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Thermo Scientific Scios 2 DualBeam은 탁월한 시료 준비 및 자기/비전도성 물질을 포함한 다양한 시료에 대해 3D 특성 분석 성능을 제공하는 초고분해능 집속 이온 빔 주사 전자 현미경(FIB-SEM) 시스템입니다. Scios 2 DualBeam은 처리량, 정밀도 및 사용 편의성을 높이기 위해 고안된 혁신적인 기능을 통해 학술, 정부, 산업 연구 환경 전반의 고급 연구 및 분석 분야에서 과학자와 엔지니어의 요구를 충족할 수 있는 이상적인 솔루션입니다.

고품질 표면 및 3D 정보

시료의 구조와 특성을 더 잘 파악하려면 표면 하부 또는 3차원 특성 분석이 필요한 경우가 많습니다. 옵션인 Thermo Scientific Auto Slice & View 4(AS&V4) 소프트웨어를 갖춘 Scios 2 DualBeam을 사용하면 재료 콘트라스트를 극대화하는 BSE(backscattered electron: 후방 산란 전자) 이미징, 조성 정보를 위한 EDS(energy-dispersive spectroscopy: 에너지 분산 분광법), 미세 구조 및 결정학 정보를 위한 EBSD(전자 후방산란 회절) 등 다중 모드 고품질 3D 데이터 세트를 완전 자동으로 획득할 수 있습니다. Scios 2 DualBeam을 Thermo Scientific Avizo 소프트웨어와 결합하여 고분해능, 고급 3D 특성 분석 및 나노미터 크기의 분석을 위한 고유한 워크플로우 솔루션을 제공합니다.

완벽한 시료 정보를 제공하는 초고분해능

혁신적인 NICol 전자 컬럼은 시스템의 고분해능 이미징 및 검출 기능의 기초를 제공해 줍니다. STEM 모드로 30keV에서 작동하거나(구조 정보에 액세스하기 위해) 낮은 에너지에서 작동할 때(전하 없는 자세한 표면 정보를 얻기 위해), 광범위한 작업 조건에서 탁월한 나노단위 세부 정보를 제공합니다. 고유의 렌즈내(in-lens) Thermo Scientific Trinity 검출 시스템을 갖춘 Scios 2 DualBeam은 각 및 에너지 선택적 2차 전자(SE) 및 BSE 이미징을 동시에 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 세밀한 나노단위 정보에 빠르게 접근할 수 있으며, 상하뿐만 아니라 기울어진 검체 또는 횡단면에도 빠르게 접근할 수 있습니다. 렌즈 하부 검출기(옵션)와 전자 빔 감속 모드를 사용하면 모든 신호를 빠르고 쉽게 동시에 수집할 수 있어 물질 표면 또는 단면에서 가장 작은 특성을 보여줄 수 있습니다. 완전한 자동 정렬 기능을 갖춘 고유한 NICol 컬럼 설계로 빠르고 정확하면서 재현성 있는 결과를 얻을 수 있습니다.

고품질 TEM 시료를 신속하고 간편하게 준비할 수 있습니다.

과학자와 엔지니어는 더 작은 특성을 가진 점점 더 복잡해지는 시료에 대한 고도로 국소적인 특성 분석을 수행해야 하는 새로운 과제에 직면해 있습니다. Scios 2 DualBeam의 최신 기술 혁신은 사용이 간편하고 포괄적인 Thermo Scientific AutoTEM 4 소프트웨어 및 Thermo Fisher Scientific의 응용 분야 전문성과 결합하여 다양한 재료에 대한 위치별 고분해능 S/TEM 시료를 빠르고 쉽게 준비할 수 있습니다. 고품질 결과를 얻을 수 있도록 시료의 표면 손상을 최소화하기 위해 저에너지 이온을 통한 최종 폴리싱이 필요합니다. Thermo Scientific Sidewinder HT 집속 이온 빔(FIB) 컬럼은 고전압에서 고분해능 이미징 및 밀링뿐만 아니라 우수한 저전압 성능을 제공하므로 고품질 TEM 라멜라를 생성할 수 있습니다.

