FIB-SEM 기기

학술 분야 및 산업 분야 과학자와 엔지니어들은 계속해서 광범위한 시료와 재료에 대한 고도로 국소적인 특성 분석이 요구되는 새로운 과제에 직면하고 있습니다. 이러한 재료의 지속적인 품질 개선을 위한 노력은 나노 단위 구조 및 조성 정보를 자주 필요로 하게 됨을 의미합니다. DualBeam 집속 이온 빔 주사전자현미경(FIB-SEM) 기기는 FIB의 정밀한 시료 변형과 SEM의 고분해능 이미징 기능을 결합하여 이러한 유형의 데이터를 정확하게 생성해 냅니다.

Thermo Fisher Scientific은 DualBeam 기기에 대해 25년 넘게 쌓아온 경험을 통해 FIB-SEM 기술을 선도하고 있습니다. 당사에서는 투과 전자 현미경(TEM) 시료 준비, 표면 및 3D 특성 분석, 나노 프로토타입 제작 및 현장 실험 등 다양한 응용 분야에서 광범위한 제품 포트폴리오 및 고급 자동화 기능을 제공합니다.

TEM 시료 준비

TEM 시료 준비는 재료 과학 연구에서 가장 중요한 작업 중 하나로 여겨집니다. 하지만, 가장 어렵고 시간이 많이 소요되는 작업 중 하나이기도 합니다. DualBeam 기술의 최신 기술 혁신은 당사의 종합적인 소프트웨어 솔루션 및 응용 분야 전문 지식과 함께, 광범위한 재료에 대해 위치별 고품질 S/TEM(주사/투과 전자 현미경) 시료를 빠르고 쉽게 준비할 수 있게 해줍니다. Thermo Scientific AutoTEM 소프트웨어는 완전 자동 무인 in situ TEM 시료 준비 기능을 추가함으로써, 처리량을 크게 늘리고 경험과 상관 없이 전문가 수준의 결과를 제공해 줍니다.

구조 분석

DualBeam 기기는 Thermo Scientific Auto Slice & View 소프트웨어와 함께 사용할 경우, 표면 하부 특성 분석을 위해 물질을 선택적으로 제거(밀링)하여 시료 구조에 대한 유용한 3D 보를 제공해 줍니다. 디지털 재구성은 최대 물질 대비를 위한 BSE(backscattered electron) 이미징, 조성 정보를 위한 EDS(energy dispersive spectroscopy), 미세 구조 및 결정학 정보를 위한 EBSD(electron backscatter diffraction)를 비롯한 다양한 신호로 이루어지는 다중 모드 3D 데이터 세트를 생성해 냅니다.

DualBeam 기기의 SEM 기능은 STEM 모드로 30keV에서 얻는 구조 정보에서부터 낮은 에너지에서의 전하 없는 상세한 표면 정보에 이르는 광범위한 작업 조건에 걸쳐 나노 단위 세부 정보를 제공해 줍니다. 고유의 렌즈내(in-lens) 검출기를 갖춘 DualBeam 시스템은 각/에너지-선택적 2차 전자 및 BSE 데이터를 동시에 획득할 수 있도록 설계되었습니다. 고유의 SEM 컬럼 설계로 빠르고 정확하며 완전 자동화된 렌즈 정렬을 특징으로 하며, 재현 가능한 결과를 제공합니다.

나노프로토타이핑

DualBeam 시스템의 나노패터닝(nanopatterning) 기능은 연구 및 개발 시간을 크게 단축시킬 수 있습니다. FIB를 통한 신속한 프로토타이핑은 배치(batch) 제작을 위한 최종 장치 레이아웃을 구축하기에 앞서, 기능 테스트 수행을 가능하게 합니다. 다양한 물질의 빔-유도 증착은 추가적인 리소그래피 스텝의 조정 없이 FIB 밀링과 결합할 수 있습니다. 패턴을 적층된 구조에 직접 추가하거나 기존 패턴을 수정할 수 있습니다. 추가 처리 또는 특성 분석을 위해, 최종 패턴화된 기질을 즉시 사용할 수 있습니다.

리소스