회로 편집 기술을 사용하여 IC 제조 프로세스의 다양한 지점에서 작은 설계 수정 사항을 빠르게 프로토타이핑할 수 있습니다. 첫 번째 실리콘 디버그 후, 수율 램프(yield ramp) 중 성능 향상, 베타 개발자를 위해 소수의 기능 칩 생성, 신뢰성 문제 해결. 회로 편집 엔지니어는 결함이 의심되는 부위까지 칩을 밀링한 다음, 정밀한 형상으로 도체 또는 절연체를 제거하거나 증착하므로 IC 제조업체는 마스크를 다시 회전시키거나 추가 웨이퍼 공정 없이도 설계 변경을 검증할 수 있습니다.

기술

SEM

데스크탑 SEM

TEM

DualBeam

EFA 시스템

회로 편집

XPS 장비

시료 준비

소프트웨어

액세서리

기술

산업

응용분야

생명 과학

 

재료 과학

 

반도체

기술

생명 과학

 

재료 과학

 

반도체

Krios Rx Cryo-TEM

  • 업계 최고의 생산성 및 사용 편의성
  • 고정 300kV 전압 - SPA 전용
  • 신뢰성 보장을 위한 제약 전용 서비스 패키지

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Tundra Cryo-TEM

  • 생물학 관련 분해능에서 구조적 정보 제공
  • 공간 효율성 및 비용 효율성
  • 간편하고 반복적인 시료 최적화
  • 간소화된 데이터 수집을 위한 고유한 AI 알고리즘

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Krios G4 Cryo-TEM

  • 개선된 인체공학
  • 신생 실험실과 기존 실험실 모두에서 간편한 설치
  • 생산성과 자동화의 극대화
  • 고분해능 3D 재구성을 위한 최상의 이미지 품질

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Spectra Ultra TEM

  • 대부분의 빔에 민감한 물질에 대한 새로운 이미징 및 분광법 기능
  • Ultra-X를 통한 EDX 검출 기능의 도약
  • 시료 무결성을 유지하도록 설계된 컬럼

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Spectra 300 TEM

  • 원자 수준의 최고 분해능으로 구조적, 화학적 정보 제공
  • 30 ~ 300kV의 유연하고 높은 전압 범위
  • 3 렌즈 콘덴서 시스템

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Spectra 200 TEM

  • 30 ~ 200kV 가속 전압에서 고분해능 및 콘트라스트 이미지 생성
  • 5.4mm의 wide-gap pole piece 설계에 의한 대칭적 S-TWIN/X-TWIN 대물 렌즈
  • 60kV ~ 200kV에서 Angstrom 미만의 STEM 이미징 분해능

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Glacios Cryo-TEM

  • 80 ~ 200kV의 유연한 가속 전압
  • 초저온 시료 조작을 위한 업계 최고의 Autoloader
  • 작은 공간 차지
  • 향상된 사용 편의성

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Metrios AX TEM

  • 품질, 일관성, 계측, 운영 비용 절감을 지원하는 자동화 옵션
  • 머신 러닝을 활용하여 탁월한 자동맞춤 및 기능 인식 제공
  • in-situ 및 ex-situ 라멜라 준비용 워크플로우

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Talos L120C TEM

  • 안정성 향상
  • 4K × 4K Ceta CMOS 카메라
  • 25 ~ 650kX의 TEM 배율
  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공

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Talos F200i TEM

  • 고품질, 고분해능 (S)TEM 이미징 및 유연한 EDS
  • 고분해능, 고휘도 (콜드) 전계 방출건과 함께 사용 가능
  • 최고 분석 처리량을 위해 이중 EDS와 함께 사용 가능

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Talos F200S TEM

  • 정확한 화학적 조성 데이터
  • 동적 현미경 검사를 위한 - 고성능 이미징과 정확한 조성 분석
  • 신속하고 용이한 다중 모드 데이터 획득 및 분석을 위한 Velox 소프트웨어 기능

