선 순위에 준하여 데이터 획득을 최적화합니다.

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3D EDS 단층 촬영

오늘날의 재료 연구는 3차원의 나노단위 분석에 점점 더 의존하고 있습니다. 3D EM과 에너지 분산 X선 분광법으로 전체 화학적 조성 데이터 및 구조적 정보 등 3D 특성 분석이 가능합니다.

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EDS를 통한 원자 규모 원소 맵핑

원자 분해능 EDS는 개별 원자의 원소적 정체성을 구별함으로써 재료 분석을 위한 탁월한 화학적 정보를 제공합니다. 고분해능 TEM과 함께 사용하면 시료에서 정확한 원자 조성을 관찰할 수 있습니다.

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HRSTEM 및 HRTEM을 사용한 이미지 생성

투과 전자 현미경법은 나노 입자 및 나노 물질의 구조적 특성을 분석하는 데 있어 매우 중요합니다. 고분해능 STEM과 TEM을 사용하면 화학적 조성에 대한 정보와 함께 원자 분해능 데이터를 사용할 수 있습니다.

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차동 위상 콘트라스트 이미지 생성

오늘날의 전자 연구는 전기 및 자기 성질에 대한 나노단위 분석에 기초하고 있습니다. 차동 위상 대비 STEM(DPC-STEM)은 시료 내 자기장의 강도 및 분포를 영상화하고 자기 영역 구조를 표시할 수 있습니다.

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고온 시료 이미징

실제 조건에서의 물질 연구는 종종 고온 작업과 관련됩니다. 주사 전자 현미경 또는 DualBeam 도구를 사용하여 물질의 재결정화, 용융, 변형 또는 열 존재 시 반응과 같은 물질의 작용을 현장 연구할 수 있습니다.

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X선 광전자 분광법

X선 광전자 분광법(XPS)은 원소 조성은 물론 물질의 상부 10nm의 화학적 및 전자적 상태를 제공하는 표면 분석이 가능합니다. XPS 분석은 깊이 프로파일링을 통해 층들의 조성에 관한 유용한 정보를 제공합니다.

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환경 SEM(ESEM)

환경 SEM을 통해 원래 상태로 재료의 이미지를 생성할 수 있습니다. 이 제품은 젖었거나 오염되었거나 반응성이거나 가스를 발생하거나 혹은 진공 조건에 사용할 수 없는 시료를 검사 및 분석해야 할 필요가 있는 학술 및 산업 분야 연구자들에게 적합합니다.

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전자 에너지 손실 분광법

재료 과학 연구는 다양한 분석 응용 분야에서 고분해능 EELS를 활용합니다. 여기에는 높은 처리량, 높은 신호 대 잡음비 원소 맵핑, 산화 상태 프로빙(probing) 및 표면 포논(phonon)도 포함됩니다.

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APT 시료 준비

원자 프로브 단층촬영(APT)은 물질의 원자 분해능 3D 조성 분석 기능을 제공합니다. 집속 이온 빔(FIB) 현미경법은 APT 특성 분석을 위한 고품질, 방향 설정, 위치-특이적인 시료 준비를 위한 필수 기법입니다.

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단면 절단

단면 절단은 표면 하부 정보를 파악하여 추가적으로 유용한 정보를 제공해 줍니다. DualBeam 기기는 고품질 단면 절단 작업에 있어 탁월한 집속 이온 빔 컬럼을 제공해 줍니다. 자동화를 통해 시료의 무인 고처리량 처리가 가능합니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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입자 분석

입자 분석은 나노 재료 연구 및 품질 관리에 있어 중요한 역할을 합니다. 분말 및 입자의 신속한 특성 분석을 위해 나노미터 규모의 분해능과 전자 현미경법의 우수한 이미지 생성 기능을 특수 소프트웨어와 결합할 수 있습니다.

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음극선 발광

음극선 발광(CL)이란 전자 빔에 의해 자극될 때 물질에서 발생하는 빛의 방출을 가리킵니다. 특수 CL 검출기로 캡처되는 이 신호는 시료의 구성, 결정 결함 또는 광 특성에 대한 정보를 담고 있습니다.

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SIMS

집속 이온 빔 주사전자현미경법(FIB-SEM) 도구를 위한 TOF-SIMS(비행시간형 2차 이온 질량 분석법) 검출기는, 낮은 농도에서도 주기율표에 있는 모든 원소의 고분해능 특성 분석을 가능하게 합니다.

