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提高良率和可靠性的能力包括详细的缺陷分析。由于器件内的电压或定时问题，边缘故障的设计调试对于光学故障隔离系统可能更具挑战性。想要确定参数失效的根本原因，通常需要故障定位在器件内部的实际位置，并且拥有在不损坏器件或遮蔽缺陷的情况下进入相关电路的能力。
Thermo Scientific Meridian 7 系统可为 10 nm 以下器件提供可见光激光电压成像 (LVI)、探测 (LVP) 和动态激光刺激 (DLS/LADA)。由于无超薄底物需求，此光学故障隔离系统在测试时保留了器件的完整性和功能性，提供的生产解决方案可靠且实用。
Meridian 7 光学故障隔离系统有两种配置可供选择：
- Meridian 7D 系统：1064 nm 和 785 nm 组合双 SIL 激光扫描显微镜 (LSM) 系统
- Meridian 7S 系统：仅 785 nm LSM 系统，带有用于高速测试的可选高级样品冷却，其中可能需要样品热管理以防止改变芯片性能带来的热逃逸
用于识别参数缺陷的动态光学故障隔离
- 10 nm 节点及以下先进器件测试条件下的表征
- 可选时间分辨 LADA
用于精确定时分析的高带宽
- 7 GHz 带宽可实现高速测试
- 测量 50 皮秒上升时间
增强光学分辨率，可实现更好的故障定位
- 高分辨率可见光和红外光
- 785 nm 分析将故障定位限制至 5 μm
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高分辨率 785 nm 激光扫描显微图像，DUT 样品制备至 5 µm。
可见光使光斑尺寸更小，在激光电压探测 (LVP) 分析期间尽可能减少相邻晶体管的交叉串扰。
785 nm 激光电压成像 (LVI) 器件频率映射。
高分辨率 785 nm 激光扫描显微图像，DUT 样品制备至 5 µm。
可见光使光斑尺寸更小，在激光电压探测 (LVP) 分析期间尽可能减少相邻晶体管的交叉串扰。
785 nm 激光电压成像 (LVI) 器件频率映射。
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