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Transmission Electron Microscopes
Metrios AX TEM
High productivity transmission electron microscope for semiconductor metrology and process characterization.
Advanced logic and memory manufacturing processes are becoming more reliant on fast turnaround of precise structural and analytical data to be able to quickly calibrate tool sets, diagnose yield excursions, and optimize process yields. At technology nodes below 28nm, especially in cases where 3D and advanced device designs are being implemented, conventional SEM or optical-based analysis and inspection tools run into challenges that limit their ability to provide robust and reliable data. The Thermo Scientific Metrios AX transmission electron microscope (TEM) is the first TEM dedicated to providing the fast, precise characterization and reference metrology that semiconductor manufacturers need to develop and control their wafer fabrication processes in order to accelerate profitable yield.
High-volume TEM data, accurate and repeatable
The Metrios AX TEM automates the basic TEM operation and measurement procedures, minimizing the requirements for specialized operator training. Its advanced automated metrology routines deliver significantly greater precision than manual methods. The Metrios AX TEM is designed to provide improved throughput and lower cost-per-sample than other TEMs.
Consistent, repeatable, precise
Designed from the ground-up to deliver repeatable TEM and STEM-based imaging, analytics and gauge capable metrology.
Metrology accuracy
Less than 0.75% combined error in distortion and magnification calibration for both TEM and STEM.
Automated EDS and hybrid metrology
Acquire and quantify EDS data with automation. Use elemental contrast on key critical dimensions to extend STEM.
Workflow connectivity
Critical process data is tracked through sample prep, plucking, and imaging. Metrology can be applied offline to maximize tool acquisition time. All imaging and metrology data is consolidated in a web-based image viewer.
Folha de estilo para especificações de tabela de produtos
High Tension Range (kV) | 60-200 kV | |
Information Limit 200 kV (nm) | 0.11 | |
Non-corrected | Probe corrected* | |
STEM HAADF Resolution (nm) 200 kV |
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STEM HAADF Resolution (nm) 80 kV |
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Metrology precision on MetroCal wafer for horizontal and vertical |
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Electron source |
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Ultra-stable electronics and high tension |
| |
Acoustic enclosure |
| |
Constant power lenses |
| |
Piezo stage |
| |
Probe corrector compatible |
| |
*For manual use. Specifications are subject to change.
Metrios DX TEM
Metrios DX TEM
Desenvolvimento e localização de semicondutores
Microscopia eletrônica avançada, feixe de íon focalizado e técnicas analíticas associadas para identificar soluções viáveis e métodos de desenho para a fabricação de dispositivos semicondutores de alto desempenho.
Rampa de escoamento e metrologia
Oferecemos recursos analíticos avançados para análise de defeitos, metrologia e controle de processos projetados para ajudar a aumentar a produtividade e melhorar o rendimento em uma variedade de aplicações e dispositivos semicondutores.
Análise de falha de semicondutores
Estruturas de dispositivos semicondutores cada vez mais complexas resultam em mais locais onde defeitos que induzem falhas podem se ocultar. Nossos fluxos de trabalho de última geração o ajudam a localizar e caracterizar problemas elétricos sutis que afetam o rendimento, o desempenho e a confiabilidade.
Caracterização física e química
A demanda contínua dos consumidores impulsiona a criação de dispositivos eletrônicos menores, mais rápidos e mais baratos. Sua produção depende de instrumentos e fluxos de trabalho de alta produtividade que fazem imagens, analisam e caracterizam uma ampla gama de semicondutores e dispositivos de exibição.
Aquisição de imagens e análise TEM de semicondutores
Os microscópios eletrônicos de transmissão da Thermo Fisher Scientific oferecem imagens de alta resolução e análise de dispositivos semicondutores, permitindo que os fabricantes calibrem conjuntos de ferramentas, diagnostiquem mecanismos de falha e otimizem o rendimento geral do processo.
Metrologia TEM
As rotinas de metrologia TEM avançadas e automatizadas oferecem uma precisão significativamente maior do que os métodos manuais. Isso permite que os usuários gerem grandes quantidades de dados estatisticamente relevantes, com especificidade de nível subangstrom sem o viés do operador.
Aquisição de imagens e análise TEM de semicondutores
Os microscópios eletrônicos de transmissão da Thermo Fisher Scientific oferecem imagens de alta resolução e análise de dispositivos semicondutores, permitindo que os fabricantes calibrem conjuntos de ferramentas, diagnostiquem mecanismos de falha e otimizem o rendimento geral do processo.
Metrologia TEM
As rotinas de metrologia TEM avançadas e automatizadas oferecem uma precisão significativamente maior do que os métodos manuais. Isso permite que os usuários gerem grandes quantidades de dados estatisticamente relevantes, com especificidade de nível subangstrom sem o viés do operador.
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Serviços de microscopia eletrônica para
semicondutores
Para garantir o desempenho ideal do sistema, fornecemos acesso a uma rede de especialistas em serviços de campo, suporte técnico e peças de reposição certificadas.
Suporte e recursos para microscopia eletrônica
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