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멀티스케일 분석

새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.

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ChemiSEM

실시간 정량과 함께 실시간 EDS(에너지 분산 X선 분광법)를 사용하는 ChemiSEM 기술은 SEM 이미징을 컬러 기술로 변환합니다. 이제 어느 사용자든 원소 데이터를 지속적으로 획득하여 그 어느 때보다 완전한 정보를 얻을 수 있습니다.

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자동화 입자 워크플로우

APW(Automated NanoParticle Workflow)는 나노입자 분석을 위한 투과전자현미경 워크플로우로, 나노 단위에서 대면적, 고분해능 이미징 및 데이터 획득을 즉석으로 처리할 수 있습니다.

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(S)TEM 시료 준비

DualBeam 현미경은 (S)TEM 분석을 위한 고품질의 초박막 시료의 준비를 가능하게 해줍니다. 고급 자동화 기능에 힘입어 모든 경험 수준의 사용자가 전문가 수준의 결과물을 얻을 수 있습니다.

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3D 재료 특성 분석

물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.

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나노단위 프로토타이핑

기술이 지속적으로 소형화되어 감에 따라, 나노단위 장치 및 구조에 대한 수요는 계속 증가하고 있습니다. DualBeam 기기에 의한 3D 나노 프로토타입 제작은 마이크로 및 나노 규모 기능 프로토타입을 신속하게 설계, 제작 및 검사할 수 있도록 도와줍니다.

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에너지 분산 분광법

에너지분산 분광법(EDS)은 전자 현미경 이미지를 통해 상세한 원소 정보를 수집하고 EM 관찰을 위한 중요한 조성 정보를 제공합니다. EDS를 사용하면 신속하고 종합적인 표면 스캔부터 개별 원자에 이르는 화학적 조성을 측정할 수 있습니다.

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EDS 원소 분석

EDS는 전자 현미경 관찰에 있어 중요한 조성 정보를 제공해 줍니다. 특히, 당사의 독자적인 Super-X 및 Dual-X 검출기 시스템은 향상된 처리량 및/또는 감도를 위한 옵션을 제공함으로써 연구 우선 순위에 준하여 데이터 획득을 최적화합니다.

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3D EDS 단층 촬영

오늘날의 재료 연구는 3차원의 나노단위 분석에 점점 더 의존하고 있습니다. 3D EM과 에너지 분산 X선 분광법으로 전체 화학적 조성 데이터 및 구조적 정보 등 3D 특성 분석이 가능합니다.

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EDS를 통한 원자 규모 원소 맵핑

원자 분해능 EDS는 개별 원자의 원소적 정체성을 구별함으로써 재료 분석을 위한 탁월한 화학적 정보를 제공합니다. 고분해능 TEM과 함께 사용하면 시료에서 정확한 원자 조성을 관찰할 수 있습니다.

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HRSTEM 및 HRTEM을 사용한 이미지 생성

투과 전자 현미경법은 나노 입자 및 나노 물질의 구조적 특성을 분석하는 데 있어 매우 중요합니다. 고분해능 STEM과 TEM을 사용하면 화학적 조성에 대한 정보와 함께 원자 분해능 데이터를 사용할 수 있습니다.

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차동 위상 콘트라스트 이미지 생성

오늘날의 전자 연구는 전기 및 자기 성질에 대한 나노단위 분석에 기초하고 있습니다. 차동 위상 대비 STEM(DPC-STEM)은 시료 내 자기장의 강도 및 분포를 영상화하고 자기 영역 구조를 표시할 수 있습니다.

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고온 시료 이미징

실제 조건에서의 물질 연구는 종종 고온 작업과 관련됩니다. 주사 전자 현미경 또는 DualBeam 도구를 사용하여 물질의 재결정화, 용융, 변형 또는 열 존재 시 반응과 같은 물질의 작용을 현장 연구할 수 있습니다.

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X선 광전자 분광법

X선 광전자 분광법(XPS)은 원소 조성은 물론 물질의 상부 10nm의 화학적 및 전자적 상태를 제공하는 표면 분석이 가능합니다. XPS 분석은 깊이 프로파일링을 통해 층들의 조성에 관한 유용한 정보를 제공합니다.

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환경 SEM(ESEM)

환경 SEM을 통해 원래 상태로 재료의 이미지를 생성할 수 있습니다. 이 제품은 젖었거나 오염되었거나 반응성이거나 가스를 발생하거나 혹은 진공 조건에 사용할 수 없는 시료를 검사 및 분석해야 할 필요가 있는 학술 및 산업 분야 연구자들에게 적합합니다.