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Talos F200X TEM

  • 고품질, 고분해능 (S)TEM 이미징 및 정확한 EDS
  • 고분해능, 고휘도 (콜드) 전계 방출건과 함께 사용 가능
  • 최고의 선명도를 보여주는 in-column Super-X G2 EDS와 함께 사용 가능

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Talos F200C TEM

  • 유연한 EDS 분석에 의한 화학적 정보 제공
  • 고대비, 고품질 TEM 및 STEM 이미징
  • Ceta 16 Mpixel CMOS 카메라에 의한 넓은 관측시야와 빠른 판독 속도 구현

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ExSolve WTP DualBeam

  • 최대 직경 300mm의 전체 웨이퍼에 대해 부위 특이적인 20nm 두께 박막층 가능
  • 고급 기술 노드에서 자동화된 고처리량 샘플링 니즈 해결

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Helios 5 EXL DualBeam

  • 높은 품질의 시료 준비를 위한 저전압 성능
  • 초고분해능 액침 렌즈 전계 방출 SEM 컬럼
  • EFEM (GEM300 준수)을 통한 300mm FOUP 자동화된 핸들링

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Helios 5 DualBeam

  • 완전 자동화, 고품질, 초박막 TEM 시료 준비
  • 고처리량, 고분해능 표면하부 및 3D 특성 분석
  • 신속한 나노프로토타이핑 기능

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Helios 5 PFIB DualBeam

  • Gallium-free STEM 및 TEM 시료 준비
  • 다중모드 표면 하부 및 3D 정보
  • 차세대 2.5 μA xenon plasma FIB 컬럼

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Helios 5 Laser PFIB 시스템

  • 빠르고, 밀리미터-스케일 단면 절단
  • 통계적으로 유의미한 깊은 표면 하부 및 3D 데이터 분석
  • Helios 5 PFIB 플랫폼의 모든 기능 공유

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Helios Hydra DualBeam

  • 광범위한 물질에 대한 최적화된 PFIB 처리를 위한 고속 전환가능한 4개의 이온 종(XE, AR, O, N)
  • Ga-free TEM 시료 준비
  • 초고분해능 SEM 이미징

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Aquilos 2 Cryo-FIB

  • 복수의 라멜라 제작이 가능한 자동화 기술
  • lift-out nano-manipulator를 사용하여 관심구조 표적화 및 추출
  • 고분해능 단층촬영용 3D 시각화

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Scios 2 DualBeam

  • 자성 및 비전도성 시료에 대한 완벽한 지원
  • 높은 처리량의 표면 하부 및 3D 특성 분석
  • 향상된 사용 편의성 및 자동화 기능

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Axia ChemiSEM

  • 실시간 정량적 원소 맵핑
  • 높은 정확도의 주사전자현미경 이미징
  • 초보자도 사용가능한 유연성 및 사용 편의성
  • 간편한 유지관리

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Verios 5 XHR SEM

  • 1keV ~ 30keV의 전체 에너지 범위에 걸친 나노미터 미만 분해능을 위한 모노크로메이트 SEM
  • 최저 20eV까지 빔 랜딩 에너지에 쉽게 접근 가능
  • 표준으로 제공되는 piezo 스테이지에 의한 뛰어난 안정성

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Quattro ESEM

  • 고유한 환경 기능(ESEM)을 갖춘 다기능 고분해능 FEG SEM
  • 모든 조작 모드에서 동시 SE 및 BSE 이미징을 통한 모든 시료의 모든 정보 관찰

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PRISMA E SEM

  • 탁월한 이미지 품질의 초보 수준 SEM
  • 여러 시료를 신속하고 쉽게 로딩 및 탐색
  • 전용 진공 모드를 통해 광범위한 물질 사용 가능

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Apreo 2 SEM

  • 전방위적인 나노미터 미만 분해능을 위한 고성능 SEM
  • 민감하고 TV 속도 물질 대비를 위한 In-column T1 후방산란 검출기
  • 긴 작동 거리에서(10mm)에서 뛰어난 성능