DualBeam 현미경

Scios 2 DualBeam

초고분해능, 고품질 시료 전처리 및 3D 특성화를 위한 이온 빔 주사 전자 현미경.



주요 특징

빠르고 간편한 준비

Sidewinder HT 이온 컬럼을 통한 고품질, 위치별 TEM 및 원자 프로브 시료 준비.

초고분해능 이미지 생성

자성 및 비전도성 물질을 포함하여 가장 광범위한 시료에서 동급 최고의 성능을 제공하는 Thermo Scientific NICol 전자 컬럼 사용.

가장 완벽한 시료 정보

다양한 통합형 컬럼내 및 렌즈 하부 검출기에서 얻은 선명하고 정교하며 전하 없는 콘트라스트 활용.

고품질 다중 모드 표면 하부 및 3D 정보

옵션으로 제공되는 AS&V4 소프트웨어를 사용하여 관심 영역을 정확하게 표적화함으로써 고품질 다중 모드 표면 하부 및 3D 정보에 접근할 수 있습니다.

정밀한 시료 탐색

탁월한 유연성을 갖춘 110mm 스테이지와 챔버 내 Thermo Scientific Nav-Cam 카메라 덕분에 개별 분야에 맞게 조정이 가능합니다.

아티팩트(artifact) 없는 이미징 및 패턴 생성

DCFI, 드리프트 억제 및 Thermo Scientific 스마트스캔 모드와 같은 전용 모드를 제공합니다.

솔루션 최적화

유연한 DualBeam 구성으로 최대 500Pa의 압력까지 저압 모드 옵션으로 사용할 수 있어 특정 응용 분야의 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.


사양

재품 표 사항에 대한 스타일시트
전자 빔 분해능
  • 최적의 WD
    • 30keV STEM에서 0.7nm
    • 1keV에서 1.4nm
    • 빔 감속과 함께 1keV에서 1.2nm
전자빔 파라미터 공간
  • 빔 전류 범위: 1pA ~ 400nA
  • 랜딩 에너지 범위: 20*eV ~ 30keV
  • 가속 전압 범위: 200V ~ 30kV
  • 최대 수평 필드 폭: 7mm WD에서 3.0mm, 60mm WD에서 7.0mm
  • 표준 내비게이션 몽타주를 통한 매우 넓은 시야(1×) 제공
이온 광학
  • 가속 전압: 500V ~ 30kV
  • 빔 전류 범위: 1.5pA ~ 65nA
  • 15-위치 조리개 스트립
  • 비전도성 시료의 표준으로서 드리프트 억제 모드
  • 최소 소스 수명: 1,000시간
  • 이온 빔 분해능: 선택적 엣지 방법 사용 시 30kV에서 3.0nm
검출기
  • Trinity 검출 시스템(렌즈 내 및 컬럼 내)
    • T1 분할된 하부 렌즈내(in-lens) 검출기
    • T2 상부 렌즈내 검출기
    • T3 인입식 컬럼내 검출기(옵션)
    • 최대 4개의 신호를 동시에 감지
  • Everhart-Thornley SE 검출기(ETD)
  • 2차 이온(SI) 및 전자(SE)(옵션)를 위한 고성능 이온 전환 및 전자(ICE) 검출기
  • 인입식 저전압, 고콘트라스트, 고체 상태 세그먼트형 후방 산란 전자 검출기(DBS)(옵션)
  • BF/ DF/ HAADF 세그먼트가 있는 인입식 STEM 3+ 검출기(옵션)
  • 시료 및 챔버 보기를 위한 IR 카메라
  • 챔버 내 Nav-Cam 시료 탐색 카메라(옵션)
  • 통합 빔 전류 측정
스테이지 및 시료

유연한 5축 전동 스테이지:

  • XY 범위: 110mm
  • Z 범위: 65mm
  • 회전: 360°(무한)
  • 경사 범위: -15° ~ +90°
  • XY 반복성: 3μm
  • 최대 시료 높이: 유센트릭(eucentric) 지점까지 간격 85mm
  • 0° 경사에서 최대 시료 중량: 5kg(시료 홀더 포함)
  • 최대 시료 크기: 완전 회전에서 110mm (제한된 회전에서 더 큰 시료 가능)
  • 콤퓨센트릭(compucentric) 회전 및 경사