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전자 에너지 손실 분광법

재료 과학 연구는 다양한 분석 응용 분야에서 고분해능 EELS를 활용합니다. 여기에는 높은 처리량, 높은 신호 대 잡음비 원소 맵핑, 산화 상태 프로빙(probing) 및 표면 포논(phonon)도 포함됩니다.

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APT 시료 준비

원자 프로브 단층촬영(APT)은 물질의 원자 분해능 3D 조성 분석 기능을 제공합니다. 집속 이온 빔(FIB) 현미경법은 APT 특성 분석을 위한 고품질, 방향 설정, 위치-특이적인 시료 준비를 위한 필수 기법입니다.

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단면 절단

단면 절단은 표면 하부 정보를 파악하여 추가적으로 유용한 정보를 제공해 줍니다. DualBeam 기기는 고품질 단면 절단 작업에 있어 탁월한 집속 이온 빔 컬럼을 제공해 줍니다. 자동화를 통해 시료의 무인 고처리량 처리가 가능합니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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입자 분석

입자 분석은 나노 재료 연구 및 품질 관리에 있어 중요한 역할을 합니다. 분말 및 입자의 신속한 특성 분석을 위해 나노미터 규모의 분해능과 전자 현미경법의 우수한 이미지 생성 기능을 특수 소프트웨어와 결합할 수 있습니다.

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음극선 발광

음극선 발광(CL)이란 전자 빔에 의해 자극될 때 물질에서 발생하는 빛의 방출을 가리킵니다. 특수 CL 검출기로 캡처되는 이 신호는 시료의 구성, 결정 결함 또는 광 특성에 대한 정보를 담고 있습니다.

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SIMS

집속 이온 빔 주사전자현미경법(FIB-SEM) 도구를 위한 TOF-SIMS(비행시간형 2차 이온 질량 분석법) 검출기는, 낮은 농도에서도 주기율표에 있는 모든 원소의 고분해능 특성 분석을 가능하게 합니다.

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멀티스케일 분석

새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.

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ChemiSEM

실시간 정량과 함께 실시간 EDS(에너지 분산 X선 분광법)를 사용하는 ChemiSEM 기술은 SEM 이미징을 컬러 기술로 변환합니다. 이제 어느 사용자든 원소 데이터를 지속적으로 획득하여 그 어느 때보다 완전한 정보를 얻을 수 있습니다.

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자동화 입자 워크플로우

APW(Automated NanoParticle Workflow)는 나노입자 분석을 위한 투과전자현미경 워크플로우로, 나노 단위에서 대면적, 고분해능 이미징 및 데이터 획득을 즉석으로 처리할 수 있습니다.

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시료


배터리 연구

배터리 개발은 microCT, SEM 및 TEM, Raman 분광법, XPS 및 디지털 3D 시각화 및 분석을 통한 멀티 스케일(multi-scale) 분석에 의해 이루어질 수 있습니다. 이 접근 방식이 더 나은 배터리를 만드는 데 필요한 구조 및 화학 정보를 제공하는 방법에 대해 알아보십시오.

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금속 연구

금속을 효과적으로 생산하려면 함유물 및 침전물에 대한 정밀한 제어가 필요합니다. 당사의 자동화 도구를 사용하여 나노 입자 계수, EDS 화학 물질 분석 및 TEM 시료 준비 등 금속 분석에 필수적인 다양한 작업을 수행할 수 있습니다.

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고분자 연구

고분자 미세 구조는 물질의 벌크 특성 및 성능과 관련이 있습니다. 전자현미경법은 R&D 및 품질 관리 응용 분야의 고분자 형태학 및 구성에 대한 종합적인 마이크로 단위 분석을 가능케 합니다.

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지질학 연구

지구과학은 암석 시료 내 특징을 일정하고 정확하게 멀티 스케일(multi-scale)로 관찰합니다. SEM-EDS는 자동화 소프트웨어와 결합하여 암석학 및 광물학 연구를 위한 텍스처 및 광물 구성의 직접적인 대규모 분석을 가능하게 합니다.

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오일 및 가스

오일 및 가스에 대한 수요가 지속됨에 따라, 탄화수소를 효율적이고 효과적으로 추출해야 할 필요성이 계속해서 증가하고 있습니다. Thermo Fisher Scientific은 다양한 석유 과학 응용 분야를 위한 다양한 현미경법 및 분광학 솔루션을 제공합니다.