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VolumeScope 2 SEM

  • 큰 부피로부터 등방성(isotropic) 3D 데이터
  • 고진공 및 저진공 모드에서 고대비와 고분해능
  • 일반 SEM 사용과 연속 블록-페이스 이미징 간의 간단한 전환

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Phenom Pharos G2 Desktop FEG-SEM

  • 1 - 20 kV 가속 전압 범위의 FEG 소스
  • <2.0 nm (SE) 및 3.0 nm (BSE) 분해능 @ 20 kV
  • 완전 통합형 EDS 및 SE 검출기 옵션

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Phenom XL G2 Desktop SEM

  • 대형 시료(100x100mm)에 적합하며 자동화에 이상적
  • <10nm 분해능 및 최대 200,000x 확대, 4.8kV에서 최대 20kV 까지의 가속 전압
  • 완전 통합형 EDS 및 BSE 검출기 옵션

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Phenom ProX G6 Desktop SEM

  • EDS 통합 검출기를 갖춘 고성능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <6nm(SE) 및 <8nm(BSE), 최대 350,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

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Phenom Pro G6 Desktop SEM

  • 고성능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <6nm(SE) 및 <8nm(BSE), 최대 350,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

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Phenom Pure G6 Desktop SEM

  • 입문 수준 데스크탑 SEM
  • 분해능 <15nm, 최대 175,000x 확대
  • 수명이 긴 CeB6 소스

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Phenom Perception GSR Desktop SEM

  • 전용 자동 GSR 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • 수명이 긴 CeB6 소스

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Phenom ParticleX AM Desktop SEM

  • 적층 제조를 위한 자동화 소프트웨어가 포함된 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

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Phenom ParticleX TC Desktop SEM

  • 청결도 기술을 위한 자동화 소프트웨어를 갖춘 다기능 데스크탑 SEM
  • 분해능 <10nm, 최대 200,000x 확대
  • SE 검출기 옵션

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Phenom ParticleX Steel Desktop SEM

  • SEM과 EDS 통합
  • 간편한 사용
  • 마이크로미터 미만 이물질

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ELITE System

  • 완전 비파괴
  • 정확한 조치를 위해 조립 보드의 결함 요소를 신속하게 식별
  • 20µm 깊이의 정확한 깊이 위치와 마이크로미터 정확도로 x-y에서 결함 위치 파악

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Hyperion II System

  • 원자간력 프로빙(Atomic Force Probing)
  • 트랜지스터 고장 국소화
  • 통합형 PicoCurrent (CAFM)

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nProber IV System

  • 트랜지스터 및 BEOL 고장 위치 확인
  • 열 나노프로빙(-40°C ~ 150°C)
  • 반자동 작동

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Meridian S System

  • 활성 프로브 기술을 통한 고장 진단
  • Static laser stimulation (SLS/OBIRCH) 및 광자 방출 옵션
  • 마이크로프로빙 및 프로브 카드 장치 자극을 모두 지원

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Meridian WS-DP System

  • 광대역 DBX 또는 InGaAs 카메라 시스템을 사용한 고감도, 저노이즈, 저전압 광자 방출 검출
  • 스캔 체인 분석, 주파수 맵핑, 트랜지스터 프로빙 및 고장 격리를 위한 다중 파장 레이저 주사 현미경

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Meridian 7 System

  • 10nm 이하의 노드에 대한 동적 광학 오류 격리
  • 고분해능 가시광선 및 적외선
  • 5μm 까지 광범위한 고수율 시료 준비

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Meridian IV System

  • 고감도 확장된 파장 DBX 광자 방출 검출
  • 표준 InGaAs 광자 방출 검출
  • 다중 파장 옵션이 있는 레이저 주사 현미경

자세히 알아보기

Centrios Circuit Edit System

  • 뛰어난 이미지/밀링 분해능
  • 향상된 밀링 정밀도 및 제어
  • Thermo Scientific Helios DualBeam 플랫폼 상에 구축

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Centrios HX Circuit Edit System

