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Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam(플라즈마 집속 이온빔 주사전자현미경, PFIB-SEM)은 네 가지 서로 다른 이온을 일차 빔으로 제공할 수 있으므로 주사투과전자현미경(STEM), 투과전자현미경(TEM) 시료 준비와 3D 재료 특성분석 등의 사용 사례와 시료에 대해 최상의 결과를 제공하는 이온을 선택할 수 있습니다.
성능 저하 없이 10분 이내에 아르곤, 질소, 산소 및 제논 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. 이 탁월한 유연성은 PFIB의 잠재적인 응용 분야 범위를 크게 확장해 주며 기존 사용 사례를 최적화하기 위해 이온-시료 상호작용에 대한 연구를 가능하게 합니다.
Helios 5 Hydra DualBeam은 새롭고 혁신적인 다중 이온 종 플라즈마 FIB (PFIB) 컬럼과 monochromated Thermo Scientific Elstar UC+ SEM 컬럼을 결합하여 향상된 집속 이온 및 전자빔 성능을 제공합니다. 직관적인 소프트웨어와 뛰어난 수준의 자동화와 손쉬운 사용을 통해 관련 표면하부 부피의 관찰과 분석이 가능합니다.
고품질 시료 준비는 STEM 또는 TEM을 사용한 고분해능 물질 분석에 있어 매우 중요합니다. 또한 재료 특성분석 실험실에서 가장 어렵고 시간이 많이 소요되는 작업 중 하나로 알려져 있습니다. S/TEM에 필요한 초박막 시료를 준비하는 데 사용되는 기존 방법은 매우 느리며, 숙련된 기술자라고 해도 일반적으로 몇 시간 또는 심지어 며칠이 소요될 수 있습니다. 이것은 다양한 물질과 특정 위치 정보의 필요성 때문에 더욱 복잡해집니다. 플라즈마 FIB를 자동화와 사용 편의성을 위한 독자적이고 혁신적인 소프트웨어와 결합함으로써 이러한 여러 가지 문제를 해결해 줍니다.
예를 들어, Xenon plasma FIB는 알루미늄이 함유된 물질과 같은 민감한 시료에 필수적인, 갈륨없는(gallium-free) 시료 준비의 표준입니다. Helios 5 Hydra DualBeam의 네 가지 이온빔 종(species) 간의 신속한 전환으로 각 물질의 요구사항을 충족시킴으로써, 가능한 최고 품질의 시료를 준비할 수 있는 이상적인 조건을 찾을 수도록 지원합니다.
Helios 5 Hydra DualBeam은 고처리량 플라즈마 기술과 고분해능 FIB-SEM 토모그라피의 결합을 통해 생명 과학에서 새로운 응용분야를 개척하고 있습니다. 네 가지 이온을 사용하는 최첨단 유도 결합 플라즈마(ICP) FIB를 통해 모든 시료에서 최적의 이온 빔을 사용할 수 있습니다. 준비 방법이나 수지(resin) 유형에 관계없이 모든 시료에서 뛰어난 표면 품질을 얻을 수 있습니다. 향상된 밀링 처리량과 시료 호환성은 물론, 고급 소프트웨어 제품군으로 일관된 고품질, GA-free, 대면적 획득, 3D 데이터 분석이 가능합니다.
Helios Hydra DualBeam은 다음의 생명 과학 연구 분야를 지원합니다.
- 시료 준비 방법에 관계 없이 artifacts 없는 밀링
- 빠르고 효율적인 밀링 방식으로 GA-FIB 밀링보다 10배 큰 대면적 접근가능
- 완전 자동화된 3D 데이터 수집을 Auto Slice & View 소프트웨어와 결합하여 더 높은 처리량 구현
- Spin Mill 사용으로 큰 수평 표면 (최대 직경 1mm)을 나노미터 두께의 sectioning 가능
- 다양한 시료 및 실험 과제 해결을 위한 다용도 솔루션
더 많은 정보가 필요하십니까?