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나노입자

재료는 큰 규모 단위보다 나노 단위에서 근본적으로 다른 특성을 드러냅니다. 이를 연구하기 위해, S/TEM 기기를 에너지 분산형 X선 분광법과 결합하여 나노미터 미만의 분해능 데이터를 얻을 수 있습니다.

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법의학

법의학 조사의 일환으로 전자현미경법을 사용하여 범죄 현장의 미세 증거를 분석하고 비교할 수 있습니다. 사용가능한 시료로는 유리 및 페인트 절편, 공구 마크, 약물, 폭발물 및 GSR(총격 잔류물) 등이 있습니다.

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촉매 연구

촉매는 대부분의 현대적인 산업 공정에 있어 대단히 중요합니다. 그 효율은 촉매 입자의 미세 조성 및 형태학에 따라 달라집니다. EDS와 EM은 이러한 속성 연구에 매우 적합합니다.

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섬유 및 필터

합성 섬유의 직경, 형태 및 밀도는 필터의 수명과 기능을 결정하는 데 있어 핵심 파라미터가 됩니다. 주사전자현미경(SEM)은 이러한 기능을 신속하고 용이하게 조사하는 데 있어 이상적인 기술입니다.

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2D 재료

새로운 재료의 연구는 저차원 물질의 구조에 점점 더 많은 관심을 기울이고 있습니다. 프로브(probe) 교정 및 단색화법을 이용하는 주사 투과 전자 현미경법으로 고분해능 2차원 물질 이미지 생성을 수행할 수 있습니다.

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자동차 재료 테스트

현대적인 차량의 모든 구성 요소는 안전성, 효율성 및 성능을 고려하여 설계됩니다. 전자현미경법 및 분광법에 의한 자동차 재료의 상세한 특성 분석을 통해 중요한 공정을 결정하고 제품을 개선하며 새로운 재료를 신속하게 식별할 수 있습니다.

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제품

기기 카드 원본 스타일시트

Helios 5 Laser PFIB 시스템

  • 빠르고, 밀리미터-스케일 단면 절단
  • 통계적으로 유의미한 깊은 표면 하부 및 3D 데이터 분석
  • Helios 5 PFIB 플랫폼의 모든 기능 공유

Helios Hydra DualBeam

  • 가장 광범위한 물질에 대한 최적화된 PFIB 처리를 위한 고속 전환가능한 4개의 이온 종(XE, AR, O, N)
  • Ga 없이 TEM 시료 준비
  • 초고분해능 SEM 이미징

Helios 5 DualBeam

  • 완전 자동 고품질 초박형 TEM 시료 준비
  • 높은 처리량의 고분해능 표면 및 3D 특성 분석
  • 고속 나노 프로토타입 제작 기능

Helios 5 PFIB DualBeam

  • 갈륨 없이 STEM 및 TEM 시료 준비
  • 다중 모드 표면 하부 및 3D 정보
  • 차세대 2.5 μA 제논 플라즈마 FIB 컬럼

Spectra 300

  • 원자 수준의 최고 분해능으로 구조적, 화학적 정보 제공
  • 30 ~ 300kV의 유연하고 높은 전압 범위
  • 3 렌즈 콘덴서 시스템

Spectra 200

  • 30 ~ 200kV 가속 전압에서 고분해능 및 콘트라스트 이미지 생성
  • 5.4mm의 wide-gap pole piece 설계에 의한 대칭적 S-TWIN/X-TWIN 대물 렌즈
  • 60kV ~ 200kV에서 Angstrom 미만의 STEM 이미징 분해능

Talos F200i TEM

  • 고품질 S/TEM 이미지 및 정확한 EDS
  • 이중 EDS 기술과 함께 사용 가능
  • 최상의 전방위적인 현장(in situ) 기능
  • 고속으로 대형 관측시야 이미징

Talos F200S TEM

  • 정확한 화학적 조성 데이터
  • 동적 현미경법을 위한 고성능 이미징과 정확한 조성 분석
  • 신속하고 용이한 다중 모드 데이터 획득 및 분석을 위한 Velox 소프트웨어 기능

Talos F200X TEM

  • STEM 세포 이미징과 화학적 분석에서 높은 분해능/처리량
  • 동적 실험을 위해, 현장(in situ) 시료 홀더 추가
  • 신속하고 용이한 다중 모드 데이터 획득 및 분석을 위한 Velox 소프트웨어 기능