*옵션으로 사용할 수 있으며 구성에 따라 달라집니다


리소스

Thermo Scientific Scios 2 FIB-SEM 소개. 이 초고분해능 분석 시스템이 자성 및 비전도성 물질을 포함하여 가장 광범위한 시료에 대해 뛰어난 시료 준비 및 3D 특성 분석 성능을 제공하는 방법에 대해 알아보십시오.

웨비나: 모든 요구에 부응하는 고급 DualBeam 자동화

독점 웨비나에 등록하셔서 Python 기반 AutoScript 4 API를 사용하여 DualBeam 기기에서 일상적인 작업을 얼마나 쉽게 자동화할 수 있는지 알아 보십시오. 자동화는 또한 처리량, 재현성 및 사용 편의성을 높이고 데이터에 대한 시간을 단축하며 효율성을 높여줄 수 있습니다.

등록하고 시청하기

Thermo Scientific Scios 2 FIB-SEM 소개. 이 초고분해능 분석 시스템이 자성 및 비전도성 물질을 포함하여 가장 광범위한 시료에 대해 뛰어난 시료 준비 및 3D 특성 분석 성능을 제공하는 방법에 대해 알아보십시오.

웨비나: 모든 요구에 부응하는 고급 DualBeam 자동화

독점 웨비나에 등록하셔서 Python 기반 AutoScript 4 API를 사용하여 DualBeam 기기에서 일상적인 작업을 얼마나 쉽게 자동화할 수 있는지 알아 보십시오. 자동화는 또한 처리량, 재현성 및 사용 편의성을 높이고 데이터에 대한 시간을 단축하며 효율성을 높여줄 수 있습니다.

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응용분야

전자현미경을 사용한 공정 제어

전자현미경을 사용한 공정 제어

오늘날 산업계는 우수한 품질의 높은 처리량과 강력한 공정 제어를 통해 유지되는 균형을 필요로 하고 있습니다. 전용 자동화 소프트웨어를 갖춘 SEM 및 TEM 도구는 공정 모니터링 및 개선을 위한 신속하고 멀티-스케일의 정보를 제공합니다.

 

전자현미경을 사용한 품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 불량 분석

품질 관리 및 보증은 현대 산업에 있어 필수적입니다. 당사에서는 결함에 대한 멀티 스케일 및 다중 모드 분석을 위한 다양한 EM 및 분광법 도구를 제공함으로써 공정 관리 및 개선을 위해 신뢰할 수 있으며 정보에 기반한 결정을 가능하게 합니다.

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기초 재료 연구

새로운 물질은 물리적 및 화학적 특성을 최대한 제어하기 위해 점점 더 작은 규모로 연구되고 있습니다. 전자현미경은 연구자들에게 마이크로에서 나노 범위에 이르는 광범위한 물질 특성의 핵심이 되는 유용한 정보를 제공합니다.

 

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반도체 경로탐색(Pathfinding) 및 개발

고성능 반도체 장치의 제조에 필요한 실행 가능한 솔루션과 설계 방법을 확인하기 위한 고급 전자 현미경 검사, 집속 이온빔 및 관련 분석 기법.

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수율 경사 및 계측

당사에서는 다양한 반도체 응용 분야와 장치의 생산성을 높이고 수율을 높일 수 있도록 설계된 결함 분석, 계측 및 공정 관리를 위한 고급 분석 기능을 제공합니다.

반도체 불량 분석

반도체 불량 분석

반도체 장치 구조가 점점 복잡해짐에 따라 숨겨진 장애 유발 결함이 더 많아지고 있습니다. 당사의 차세대 워크플로우는 사용자가 수율, 성능, 신뢰성에 영향을 미치는 미세한 전기 문제를 로컬화하고 특성을 분석하는 데 도움을 줍니다.