- 산소 플라즈마 FIB는 모든 일반적인 수지 및 시료 준비 프로토콜과 호환되며 우수한 데이터 획득 효율 및 이미지 품질을 구현합니다. 어플리케이션 노트에서 자세히 알아보기: “아크릴 및 에폭시 수지로 포매한 마우스 뇌 조직의 3D 부피 이미징”›
- Monash University의 Alex de Marco 교수와의 인터뷰에서 생명 과학 연구자들이 Helios Hydra DualBeam을 사용하여 연구를 추진하는 방법에 대해 알아보십시오.›
마우스 해마 기관형 절편 배양의 3D 재구성. John Hopkins University, S. Watanabe 이미지 제공
폭넓은 응용분야 범위
네 가지의 빠르고 전환가능한 이온 종(제논, 아르곤, 질소, 산소)을 제공하는 고유한 이온 소스를 사용하여 가장 넓은 응용분야 범위를 제공합니다.
고처리량 및 품질
차세대 2.5μA 플라즈마 FIB 컬럼을 사용하여 고처리량, 고품질, 통계적으로 관련성 있는 3D 특성분석, 단면 절단 및 미세 가공
고급 자동화
옵션인 AutoTEM 5 소프트웨어를 사용하여 가장 빠르고 가장 쉽고, 자동화된, 여러 위치의 현장(in situ) 및 현장외(ex situ) TEM 시료 준비와 단면 절단 기능을 제공합니다.
고품질 시료 준비
500 V 최종 폴리싱을 가능하게 하고 모든 작동 조건에서 탁월한 성능을 제공하는 새로운 PFIB 컬럼과 제논, 아르곤 또는 산소를 사용한 고품질, 갈륨없는(gallium-free) TEM 및 APT 시료 준비.
신속한 나노단위 정보
SmartAlign 및 FLASH 기술을 통해 경험 수준에 상관 없이 모든 사용자가 짧은 시간 내에 나노단위 정보를 얻을 수 있습니다.
완벽한 시료 정보
최대 6개의 통합형 컬럼내(in-column) 및 렌즈하부(below-the-lens) 검출기에서 얻은 선명하고 정교하며 charge-free 콘트라스트를 활용하여 완벽한 시료 정보를 제공합니다.
전자 및 이온빔 유도 증착 및 에칭
옵션으로 Thermo Scientific MultiChem 또는 GIS 가스 공급 시스템을 사용하는 DualBeam 시스템 상에서의 전자 및 이온빔 유도 증착과 에칭을 위한 최고급 기능.
정밀한 시료 탐색
150mm 피에조(Piezo) 스테이지 또는 유연한 110mm 스테이지 및 옵션인 챔버내(in-chamber) Thermo Scientific Nav-Cam 카메라의 높은 안정성과 정확성으로 개별 응용분야 요구사항에 맞출 수 있습니다.
Artifact 없는 이미징
통합형 시료 선명도 관리와 SmartScan, DCFI 모드와 같은 전용 이미징 모드에 기반합니다.
재품 표 사항에 대한 스타일시트
| Helios 5 Hydra CX DualBeam | Helios 5 Hydra UX DualBeam | |
| 전자빔 분해능 |
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| 전자빔 파라미터 공간 |
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| 이온 광학 | 빠른 전환 기능을 갖춘 네 가지 이온 종을 지원하는 고유한 유도 결합 플라즈마(ICP) 소스를 가진 고성능 PFIB 컬럼
일치 지점에서 제논 이온빔 분해능
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| 챔버 |
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| 검출기 |
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| 스테이지 및 시료 | 유연한 5축 전동 스테이지:
| 피에조 구동식 XYR 축을 갖춘 고정밀 5축 전동 스테이지
|
*옵션으로 사용할 수 있으며 구성에 따라 달라짐
Style Sheet for Komodo Tabs
다중 이온 종 플라즈마 FIB 기술의 최신 응용분야 개발
당사의 라이브 웨비나에 등록하여 선도적인 연구 실험실에서 새로운 Thermo Scientific™ Helios 5 Laser PFI B 및 Thermo Scientific™ Helios™ 5 Hydra™ DualBeam을 사용하여 어떻게 물질 특성분석을 발전시키고 있는지 알아보십시오.