Talos F200C TEM

  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공
  • 고대비, 고품질 TEM 및 STEM 이미징
  • Ceta 16Mpixel CMOS 카메라에 의한 넓은 관측시야와 높은 판독 속도 구현

Scios 2 DualBeam

  • 자성 및 비전도성 시료에 대한 완벽한 지원
  • 높은 처리량의 표면 하부 및 3D 특성 분석
  • 향상된 사용 편의성 및 자동화 기능

Talos L120C TEM

  • 안정성 향상
  • 4K × 4K Ceta CMOS 카메라
  • 25 ~ 650kX의 TEM 확대 범위
  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공

Axia ChemiSEM

  • 실시간 정량적 원소 맵핑
  • 높은 정확도의 주사전자현미경 이미징
  • 초보자도 사용가능한 유연성 및 사용 편의성
  • 간편한 유지관리

Apreo 2 SEM

  • 전방위적인 나노미터 미만 분해능을 위한 고성능 SEM
  • 민감하고 TV 속도 물질 대비를 위한 In-column T1 후방산란 검출기
  • 긴 작동 거리에서(10mm)에서 뛰어난 성능

Verios 5 XHR SEM

  • 1keV ~ 30keV의 전체 에너지 범위에 걸친 나노미터 미만 분해능을 위한 모노크로메이트 SEM
  • 최저 20eV까지 빔 랜딩 에너지에 쉽게 접근 가능
  • 표준으로 제공되는 피에조(piezo) 스테이지에 의한 뛰어난 안정성

Quattro ESEM

  • 고유한 환경 기능(ESEM)을 갖춘 다기능성 고분해능 FEG SEM
  • 모든 조작 모드에서 동시 SE 및 BSE 이미징을 통한 모든 시료의 모든 정보 관찰

PRISMA E SEM

  • 탁월한 이미지 품질의 초보 수준 SEM
  • 여러 시료를 신속하고 쉽게 로딩 및 탐색
  • 전용 진공 모드를 통해 광범위한 물질 사용 가능

VolumeScope 2 SEM

  • 큰 부피로부터 등방성(isotropic) 3D 데이터
  • 고진공 및 저진공 모드에서 고대비와 고분해능
  • 일반 SEM 사용과 연속 블록-페이스 이미징 간의 간단한 전환

Phenom Pharos G2 Desktop FEG-SEM

  • 1 - 20 kV 가속 전압 범위의 FEG 소스
  • <2.0 nm (SE) 및 3.0 nm (BSE) 분해능 @ 20 kV
  • 완전 통합형 EDS 및 SE 검출기 옵션

Phenom XL G2 데스크탑 SEM

  • 대형 시료(100x100mm)에 적합하며 자동화에 이상적
  • <10nm 분해능 및 최대 200,000x 확대, 4.8kV에서 최대 20kV의 가속 전압
  • 완전 통합형 EDS 및 BSE 검출기 옵션

Phenom Pro G6 데스크탑 SEM

  • 고성능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <6nm(SE) 및 <8nm(BSE), 최대 350,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom ProX G6 데스크탑 SEM

  • EDS 통합 검출기를 갖춘 고성능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <6nm(SE) 및 <8nm(BSE), 최대 350,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom Pure G6 데스크탑 SEM

  • 입문 수준 데스크탑 SEM
  • 분해능 <15nm, 최대 175,000x 확대
  • 수명이 긴 CeB6 소스

Phenom ParticleX Steel 데스크탑 SEM

  • SEM과 EDS 통합
  • 간편한 사용
  • 마이크로미터 미만 개재물

Phenom ParticleX TC 데스크탑 SEM

  • 청결도 기술을 위한 자동화 소프트웨어를 갖춘 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom Perception GSR 데스크탑 SEM

  • 전용 자동 GSR 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • 수명이 긴 CeB6 소스

Phenom ParticleX AM 데스크탑 SEM

  • 적층 제조를 위한 자동화 소프트웨어가 포함된 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

Phenom 프로그래밍 인터페이스

  • 워크플로우에 맞게 SEM을 맞춤형으로 구성
  • 자동화 프로세스를 통해 효율성을 높이고 시간을 절약
  • 이미징 설정 및 단계 탐색 제어

Nexsa G2 XPS

  • 미세 초점 X-선 소스
  • 독자적인 다중기법 옵션
  • 단일 원자 & 클러스터 이온 깊이 프로파일링을 위한 듀얼 모드 이온 소스

K-Alpha XPS

  • 고분해능 XPS
  • 빠르고 효율적이며 자동화된 워크플로우
  • 깊이 프로파일링을 위한 이온 소스

ESCALAB Xi+ XPS

  • 높은 스펙트럼 분해능
  • 다중 기법 표면 분석
  • 광범위한 시료 준비 및 확장 옵션

Auto Slice and View 4.0 소프트웨어

  • DualBeam을 위한 자동 연속 절편
  • 다중 모드 데이터 수집(SEM, EDS, EBSD)
  • 즉각적인 편집 기능
  • 모서리 기반 절단 배치

