グロー放電質量分析（GD-MS 分析）

グロー放電質量分析計は、固体サンプルの直接分析における新たな標準技術となる、高純度な導体および半導体材料中の微量元素の高スループット測定を可能にするソリューションです。

高純度の金属、合金、半導体、バッテリー材料の包括的な特性評価を可能にするThermo Scientific GD-MSシステムは、高分解能質量分析計に高速なグロー放電イオンソースを搭載しています。高純度な導体および半導体材料の直接分析に適したツールである本システムは、ルーチン分析において固体サンプル中のほぼすべての元素をppb未満のレベルで検出し、定量することができます。

高速フローイオンソースが、卓越した感度と低い干渉レベルを提供します。また、高速フローイオンソースは、ポンプダウンおよびサンプル取得の時間を短縮することで、サンプルスループットとラボの生産性を劇的に向上させます。 

高分解能ICP-MSによる分析はシンプルであり、メソッド開発の明確さや確実さを損なうことなく、先進的なパフォーマンスを発揮することが可能です。Element GD Plus GD-MSによる干渉のない測定では、定量用のシンプルな線形検量線が得られます。3つの固定分解能設定（300、4,000、10,000）の切り替え時間は<1秒であり、最適な条件を確保することでスペクトル干渉を確実に除去します。固定スリット設計により、非常に高い安定性と再現性を保証します。

代表的なアプリケーションとして、マトリックス元素（%）、微量元素（ppm）、超微量元素（ppb）の同時分析が行われています。これを実現するために、検出系はリニアダイナミックレンジが>12桁の完全自動検出器を搭載し、異なる検出モード間の自動クロスキャリブレーションを実装しています。 

材料中に含まれる炭素、窒素、酸素などの微量気相元素の定量において、従来の燃焼法では2台の分析装置が必要でした。Element GD Plus GD-MSのCNOオプションでは、供給されるアルゴンガス中の微量な水分、二酸化炭素および窒素を吸着する精製ユニットを用いて、アルゴン放電ガスを清浄化します。これにより、炭素、窒素、酸素に対するサブppmの検出限界を達成します。

• 独自の設計による高い精度と調整可能なスパッタレートは、バルク分析および深さ方向分析に有用
• 高い感度がもたらす短い分析時間
• 迅速かつシンプルなサンプル切り替え
• 多原子干渉は低レベルで極低温冷却は不要
• フレキシブルなセルにより、平坦なサンプル、粉体ペレット、針状サンプルに対応
• 迅速な交換が可能なプラグイン式のコーンおよびアノード部品により、サンプルのキャリーオーバーを回避

適切なGD-MS用アクセサリーを利用することで、困難な元素も分析が容易になります。グロー放電質量分析計用に専用設計されたアクセサリーは、性能、使いやすさ、柔軟性を向上させます。

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