  • 최신 FIB 기술을 사용한 고급 반도체 노드의 첨단 회로 편집
  • 낮은 랜딩 에너지로 뛰어난 밀링 정밀도와 제어를 통해 민감한 회로 보존
  • 고급 탐색 및 이온 빔 배치 정확도

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MK.4TE ESD and Latch-Up Test System

  • 신속한 릴레이 기반 작업 - 최대 2304 채널
  • 6개의 분리된 벡터 드라이브 레벨을 사용한 고급 기기 preconditioning
  • 완전한 규정준수 Latch-Up 자극 및 기기 바이어싱

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Orion3 Electrostatic Discharge Tester

  • 충전된 장치 모델 테스트
  • 듀얼 고분해능 컬러 카메라
  • 0.4mm pitch 미만으로 밀도 테스트

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Celestron Test System

  • 웨이퍼 및 패키지 레벨 TLP 테스트
  • 고전류 TLP 펄스 생성기
  • 반자동 prober와 인터페이스 가능
  • 제어와 보고서 생성을 위한 직관적인 소프트웨어

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Pegasus ESD Test System

  • 최신 산업 표준에 준하는 테스트
  • 진정한 시스템 수준 ESD 150pF/330Ω 네트워크
  • 모든 장치에 웨이퍼 프로브를 통한 2핀 연결

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Nexsa

  • 미세 초점 X-선 소스
  • 고유한 다중기법 옵션
  • 단일 원자 & 클러스터 이온 깊이 프로파일링을 위한 듀얼 모드 이온 소스

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K-Alpha

  • 고분해능 XPS
  • 빠르고 효율적이며 자동화된 워크플로우
  • 깊이 프로파일링을 위한 이온 소스

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ESCALAB QXi XPS

  • 높은 스펙트럼 분해능
  • 다중 기법 표면 분석
  • 광범위한 시료 준비 및 확장 옵션

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Vitrobot System

  • 완전 자동화된 시료 유리화(vitrification)
  • 블로팅(blotting) 장비
  • 반자동 그리드(semi-automated grid) 이동
  • 높은 시료 처리량

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Amira Software

  • 다중 데이터/뷰/채널 지원
  • 상호작용식 고품질 시각화
  • 머신 러닝 기반 세분화
  • 직관적인 레시피 생성

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Athena Software

  • 이미지, 데이터, 메타데이터 및 실험 워크플로우의 추적성 보장
  • 이미징 워크플로우 간소화
  • 협업 개선
  • 데이터 액세스 보안 및 관리

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Auto Slice and View 4.0 Software

  • DualBeam을 위한 자동 연속 절편
  • 다중 모드 데이터 수집(SEM, EDS, EBSD)
  • 즉각적인 편집 기능
  • 모서리 기반 컷 배치

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AutoScript 4 Software

  • 개선된 재현성 및 정확도
  • 무인 작동, 고처리량 이미징 및 패터닝
  • Python 3.5 기반 스크립팅 환경에 의한 지원

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AutoTEM 5 Software

  • 완전 자동 in situ S/TEM 시료 준비
  • top-down, planar, inverted geometry 지원
  • 고도로 구성 가능한 워크플로우
  • 사용이 쉽고 직관적인 사용자 인터페이스

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Avizo Software

  • multi-data/multi-view, multi-channel, time series, 대량 데이터 지원
  • 고급 다중 모드 2D/3D 자동 등록
  • 아티팩트(artifact) 감소 알고리즘

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EPU 2 Software

  • 단일 입자 획득을 위한 현미경 통합형 솔루션
  • 고처리량 입자 수집에 최적화
  • 필름, CCD 카메라 및 직접 전자 검출기와 호환 가능