Avizo 소프트웨어
재료 과학

  • 다중 데이터/다중 뷰, 다중 채널, 타임 시리즈, 대량 데이터 지원
  • 고급 다중 모드 2D/3D 자동 등록
  • 아티팩트(artifact) 감소 알고리즘

AsbestoMetric

  • 이미지 획득, 섬유 검출 및 보고를 위한 자동화 도구
  • 섬유 재방문을 통한 EDS 분석 지원
  • 석면 분석에 관한 ISO 표준 보고서

Quartz PCI/CFR

  • 21 CFR Part 11 준수를 위한 SEM 이미징 추적성
  • Phenom XL 및 Phenom Pro 데스크탑 SEM과 함께 사용 가능
  • Windows 10 64 비트 운영 체제 지원

AutoTEM 5

  • 완전 자동 현장(in situ) S/TEM 시료 준비
  • 상-하, 평면, 역 기하학 지원
  • 고도로 구성 가능한 워크플로우
  • 사용이 쉽고 직관적인 사용자 인터페이스

AutoScript 4

  • 개선된 재현성 및 정확도
  • 무인 조건에서 고처리량 이미지 생성 및 패턴 작업
  • Python 3.5 기반 스크립팅 환경에 의한 지원

Velox

  • 처리 창 왼쪽에 있는 실험 패널
  • 실시간 정량 맵핑
  • 재현가능한 실험 제어 & 설정을 위한 상호작용식 검출기 레이아웃 인터페이스

Inspect 3D 소프트웨어

  • 교차-상관관계를 위한 이미지 처리 도구 및 필터
  • 이미지 정렬을 위한 형상 추적
  • 반복 투영 비교를 위한 대수적 재구성 기술

Maps 소프트웨어

  • 넓은 영역에서 고분해능 이미지 획득
  • 관심 영역을 쉽게 발견
  • 자동 이미지 획득 절차
  • 소스가 다른 데이터의 상관관계화

Nanobuilder

  • CAD 기반 프로토타이핑
  • 완전 자동화된 작업 실행, 스테이지 탐색, 밀링 및 증착
  • 자동 정렬 및 드리프트 제어

ProSuite

  • 이미지 자동 수집
  • 실시간 원격 제어
  • 표준 애플리케이션 포함: 자동 이미지 맵핑 + 원격 사용자 인터페이스

PoroMetric

  • 면적, 종횡비, 중심 축 및 보조 축과 같은 기공 특성 상관관계
  • 데스크탑 SEM에서 직접적인 영상 획득
  • 고품질 영상에 의한 통계 데이터

ParticleMetric

  • 온라인 및 오프라인 분석을 위한 ProSuite의 통합 소프트웨어
  • 지름, 원형, 종횡비, 돌출과 같은 입자 특성 상관관계
  • 자동 이미지 맵핑을 통한 이미지 데이터 세트 생성

원소 맵핑

  • 시료 또는 선택한 라인 내의 원소 분포에 대한 신속하고 신뢰할 수 있는 정보
  • 결과의 용이한 내보내기 및 보고

3D 재구성

  • 직관적인 사용자 인터페이스, 최대 채택 능력
  • 직관적이고 완전 자동화된 사용자 인터페이스
  • '명암에 의한 형상' 기술에 기초하고 있으며, 스테이지 기울기 불필요

FiberMetric

  • 자동 측정을 통한 시간 절약
  • 모든 통계 데이터의 빠르고 자동화된 수집
  • 타의 추종을 불허하는 정확도로 마이크로 및 나노 섬유를 확인 및 측정

DualBeam (FIB SEM) 현미경을 위한 EM 서비스

  • 워크플로우의 모든 측면에서 전문가가 됩니다
  • 제품 성능에 대한 향상된 가시성 확보
  • 포괄적인 유지 보수 및 약속된 가동 시간 활용

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