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물리적 및 화학적 특성 분석

지속적인 소비자 수요는 더 작고 빠르며 저렴한 전자 장치를 만들도록 촉진합니다. 그 생산은 광범위한 반도체 및 디스플레이 장치를 이미지화, 분석 및 특성 분석하는 고생산성 기기 및 워크플로우에 의존합니다.

기술

(S)TEM 시료 준비

DualBeam 현미경은 (S)TEM 분석을 위한 고품질의 초박막 시료의 준비를 가능하게 해줍니다. 고급 자동화 기능에 힘입어 모든 경험 수준의 사용자가 전문가 수준의 결과물을 얻을 수 있습니다.

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3D 재료 특성 분석

물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.

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APT 시료 준비

원자 프로브 단층촬영(APT)은 물질의 원자 분해능 3D 조성 분석 기능을 제공합니다. 집속 이온 빔(FIB) 현미경법은 APT 특성 분석을 위한 고품질, 방향 설정, 위치-특이적인 시료 준비를 위한 필수 기법입니다.

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단면 절단

단면 절단은 표면 하부 정보를 파악하여 추가적으로 유용한 정보를 제공해 줍니다. DualBeam 기기는 고품질 단면 절단 작업에 있어 탁월한 집속 이온 빔 컬럼을 제공해 줍니다. 자동화를 통해 시료의 무인 고처리량 처리가 가능합니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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멀티스케일 분석

새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.

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반도체 장치의 시료 준비

Thermo Scientific DualBeam 시스템은 반도체 장치의 원자 단위 분석을 위한 정확한 TEM 시료 준비 기능을 제공합니다. 자동화 및 고급 기계 학습 기술은 정확한 위치에서 고품질 시료를 생성하며 시료당 비용이 낮습니다.

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(S)TEM 시료 준비

DualBeam 현미경은 (S)TEM 분석을 위한 고품질의 초박막 시료의 준비를 가능하게 해줍니다. 고급 자동화 기능에 힘입어 모든 경험 수준의 사용자가 전문가 수준의 결과물을 얻을 수 있습니다.

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3D 재료 특성 분석

물질 개발은 종종 멀티스케일 3D 특성 분석을 필요로 합니다. DualBeam 기기를 사용하여 연속 절편화와 시료의 고품질 3D 재구성 처리가 가능한 연속 SEM 이미지 생성을 나노미터 규모로 가능하게 합니다.

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APT 시료 준비

원자 프로브 단층촬영(APT)은 물질의 원자 분해능 3D 조성 분석 기능을 제공합니다. 집속 이온 빔(FIB) 현미경법은 APT 특성 분석을 위한 고품질, 방향 설정, 위치-특이적인 시료 준비를 위한 필수 기법입니다.

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단면 절단

단면 절단은 표면 하부 정보를 파악하여 추가적으로 유용한 정보를 제공해 줍니다. DualBeam 기기는 고품질 단면 절단 작업에 있어 탁월한 집속 이온 빔 컬럼을 제공해 줍니다. 자동화를 통해 시료의 무인 고처리량 처리가 가능합니다.

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현장(In Situ) 실험

재결정화, 미립자 성장, 가열, 냉각 및 습윤 과정에서의 위상 변이와 같은 동적 처리의 기본 원리를 이해하는 데 있어서 전자 현미경 검사를 통한 미세 구조 변화에 대한 직접적인 실시간 관찰은 필수적입니다.

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멀티스케일 분석

새로운 물질은 보다 큰 시료 맥락을 유지하면서 더 높은 분해능으로 분석해야 합니다. 멀티스케일 분석을 사용하면 X선 microCT, DualBeam, 레이저 PFIB, SEM, TEM 등의 다양한 영상 도구 및 영상 기법의 상관 관계를 분석할 수 있습니다.

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Thermo Scientific DualBeam 시스템은 반도체 장치의 원자 단위 분석을 위한 정확한 TEM 시료 준비 기능을 제공합니다. 자동화 및 고급 기계 학습 기술은 정확한 위치에서 고품질 시료를 생성하며 시료당 비용이 낮습니다.

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