MAGCIS 单原子和气体团簇离子源

Thermo Scientific™ MAGCIS™ 双模离子源在同一台 XPS 仪器上可对软材料和硬材料进行深度剖析和表面清洁。 完全通过 Avantage 数据系统在气体团簇溅射模式和单原子溅射模式切换，而且约在几秒钟之内就可完成切换。

双模离子源的优点

研究触摸屏上防油涂层、测量生物医疗器械上等离子沉积膜、探索有机 LED 或太阳能电池都需要用深度剖析功能刻蚀和测量材料各层。

单原子离子源用于深度剖析和表面清洁已有多年，但是用于软材料（例如聚合物）受到限制。 离子会损伤表面，改变分析物的化学性质。 新颖的气体团簇离子源将克服这些限制，可分析多种以前不宜进行 XPS 深度剖析的材料。

近期发表

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  Cleaning Metal Oxides Using Argon Cluster Ions to Prevent Surface Modification（使用氩气团簇离子源清洁金属氧化物以防止表面改性）

新材料的 XPS 分析

双模离子源既可剥离硬材料，也可剥离软材料而不改变表面的化学性质。 XPS 系统安装单原子氩离子枪特别适合无机物材料。 气体团簇离子源的离子束减少了进入样品表面中的能量，从而降低样品损伤。

MAGCIS 离子源产生重原子团簇。用弱结合气体原子团簇仍可剥离材料，但能量和单电荷分散到整个团簇上。 在样品表面上大大减少了损伤区，因为团簇撞击样品显著减少了进入材料中的能量，得到的 XPS 谱可精确表示真实的表面化学性质。

MAGCIS 的多模式深度剖析

器件常常并不是基于大约一种材料，而是一种有机物和无机物化合物。 这里列举一个例子，用单原子和气体团簇离子刻蚀一种有机 FET（场效应管）。

MAGCIS 源的双工作模式便于深度剖析有机材料和无机材料。 Thermo Scientific Avantage XPS 数据系统在实验测量时可控制单一工作模式间的切换。

MAGCIS 源在深度剖析的第一阶段以团簇模式工作，保持了易损伤金属有机化合物的化学性质，然后剖析到无机层再切换到单原子工作模式，从而得到整个器件的全过程深度剖析。