O+ 집속 이온빔과 자동 연속 절단을 위한 AS&V4 소프트웨어를 사용하는 Helios Hydra CX DualBeam에 의해 획득되는 자동차 오일 필터 케이스(폴리머/유리 섬유 합성)의 3D 재구성. 수평 필드 폭은 350µm입니다.
최종 폴리싱을 위해 Ar FIB를 사용하는 Helios Hydra UX DualBeam에 의해 준비된 고품질 GaAs 라멜라의 고분해능 STEM 이미지.
O+ 집속 이온 빔을 사용하여 획득한 생쥐 해마 기관형 슬라이스 배양의 3D 재구성. 시료 준비: 전기 자극 후 5ms 고압 동결. 동결 치환(아세톤, Os1%, UA 0.1% 및 Epon) 전도성 층의 스퍼터 코팅이 도포되지 않음. 41 슬라이스(두께~10nm). 획득 시간 ~7시간. HFW 11.8µm(xy 분해능 1.9nm). John Hopkins University, Shigeki Watanabe 교수 및 Thermo Fisher Scientific Jing Wang 박사 제공.
Ni-NTA-gold(5nm)를 사용하여 인큐베이션된 배양된 생쥐 해마 신경 세포. 시료 준비: 고압 동결. 동결 치환(1% glutaraldehyde, 1% osmium tetroxide and 1% water in anhydrous acetone, embedded in Epon) 전도성 층의 스퍼터 코팅이 도포되지 않음. ohn Hopkins University, Shigeki Watanabe 교수, Thermo Fisher Scientific Jing Wang 박사 제공.
재구성된 시냅스의 예(다른 시료에서 획득한 20 ROI 초과 중 하나) 이 데이터는 방출 영역과 AMPA 및 NMDA 수용체 간의 공간 및 시간 관계를 밝히는 통계 분석의 일부입니다.
아크릴 기반 LR 화이트 수지에 포매된 화학적으로 고정된 마우스 뇌 조직에 대한 이온 소스 및 시료 호환성 테스트 산소 이온 소스는 방해 artifact 없이 최적의 밀링 성능을 달성했습니다.
에폭시 기반 EPON 수지에 포매된 화학적으로 고정된 마우스 뇌 조직의 시료 호환성 결과. 제논 이온 소스와 비교해서 O+PFIB는 방해 artifact 없이 최적의 밀링 성능을 달성했습니다.
마우스 뇌 조직, 화학적 고정/Epon Helios Hydra DualBeam을 사용하면 시료 준비나 수지 유형에 관계 없이 고품질 시료 세부 정보를 확인할 수 있습니다. O+는 우수한 시료 호환성과 함께 절단면 품질을 크게 향상시킵니다.
O-PFIB를 사용하여 같은 분해능에서 이미지 품질(10x10x10nm) 및 시간(~12h)에 있어 30% 더 향상될 수 있습니다. 화학적 고정(2.5% GA + 2% PFA, 1% OsO4, 1.5% K3Fe(III)(CN)6) Epon. 호주, Monash University, Alex DeMarco 박사 제공.
3D 자동 연속 절편을 위해 Helios Hydra DualBeam 및 Auto Slice & View 4 소프트웨어로 획득한 자동차 오일 필터 케이싱 재구성. 수평 필드 폭 = 350µm.