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iFast Software

  • 더욱 빠른 레시피 생성을 위한 매크로 레코더
  • 무인 야간 작업을 위한 러너
  • 정렬 도구: 이미지 인식 및 모서리 찾기

자세히 알아보기

Inspect 3D Software

  • 교차-상관관계를 위한 이미지 처리 도구 및 필터
  • 이미지 정렬을 위한 형상 추적
  • 반복 투영 비교를 위한 대수적 재구성 기술

 자세히 알아보기 ›

Maps Software

  • 넓은 영역에서 고해상도 이미지 획득
  • 관심 영역을 쉽게 발견
  • 자동 이미지 획득 절차

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NEXS Software

  • NEXS와 회로 편집 시스템 간의 위치/배율을 자동으로 동기화하여 보다 원활한 사용자 환경 제공
  • EFA, PFA 및 회로 편집 공간에 사용되는 대부분의 Thermo Scientific 도구에 연결

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Pergeos Software
Rocks and Minerals

  • 암석 영상 데이터의 시각화, 처리 및 분석
  • 기공(Pore)에서 핵(Core)까지 멀티 스케일 이미징 분석 수행
  • 지질학적 및 암석물리학적 특성 계산

 리소스 보기

Tomography 5 Software

  • 자동화된 multi-site batch 단층촬영
  • 자동 카세트 맵핑
  • 최적의 전자 선량을 위한 선량 대칭 기울기 체계
  • Selectris 이미징 필터와 완벽하게 통합

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Velox Software

  • 처리 창 왼쪽에 있는 실험 패널
  • 실시간 정량 맵핑
  • 재현가능한 실험 제어 및 설정을 위한 상호작용식 검출기 레이아웃 인터페이스

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3D Reconstruction

  • 직관적인 사용자 인터페이스, 최대 채택 능력
  • 직관적이고 완전 자동화된 사용자 인터페이스
  • 'shape from shading' 기술에 기초하고 있으며, 스테이지 경사 불필요

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AsbestoMetric

  • 이미지 획득, 섬유 검출 및 보고를 위한 자동화 도구
  • fiber revisiting을 사용하여 EDX 분석 지원
  • 석면 분석에 관한 ISO 표준 보고서

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Elemental Mapping

  • 시료 또는 선택한 라인 내의 원소 분포에 대한 신속하고 신뢰할 수 있는 정보
  • 결과의 용이한 내보내기 및 보고

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FiberMetric

  • 자동 측정을 통한 시간 절약
  • 모든 통계 데이터의 빠르고 자동화된 수집
  • 타의 추종을 불허하는 정확도로 마이크로 및 나노 섬유를 확인 및 측정

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Nanobuilder

  • CAD 기반 프로토타이핑
  • 완전 자동화된 작업 실행, 스테이지 탐색, 밀링 및 증착
  • 자동 정렬 및 드리프트 제어

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ParticleMetric

  • 온라인 및 오프라인 분석을 위한 ProSuite의 통합 소프트웨어
  • 지름, 원형, 종횡비, 돌출과 같은 입자 특성 상관관계
  • 자동 이미지 맵핑을 통한 이미지 데이터 세트 생성

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Phenom Programming Interface

  • 워크플로우에 맞게 SEM을 맞춤형으로 구성
  • 자동화 프로세스를 통해 효율성을 높이고 시간을 절약
  • 이미징 설정 및 스테이지 탐색 제어

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PoroMetric

  • 면적, 종횡비, 중심 축 및 보조 축과 같은 기공 특성 상관관계
  • 데스크탑 SEM에서 직접적인 영상 획득
  • 고품질 영상에 의한 통계 데이터

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ProSuite

  • 이미지 자동 수집
  • 실시간 원격 제어
  • 표준 애플리케이션 포함: 자동 이미지 맵핑 + 원격 사용자 인터페이스

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Quartz PCI/CFR

  • 21 CFR Part 11 준수를 위한 SEM 이미징 추적성
  • Phenom XL 및 Phenom Pro 데스크탑 SEM과 함께 사용 가능
  • Windows 10 64 비트 운영 체제 지원

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μHeater

  • in situ 고분해능 이미징을 위한 초고속 가열 솔루션
  • 완전 통합형
  • 최대 1200°C의 온도

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μPolisher

  • 다수의 새로운 미개척 애플리케이션을 지원할 수 있는 잠재력
  • 매우 낮은 에너지 밀링
  • 정밀한 국소 표면 처리를 위한 작은 스폿(spot) 크기

