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使用 Thermo Scientific™ Theta Probe 角分辨 X 射线光电子能谱系统,无需倾斜样品即可非破坏性表征超薄膜,收集角分辨能谱。
创新科技依赖于固体表面近表面区域的工程处理。 对于包括自组装膜、表面改性聚合物和半导体器件在内的这类材料,必须充分了解它们前几纳米的组成。
Theta Probe 装有微聚焦单色器和并行 ARXPS 分析器,可使复杂薄膜测量变得简单而直观。 Theta Probe 可扩展其它分析功能,如紫外光电子谱以及多种样品处理选项。
Theta Probe XPS 具有独特的功能,无需倾斜样品,可并行收集角度 60° 范围内的角分辨 XPS 谱。 这一特性方便了超薄膜的非破坏性表征。
Theta Probe XPS 系统采用宽接受角 (60°) 的静电透镜收集光电子,在 PARXPS 测量中能极大地增加灵敏度,增大收集角范围。 透镜的轴与样品法向方向的夹角为 50°,收集电子的角度范围为 20° 至 80°。 样品通常为水平分析位置,所有角度都表示为相对于样品法向方向的夹角。 二维探测器安装在 180° 球扇型分析器的出射焦平面上。
Theta Probe 透镜独一无二,有下列两种可工作模式:常规模式(用于能谱分析,无需角度分辨信息);角分辨模式。 对于全谱,所需能量范围太大无法使用快照 (snapshot) 模式,分析器需按常规模式扫描。 在角分辨模式下,电子在探测器上在两个方向上色散。通常对于半球形能量分析器,按电子的能量沿着分析器的能量色散方向上色散。 电子也可按样品上发射电子的角度在垂直方向上色散。 所以可并行采集角分辨 XPS 谱,无需倾斜样品。 光电子被色散进入最多达 96 角度通道内。仪器可在大于 60° 角范围内收集这些光电子。 由于兼顾角度和灵敏度,通常数据被收集进入 16 个通道,覆盖 60° 角范围。
二维探测器为多通道检测,多达 112 个能量通道,分布在出射焦平面的径向方向上。 所以,无需扫描分析器即可收集高质量的快照谱。 这一特点可节省时间,尤其当在采谱工作量很大时,如深度剖析或 XPS 化学成像。
Theta Probe 仪器配备有微聚焦单色器,它是仪器的唯一激发源。 单色器包括可移动阳极,可大大增加阳极的寿命。 在固定阳极仪器上,任何阳极靶上铝镀层均会随使用时间而消耗掉,最终需要更换。 Theta Probe 的阳极可移动,让电子辐照到一个新鲜区域,无需破坏真空。
Theta Probe 用 X 射线束斑限定分析面积(即源限定 SAXPS)。 横向分辨 15 µm 至 400 µm。 在 X 射线束斑下通过移动样品台进行扫描化学成像。 所以,X 射线束斑大小决定了图像的分辨。 通过扫描样品台成像,速度没有其它方法快,但是具有多项重要优点。
能谱或 PARAXPS 数据可以从图像的仍何区域中,甚至从单个像素中提取出来。 化学像经先进的数据处理技术后,如非线性最小二乘法拟合 (NLLSF),可得到精确的化学态成像。 同时收集能谱和角分辨谱,得到厚度分布像和亚表层像。 Theta Probe 独特的功能即分布成像与 PARXPS 结合,可使 XPS 成像增加一个新的维度。
Theta Probe XPS 系统为全电机驱动五维样品台,X 和 Y 的移动范围 70 mm,高度 Z 移动范围 25 mm。 样品台适合安装多种类型的大样品。 如样品需要倾斜或旋转,样品必需安装在样品托上,可连续旋转,倾斜范围 ± 45°。 样品台上所有轴的运动均由电机驱动,电机连接 Avantage 数据系统操控样品位置。
显微摄像头迅速在样品上方定位,显微摄像头的轴与样品处于分析位置时的法向方向平行。 光学系统的视场范围 400 µm 至 4 mm。当光学像聚焦清楚后,分析位置与标识线的中心位置精确对中。 为了对中分析特征位置,必须在标识线的中心聚焦清楚样品特征,可用轨迹球或鼠标指向光学图像完成样品定位。
配备样品制备室,可安装多个制样功能,包括离子刻蚀、加热、冷却、断裂、样品停放等。
所有 Thermo Scientific XPS 能谱仪分析室由 5 mm 厚的 µ 金属制成,可最大限度地屏蔽磁场。 使用涡轮分子泵和钛升华泵抽分析室真空。 这样的真空配置可使分析室真空优于 5 X 10-10 mbar。
用分子泵抽进样室真空,前级泵为旋转式机械泵。 使用互锁阀门,差分抽气通过进样室实现。在进样室通过操作 Avantage 数据系统自动暴露大气时,系统能受到必要的保护。
Theta Probe 的指标为通常操作条件下的指标。 微聚焦单色器每一尺寸的束斑均有其相应的最大功率。 所以不必刻意要求计数率比例大小。 样品安装在常规样品托的平台上,在相同的位置上保持束斑大小和测量计数率不变。 比较不同仪器指标时,重要的是要保证采集数据的条件相同。
ARXPS 测定超薄表面层组分和厚度方面的应用与日俱增。 在掠出射角附近,XPS 只是收集接近表面层的数据。 在靠近法向方向收集出射电子,XPS 信息深度较大。
Theta Probe 的弧透镜分析器,在 2D 探测器上可提供能量色散和角度色散。 可同时收集两种信号,因而在角分辨 XPS 测量时无需倾斜样品。
简单地应用角分辨 XPS 数据可得到相对深度曲线。 这能可显示样品中膜层的排列顺序,但没有提供厚度和深度信息。
由 PARXPS 数据得出的相对深度曲线,显示了多层膜材料中膜层排列顺序。 膜层结构顺序为 Al2O3、HfO2、SiO2 和 Si(衬底)。 图中可见这些薄膜层结构和污染碳层。
利用集成在 Avantage 数据系统中的覆盖层厚度计算软件,数值计算膜层厚度。 多层膜的厚度用 PARXPS 计算。
比较 Si 片上 SiO2 膜层的 ARXPS 和椭偏的测量。 虽然曲线线性很好且斜率接近于 1,但是在椭偏轴上有 0.8 nm 的截距。 在此比较分析中通常可观察到截距,这是因为在表面上椭偏仪既测量氧化层也测量了污染层。 而 PARXPS 测量只测量氧化层。 材料在暴露空气期间表面会形成一层污染层。 如果需要,可用 PARXPS 测量污染层厚度。
用求熵最大值方法,能从 PARXPS 中计算深度剖析。 对于检测表面改性绝缘体,PARXPS 是一个强有效的工具。 使用 Theta Probe 时,样品无需倾斜,所以能保持荷电补偿恒定。 分析人员可以确信谱峰形状随角度的变化来自表面化学性质变化。
对于厚度大于几个纳米的薄层,采用惰性气体离子溅射获得浓度深度剖析。 Theta Probe具有高灵敏度,能提供小面积深度剖析。 溅射面积越小,刻蚀速率越高,数据采集时间越短。
Theta Probe 具有下列特性,优化了溅射深度剖析性能: