Thermo Scientific Inspect 3D 소프트웨어는 에너지 분산형 X선 분광법(EDS) 맵과 함께 단층촬영 이미지 시리즈(투과전자현미경 또는 주사투과전자현미경, TEM 또는 STEM으로 획득)를 정렬하기 위한 사용자 친화적 솔루션을 제공하여 데이터의 3D 재구성을 생성합니다. 또한 Inspect 3D 소프트웨어는 기본적인 시각화 기능을 제공합니다. 모든 Thermo Scientific TEM, STEM 및 EDS 단층촬영 소프트웨어는 Inspect 3D 소프트웨어와 완전히 호환됩니다.

Inspect 3D 소프트웨어는 이미지 교차 상관 관계에 근거하여 거친 X-Y 정렬로 시작됩니다. 자동화된 비드 추적(bead tracking) 또는 패치 추적(patch tracking) 절차를 통해 정렬을 더욱 세분화할 수 있습니다. 비드 추적은 틸트 시리즈 전체에서 검체에 있는 여러 원형 입자를 추적하여 각 영상에 대한 회전 및 확대 변화를 보정합니다. 패치 추적은 틸트 시리즈 전체에서 이미지의 여러 영역을 추적한 다음 결과를 결합합니다.

Inspect 3D 소프트웨어는 WBP(weighted back projection) 및 SIRT(simultaneous iterative reconstruction technique)의 두 가지 기존 3D 볼륨 재구성을 위한 알고리즘을 제공합니다. 또한, Inspect 3D 소프트웨어는 STEM 및 EDS 파일을 동시에 처리하는 HAADF-EDS bimodal tomography(HEBT)이라 불리는 EDS 단층촬영으로 쉽게 재구성할 수 있어 원소 재구성 기능이 향상됩니다.

Inspect 3D 소프트웨어와 함께 제공되는 반복 재구성 기법에는 다음이 포함됩니다.

  • Conjugate gradient least squares (CGLS)
  • Expectation maximization (EM), SIRT 재구성과 비교했을때 신장 아티팩트(elongation artifacts)가 크게 감소합니다.
  • Simultaneous algebraic reconstruction technique (SART)

결과로 재구성된 볼륨은 추가적인 시각화 및 분석을 위해 Thermo Scientific AvizoAmira Software로 직접 불러올 수 있습니다.

전자 현미경 소프트웨어

Inspect 3D 소프트웨어

TEM 볼륨 재구성을 위한 3D 전자 단층촬영 소프트웨어.

 

주요 특징

  • 교차 상관관계(cross-correlation)는 마커(marker)를 필요로 하지 않으며, 이 프로세스는 다양한 필터와 이미지 처리 도구를 사용하여 향상되었기 때문입니다.
  • 형상 추적(feature tracking)은 골드 마커(gold marker) 같은 추가된 인공적인 형상이나 인식 가능한 고유한 시료 형상을 이미지 정렬의 기초로 사용할 수 있습니다.
  • 비드 클로킹(bead cloaking)은 이미지 데이터에서 정렬에 사용된 골드 비드(gold bead)를 제거하여 재구성에서 비드가 보이지 않도록 합니다.
  • 대수적 재구성 기술(algebraic reconstruction technique)은 재구성의 투영을 원래의 투영과 반복적으로 비교하고 차이를 최소화하도록 재구성을 수정합니다.
  • 동시 반복 재구성 기술(simultaneous iterative reconstruction technique)은 전체 공간 정보를 보존하고 재구성의 신호 대 잡음비를 향상시킬 수 있습니다.
 
Tomography post-alignment and reconstruction module
단층촬영 사후 정렬(post-alignment) 및 재구성 모듈
Inspect 3D reconstructed 3D volume screen capture
Inspect 3D 재구성된 3D 볼륨 화면 캡처

응용분야

전염병 연구

전염병 연구

Cryo-EM 기술은 3D 생물학적 구조를 거의 원형(native) 상태에서 다양한 스케일로 관찰할 수 있어, 신속하고 효율적인 치료제 개발에 도움을 줍니다.

식물 생물학 연구

식물 생물학 연구

근본적인 식물 생물학 연구가 단백질에 대한 정보(단일 입자 분석 사용), 세포 구조에 대한 정보(단층촬영 사용), 식물의 전반적인 구조(큰 부피 시료 분석)까지 모든 방법을 제공하는 초저온 전자 현미경으로 인해 가능해졌습니다.

병리학 연구

병리학 연구

투과전자현미경(TEM)은 다른 방법으로는 질병의 본질을 파악할 수 없을 때 사용됩니다. TEM은 나노 생물학적 이미지 생성을 사용하여 특정 병원균에 대한 정확하고 신뢰할 수 있는 통찰력을 제공합니다.

전자현미경을 사용한 공정 제어

전자현미경을 사용한 공정 제어

오늘날 산업계는 우수한 품질의 높은 처리량과 강력한 공정 제어를 통해 유지되는 균형을 필요로 하고 있습니다. 전용 자동화 소프트웨어를 갖춘 SEM 및 TEM 도구는 공정 모니터링 및 개선을 위한 신속하고 멀티-스케일의 정보를 제공합니다.

 

전자현미경을 사용한 품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.

Fundamental Materials Research_R&D_Thumb_274x180_144DPI

기초 재료 연구

새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.

 

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반도체 경로탐색(Pathfinding) 및 개발

고성능 반도체 장치의 제조에 필요한 실행 가능한 솔루션과 설계 방법을 확인하기 위한 고급 전자 현미경 검사, 집속 이온빔 및 관련 분석 기법.

반도체 불량 분석

반도체 불량 분석

반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.

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물리적 및 화학적 특성 분석

지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.


기술

Style Sheet for Komodo Tabs

단일 입자 분석

단일 입자 분석(SPA)은 거의 원자 분해능 수준에서 구조의 규명과 동적 생물학적 프로세스 및 생물학적 분자 복합체/조립체의 구조 규명을 가능하게 하는 초저온 전자 현미경 기술입니다.

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초저온 단층촬영(Cryo-Tomography)

초저온 전자 단층촬영(cryo-ET)은 개별 단백질에 대한 구조적 정보 뿐만 아니라 세포내 공간 정렬에 대한 정보를 제공합니다. 이것은 진정으로 독창적인 기술이며 왜 이 방법이 세포 생물학에 엄청난 잠재력을 가지고 있는지를 설명해 줍니다. Cryo-ET는 광학 현미경과 단일 입자 분석 같은 거의 원자 분해능 수준의 기술 사이의 간극을 해소할 수 있습니다.

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3D 재료 특성 분석

물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.

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3D EDS 단층 촬영

오늘날의 재료 연구는 3차원의 나노단위 분석에 점점 더 의존하고 있습니다. 3D EM과 에너지 분산 X선 분광법으로 전체 화학적 조성 데이터 및 구조적 정보 등 3D 특성 분석이 가능합니다.

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반도체 TEM 이미지 생성 및 분석

Thermo Fisher Scientific 투과 전자 현미경은 반도체 장치의 고분해능 이미지 생성 및 분석 기능을 제공함으로써, 제조업체에서 도구 세트를 보정하고 고장 메커니즘을 진단하며 전체 공정 수율을 최적화할 수 있도록 해줍니다.

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단일 입자 분석

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3D EDS 단층 촬영

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