O+ 집속 이온빔을 사용하여 Helios Hydra UX DualBeam에 의해 획득된 마우스 뇌 조직의 3D 재구성. 시료 준비: 일반적인 화학적 고정. Epon 수지. 721 슬라이스 (두께~4nm). HFW 16.4µm(xy 분해능 5x4nm). 획득 시간 ~17시간
O+ 집속 이온 빔을 사용한 Helios Hydra CX DualBeam에 의한 Caenorhabditis elegans L1 3D 재구성. 시료 준비: 고압 동결 및 동결 치환, 그리고 HM20 포매. 30×30×15µm(분해능~10x×10x×15nm)의 토모그램 획득 시간~16시간. 호주, Monash University, Alex DeMarco 박사 제공.
https://www.biorxiv.org/content/10.1101/457820v1.full.pdf
논문
다중 이온 종 플라즈마 FIB 기술의 최신 응용분야 개발
당사의 라이브 웨비나에 등록하여 선도적인 연구 실험실에서 새로운 Thermo Scientific™ Helios 5 Laser PFI B 및 Thermo Scientific™ Helios™ 5 Hydra™ DualBeam을 사용하여 어떻게 물질 특성분석을 발전시키고 있는지 알아보십시오.
O+ 집속 이온빔과 자동 연속 절단을 위한 AS&V4 소프트웨어를 사용하는 Helios Hydra CX DualBeam에 의해 획득되는 자동차 오일 필터 케이스(폴리머/유리 섬유 합성)의 3D 재구성. 수평 필드 폭은 350µm입니다.
최종 폴리싱을 위해 Ar FIB를 사용하는 Helios Hydra UX DualBeam에 의해 준비된 고품질 GaAs 라멜라의 고분해능 STEM 이미지.
O+ 집속 이온 빔을 사용하여 획득한 생쥐 해마 기관형 슬라이스 배양의 3D 재구성. 시료 준비: 전기 자극 후 5ms 고압 동결. 동결 치환(아세톤, Os1%, UA 0.1% 및 Epon) 전도성 층의 스퍼터 코팅이 도포되지 않음. 41 슬라이스(두께~10nm). 획득 시간 ~7시간. HFW 11.8µm(xy 분해능 1.9nm). John Hopkins University, Shigeki Watanabe 교수 및 Thermo Fisher Scientific Jing Wang 박사 제공.
Ni-NTA-gold(5nm)를 사용하여 인큐베이션된 배양된 생쥐 해마 신경 세포. 시료 준비: 고압 동결. 동결 치환(1% glutaraldehyde, 1% osmium tetroxide and 1% water in anhydrous acetone, embedded in Epon) 전도성 층의 스퍼터 코팅이 도포되지 않음. ohn Hopkins University, Shigeki Watanabe 교수, Thermo Fisher Scientific Jing Wang 박사 제공.
재구성된 시냅스의 예(다른 시료에서 획득한 20 ROI 초과 중 하나) 이 데이터는 방출 영역과 AMPA 및 NMDA 수용체 간의 공간 및 시간 관계를 밝히는 통계 분석의 일부입니다.
아크릴 기반 LR 화이트 수지에 포매된 화학적으로 고정된 마우스 뇌 조직에 대한 이온 소스 및 시료 호환성 테스트 산소 이온 소스는 방해 artifact 없이 최적의 밀링 성능을 달성했습니다.
에폭시 기반 EPON 수지에 포매된 화학적으로 고정된 마우스 뇌 조직의 시료 호환성 결과. 제논 이온 소스와 비교해서 O+PFIB는 방해 artifact 없이 최적의 밀링 성능을 달성했습니다.
마우스 뇌 조직, 화학적 고정/Epon Helios Hydra DualBeam을 사용하면 시료 준비나 수지 유형에 관계 없이 고품질 시료 세부 정보를 확인할 수 있습니다. O+는 우수한 시료 호환성과 함께 절단면 품질을 크게 향상시킵니다.
O-PFIB를 사용하여 같은 분해능에서 이미지 품질(10x10x10nm) 및 시간(~12h)에 있어 30% 더 향상될 수 있습니다. 화학적 고정(2.5% GA + 2% PFA, 1% OsO4, 1.5% K3Fe(III)(CN)6) Epon. 호주, Monash University, Alex DeMarco 박사 제공.