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Selectris and Selectris X Imaging Filters

  • 높은 안정성 및 원자 분해능 이미징을 위한 설계
  • 간편한 조작
  • 최신 Thermo Scientific Falcon 4 Direct Electron Detector와 함께 사용

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Ceta D Camera

  • 고전압(20 ~ 300kV)에서 최적화된 성능
  • 컬럼후(post-column) 필터 및 분광기와 함께 사용 가능
  • 동적 연구를 위한 동영상 획득

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Falcon 4i Detector

  • 높은 처리량으로 시간당 더 많은 이미지를 처리
  • DQE가 높아 탁월한 이미징 품질 제공
  • EER을 사용한 손실없는 데이터 압축

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Charge Reduction Sample Holder

  • 최대 8배까지 고배율 확대
  • 더욱 빠른 시료 준비 시간
  • 비전도성 검체를 자연 상태로 이미징 가능

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Electrical Feedthrough Sample Holder

  • in situ 측정을 위해 시료에 전기 프로브 연결
  • 0 ~ 25mm 범위로 시료의 높이를 수동으로 조정 가능
  • 프로브(probe) 전류 측정

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Eucentric Sample Holder

  • 데스크탑 SEM 상의 유센트릭(eucentric) 경사 및 컴퓨센트릭(compucentric) 회전
  • 시료 로딩 시간이 < 1분으로 이미지를 얻기까지의 시간이 빠름
  • 실시간 3D 시료 시각화 모듈

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Filter Inserts

  • 필터 잔류물 분석 및 석면 분석
  • 47mm (1.85인치) 및 25mm (1인치) 필터를 지원하는 두 가지 모델
  • Phenom 데스크탑 SEM에서 사용

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Metallurgical Sample Holder

  • 레진 마운트 시료를 지원하도록 설계
  • 금속 가공 및 인서트를 사용한 작업 시 선호되는 솔루션
  • 최대 32mm 직경 및 30mm 높이까지의 시료 크기

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Micro Tool Sample Holder

  • 신속하고 빠른 클램핑(clamping)
  • 기울기 및 회전에 의해 시료의 배치 용이
  • 시료 로딩을 위한 별도의 도구 불필요

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Motorized Tilt & Rotation Sample Holder

  • 경사 범위 -10° ~ +45°
  • 연속 360° 콤퓨센트릭(compucentric) 회전
  • 전용의 Motion Control ProSuite 애플리케이션으로 제어

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Nebula Particle Disperser

  • 균일한 건조 분말 분산을 위한 표준 방법
  • 입자 클러스터 방지
  • Phenom 데스크탑 SEM과 함께 사용

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Resin Mount Inserts

  • 고유한 시료 홀더 컨셉
  • 25mm(~1인치), 32mm(~1¼ 인치) 및 40mm(~1½인치) 직경의 표준 크기 샘플을 지원하기 위해 3개 모델로 제공

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Standard Sample Holder

  • 소형 스테이지로 최대 100mm x 100mm의 시료 분석 가능
  • 3개 유형의 레진 또는 금속 마운트 인서트를 사용하여 확장 가능
  • Phenom 데스크탑 SEM과 함께 사용

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Sample Holder Inserts

  • 코팅 및 다층 시료의 절단면 이미징을 더욱 빠르게 수행
  • 나사 또는 추가 도구 없이 쉽게 클램핑(clamping)
  • 시료 클램핑를 위한 나사와 도구 불필요

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Tensile Sample Holder

  • 배치(batch) 품질 측정
  • 제조 일관성 측정
  • 설계 프로세스 지원

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Temperature Controlled Sample Holder

  • 온도 범위 -25°C ~ +50°C
  • 온도 정확도 ±1.5°C
  • 온도 표시 분해능 0.1°C

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재품 표 사항에 대한 스타일시트
Style Sheet for Fonts
기기 카드 원본 스타일시트
Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class

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Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
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