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ESCALAB QXi X-ray Photoelectron Spectrometer Microprobe

Meet your demands for increased analytical performance and flexibility with the Thermo Scientific™ ESCALAB™ QXi X-ray Photoelectron Spectrometer (XPS) Microprobe, which combines high spectral sensitivity and resolution with quantitative imaging and multi-technique capabilities. 

The ESCALAB QXi XPS Microprobe is an expandable and optimized multi-technique instrument with unparalleled flexibility and configurability. It is extremely sensitive, producing high-quality spectra in seconds. System control, data acquisition, processing, and reporting are seamlessly integrated in the powerful Thermo Scientific Avantage Data System. The cutting-edge technology, driven by intuitive software, guarantees world-class results and productivity. The ESCALAB QXi XPS Microprobe, with its unique dual detector system, also delivers superb XPS imaging with excellent spatial resolution. 

Thermo Scientific ESCALAB QXi Microprobe Auto Sample Transfer

 

ESCALAB QXi X-ray Photoelectron Spectrometer Microprobe


Monochromated XPS

Monochromated XPS

The twin-crystal, micro-focusing monochromator has a 500 mm Rowland circle, uses an Al anode (or a dual Al and Ag anode with the dual monochromator option), and allows you to select any sample spot size ranging from 200 µm to 900 µm. 

Flood electron source

Flood electron source

An electron source, co-axial with the analyzer input lens, is used for charge compensation when analyzing non-conducting samples with the monochromatic X-ray source, while a second flood source produces both low-energy ions to assist in providing effective charge compensation and low-energy electrons when the magnetic lens is not in use.

Lens and analyzer

Lens and analyzer

The lens and analyzer system on the ESCALAB QXi XPS Microprobe is optimized for both spectroscopy and for parallel imaging; the single analyzer path means that the same instrument parameters (e.g., pass energy) can be used for both spectroscopy and imaging. 

Detectors

Detectors

The ESCALAB QXi XPS Microprobe is fitted with two detector systems: one optimized for spectroscopy, consisting of an array of six-channel electron multipliers, and one for parallel imaging, consisting of a pair of channel plates and a continuous position-sensitive detector. 

Ion gun

Ion gun 

The ESCALAB QXi XPS Microprobe has two options for rapid, high-resolution depth profiling: the standard EX06 ion gun, which is optimized for monatomic ion sputtering and ion scattering spectroscopy; and the optional monatomic and gas cluster ion source, MAGCIS, which is capable of monatomic ion profiling, cluster ion profiling, and ion scattering spectroscopy.

Digital control

Digital Control

All analytical functions are controlled from the Windows Software-based Avantage data system, meaning that the entire analysis process can be performed remotely, if required. 

Alignment

Alignment and calibration

A standards block, which has samples of copper, silver, and gold, can be used for assessing sensitivity, setting the linearity of the analyzer energy scale, calibrating the ion source, aligning the X-ray monochromator, and determining the transmission function of the analyzer. 

Sample alignment

Sample alignment

All axes of movement on the sample stage are controlled by the Avantage Data System, and a high-resolution digital video camera is fitted to the instrument and is accurately aligned with the analysis position.

Sample manipulator

Sample manipulator

The computer-controlled, 5-axis, high-precision translator (HPT) allows accurate sample alignment for analysis. When coupled with the new automated sample loading system, it can be used to automatiucally exchange sample holders and run queued experiments.

Vacuum system

Vacuum system

The analysis chamber is constructed from 5 mm-thick mu-metal to maximize the efficiency of the magnetic shielding, and the chamber is pumped using both a turbomolecular pump and a titanium sublimation pump, allowing the analysis chamber to achieve a vacuum better than 5 x 10-10 mbar.

Preparation chambers

Preparation chambers 

The standard Preploc chamber, which is a combined sample entry lock and preparation chamber, has ports that accommodate a variety of sample preparation devices, such as heating/cooling probes, ion guns, high-pressure gas cells, sample parking, and gas admission. 

Connectivity

Connectivity

Measurement coordinates can be imported into Avantage Data System from dedicated microscopy systems using Thermo Scientifc Maps Software for even faster identification of measurement areas. XPS spectroscopy and imaging data can be added into Maps Software to allow direct comparison of surface chemistry and structural information.


Specifications

재품 표 사항에 대한 스타일시트
Monochromated X-ray source
  • Micro-focused Al K-Alpha source or optional micro-focused dual-anode Al K-Alpha and Ag L-Alpha source
Analyze
  • 180°, double-focusing, bi-polar hemispherical analyzer with dual detector system for spectroscopy and imaging
Ion source
  • Monatomic EX06 ion source supplied as standard; option for MAGCIS dual mode ion source
Vacuum system
  • Two turbo molecular pumps for entry and analysis chambers, with rotary pumps or oil-free backing pumps; auto-firing, 3-filament titanium sublimation pump for analysis chamber
Sample stage
  • 5-axis sample stage with sample heating and cooling capabilities
  • Optional fully automated sample exchange from load-lock parking post to analysis chamber
Included standard analysis techniques
  • X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
  • Reflected electron energy loss spectroscopy (REELS) 
  • Ion scattering spectroscopy (ISS) 
Optional analysis techniques
  • UV lamp for UV photoelectron spectroscopy (UPS) 
  • Non-monochromated X-ray source for HAXPES 
  • Field emission electron source for Auger electron spectroscopy (AES) and SEM 
  • Inverse photoemission spectroscopy (IPES) 
  • EDS detector 
Optional accessories
  • Glove box, vacuum transfer vessel, EX03 broad beam ion source, platter camera 
Sample preparation options
  • Heat/cool sample holder, additional preparation chamber, bakeable 3-gas admission manifold, fracture stage, sample parking facility 
Style Sheet for Komodo Tabs

표면 분석 학습 센터

재질의 표면 또는 층간의 화학 특성은 물질이 어떻게 작용하는지를 결정합니다. 당사의 표면 분석 참고 자료 및 리소스를 사용하면 원하는 속성을 엔지니어링하거나 원하는대로 작동하지 않을 때 재료를 더 잘 이해할 수 있습니다.

XPS 학습 센터


Resources

ESCALAB QXi XPS Webinar

Watch on-demand: new ESCALAB QXi XPS Applications Demonstration Webinar

Watch this webinar to:

  • Learn how you can perform fully automated multi-technique surface analysis from a wide range of sample types, including metals, polymers, oxides, and battery materials.
  • Watch the ESCALAB QXi Microprobe in action.

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ESCALAB QXi XPS Webinar

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  • Learn how you can perform fully automated multi-technique surface analysis from a wide range of sample types, including metals, polymers, oxides, and battery materials.
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Samples


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배터리 개발은 microCT, SEM 및 TEM, Raman 분광법, XPS 및 디지털 3D 시각화 및 분석을 통한 멀티 스케일(multi-scale) 분석에 의해 이루어질 수 있습니다. 이 접근 방식이 더 나은 배터리를 만드는 데 필요한 구조 및 화학 정보를 제공하는 방법에 대해 알아보십시오.

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금속 연구

금속을 효과적으로 생산하려면 함유물 및 침전물에 대한 정밀한 제어가 필요합니다. 당사의 자동화 도구를 사용하여 나노 입자 계수, EDS 화학 물질 분석 및 TEM 시료 준비 등 금속 분석에 필수적인 다양한 작업을 수행할 수 있습니다.

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고분자 연구

고분자 미세 구조는 물질의 벌크 특성 및 성능과 관련이 있습니다. 전자현미경법은 R&D 및 품질 관리 응용 분야의 고분자 형태학 및 구성에 대한 종합적인 마이크로 단위 분석을 가능케 합니다.

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지질학 연구

지구과학은 암석 시료 내 특징을 일정하고 정확하게 멀티 스케일(multi-scale)로 관찰합니다. SEM-EDS는 자동화 소프트웨어와 결합하여 암석학 및 광물학 연구를 위한 텍스처 및 광물 구성의 직접적인 대규모 분석을 가능하게 합니다.

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오일 및 가스

오일 및 가스에 대한 수요가 지속됨에 따라, 탄화수소를 효율적이고 효과적으로 추출해야 할 필요성이 계속해서 증가하고 있습니다. Thermo Fisher Scientific은 다양한 석유 과학 응용 분야를 위한 다양한 현미경법 및 분광학 솔루션을 제공합니다.

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나노입자

재료는 큰 규모 단위보다 나노 단위에서 근본적으로 다른 특성을 드러냅니다. 이를 연구하기 위해, S/TEM 기기를 에너지 분산형 X선 분광법과 결합하여 나노미터 미만의 분해능 데이터를 얻을 수 있습니다.

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법의학

법의학 조사의 일환으로 전자현미경법을 사용하여 범죄 현장의 미세 증거를 분석하고 비교할 수 있습니다. 사용가능한 시료로는 유리 및 페인트 절편, 공구 마크, 약물, 폭발물 및 GSR(총격 잔류물) 등이 있습니다.

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촉매 연구

촉매는 대부분의 현대적인 산업 공정에 있어 대단히 중요합니다. 그 효율은 촉매 입자의 미세 조성 및 형태학에 따라 달라집니다. EDS와 EM은 이러한 속성 연구에 매우 적합합니다.

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합성 섬유의 직경, 형태 및 밀도는 필터의 수명과 기능을 결정하는 데 있어 핵심 파라미터가 됩니다. 주사전자현미경(SEM)은 이러한 기능을 신속하고 용이하게 조사하는 데 있어 이상적인 기술입니다.

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2D 재료

새로운 재료의 연구는 저차원 물질의 구조에 점점 더 많은 관심을 기울이고 있습니다. 프로브(probe) 교정 및 단색화법을 이용하는 주사 투과 전자 현미경법으로 고분해능 2차원 물질 이미지 생성을 수행할 수 있습니다.

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자동차 재료 테스트

현대적인 차량의 모든 구성 요소는 안전성, 효율성 및 성능을 고려하여 설계됩니다. 전자현미경법 및 분광법에 의한 자동차 재료의 상세한 특성 분석을 통해 중요한 공정을 결정하고 제품을 개선하며 새로운 재료를 신속하게 식별할 수 있습니다.

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Techniques

다중 기법 표면 분석 워크플로우

광범위한 표면 특성 분석의 요구사항을 충족시키기 위해, Thermo Scientific ESCALAB CXi XPS 마이크로프로브 또는 Thermo Scientific Nexsa 표면 분석 시스템을 이용하여 다중 기법 워크플로우를 구축하였습니다. 이들 기기는 적시에 효율적인 방식으로 포괄적인 분석을 제공하기 위한 다중 기법 워크스테이션으로 설계되었습니다. 

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X선 광전자 분광법

X선 광전자 분광법(XPS)은 원소 조성은 물론 물질의 상부 10nm의 화학적 및 전자적 상태를 제공하는 표면 분석이 가능합니다. XPS 분석은 깊이 프로파일링을 통해 층들의 조성에 관한 유용한 정보를 제공합니다.

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