3D 자동 연속 절편을 위해 Helios Hydra DualBeam 및 Auto Slice & View 4 소프트웨어로 획득한 자동차 오일 필터 케이싱 재구성. 수평 필드 폭 = 350µm.
O+ 집속 이온빔을 사용하여 Helios Hydra UX DualBeam에 의해 획득된 마우스 뇌 조직의 3D 재구성. 시료 준비: 일반적인 화학적 고정. Epon 수지. 721 슬라이스 (두께~4nm). HFW 16.4µm(xy 분해능 5x4nm). 획득 시간 ~17시간
O+ 집속 이온 빔을 사용한 Helios Hydra CX DualBeam에 의한 Caenorhabditis elegans L1 3D 재구성. 시료 준비: 고압 동결 및 동결 치환, 그리고 HM20 포매. 30×30×15µm(분해능~10x×10x×15nm)의 토모그램 획득 시간~16시간. 호주, Monash University, Alex DeMarco 박사 제공.
https://www.biorxiv.org/content/10.1101/457820v1.full.pdf
논문
전자현미경을 사용한 공정 제어
오늘날 산업계는 우수한 품질의 높은 처리량과 강력한 공정 제어를 통해 유지되는 균형을 필요로 하고 있습니다. 전용 자동화 소프트웨어를 갖춘 SEM 및 TEM 도구는 공정 모니터링 및 개선을 위한 신속하고 멀티-스케일의 정보를 제공합니다.
품질 관리 및 불량 분석
품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.
기초 재료 연구
새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.
3D 재료 특성 분석
물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.
(S)TEM 시료 준비
DualBeam 현미경은 (S)TEM 분석을 위한 고품질의 초박막 시료의 준비를 가능하게 해줍니다. 고급 자동화 기능에 힘입어 모든 경험 수준의 사용자가 전문가 수준의 결과물을 얻을 수 있습니다.
APT 시료 준비
원자 프로브 단층촬영(APT)은 물질의 원자 분해능 3D 조성 분석 기능을 제공합니다. 집속 이온 빔(FIB) 현미경법은 APT 특성 분석을 위한 고품질, 방향 설정, 위치-특이적인 시료 준비를 위한 필수 기법입니다.
단면 절단
단면 절단은 표면 하부 정보를 파악하여 추가적으로 유용한 정보를 제공해 줍니다. DualBeam 기기는 고품질 단면 절단 작업에 있어 탁월한 집속 이온 빔 컬럼을 제공해 줍니다. 자동화를 통해 시료의 무인 고처리량 처리가 가능합니다.
현장(In Situ) 실험
재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.
멀티스케일 분석
새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.
3D 재료 특성 분석
물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.
(S)TEM 시료 준비
DualBeam 현미경은 (S)TEM 분석을 위한 고품질의 초박막 시료의 준비를 가능하게 해줍니다. 고급 자동화 기능에 힘입어 모든 경험 수준의 사용자가 전문가 수준의 결과물을 얻을 수 있습니다.
APT 시료 준비
원자 프로브 단층촬영(APT)은 물질의 원자 분해능 3D 조성 분석 기능을 제공합니다. 집속 이온 빔(FIB) 현미경법은 APT 특성 분석을 위한 고품질, 방향 설정, 위치-특이적인 시료 준비를 위한 필수 기법입니다.
단면 절단
단면 절단은 표면 하부 정보를 파악하여 추가적으로 유용한 정보를 제공해 줍니다. DualBeam 기기는 고품질 단면 절단 작업에 있어 탁월한 집속 이온 빔 컬럼을 제공해 줍니다. 자동화를 통해 시료의 무인 고처리량 처리가 가능합니다.
현장(In Situ) 실험
재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.
멀티스케일 분석
새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
재료 과학을 위한 전자 현미경
서비스
최적의 시스템 성능을 보장하기 위해 세계 수준의 현장 서비스 전문가 네트워크, 기술 지원 및 인증된 예비 부품을 제공해드립니다.
Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards