Microscópios eletrônicos de transmissão

Os avanços na pesquisa da ciência de materiais dependem de informações rápidas e confiáveis de alta resolução que permitem otimizar o desempenho de um material. Uma compreensão completa do material requer o uso de técnicas avançadas de caracterização junto com dados de composição e estruturais em 2D e 3D.

Isso significa que é necessário ter acesso a uma instrumentação robusta e precisa capaz de fornecer as informações em nível atômico com a mais alta resolução possível. A microscopia eletrônica de transmissão e varredura (STEM) é capaz de fornecer dados de alta qualidade combinando os princípios da microscopia eletrônica de transmissão (TEM) e da microscopia eletrônica de varredura (SEM). Assim como a TEM, a STEM requer amostras muito finas e examina principalmente os elétrons do feixe transmitidos pela amostra. Uma das principais vantagens da STEM em relação à TEM é o fato de ela permitir o uso de outros sinais que não podem ser espacialmente correlacionados na TEM, incluindo raios X característicos e espectros de perda de energia eletrônica.

Assim como a SEM, a técnica STEM faz a varredura de um feixe de elétrons de foco muito preciso por meio da amostra em um padrão de grade. As interações entre os elétrons do feixe e os átomos da amostra geram uma aquisição simultânea do fluxo de sinal de dados multimodais, correlacionada com a posição do feixe para criar uma imagem virtual na qual o nível de sinal em qualquer lugar na amostra é representado pelo nível de cinza no local correspondente na imagem. Sua principal vantagem em relação à imagem SEM convencional é a melhoria na resolução espacial.

Com a STEM, é possível coletar dados analíticos extremamente localizados para a amostra. Isso inclui mapas de EDS de alta resolução e área grande, sondagem de estados de oxidação usando EELS e geração de imagens de resolução atômica de interfaces de material.

A linha de produtos STEM da Thermo Fisher Scientific apresenta imagens e análises aceleradas por meio de operação simplificada/automatizada, oferecendo uma maior qualidade de dados e tempos de aquisição mais rápidos. Ela também combina imagens STEM de alta resolução com avanços incomparáveis na detecção de sinal EDS para mapeamento de composição e caracterização química 3D com os detectores EDS Dual-X e Super-X da Thermo Scientific. As plataformas STEM da Thermo Fisher Scientific são adequadas para ambientes multiusuários e multidisciplinares, combinando todas as aplicações em um único sistema.

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Microscopia por elétrons

Microscopia eletrônica de transmissão e varredura (S/TEM)

Formação de imagens STEM para caracterização rápida, precisa e quantitativa de todas as aplicações de ciência de materiais.

Tecnologia


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Ciências da vida

 

Ciência de materiais

 

Semicondutores


Técnicas

Ciências da vida

 

Ciência de materiais

 

Semicondutores


Krios G4 Cryo-TEM

  • Ergonomia melhorada
  • Adapta-se mais facilmente a laboratórios novos e existentes
  • Produtividade e automação maximizadas
  • Excelente qualidade de imagem para reconstrução 3D de alta resolução

Spectra 300 TEM

  • Informações estruturais e químicas de máxima resolução em nível atômico
  • Faixa flexível de alta tensão de 30 kV a 300 kV
  • Sistema condensador de três lentes

Spectra 200 TEM

  • Imagens de alta resolução e contraste para acelerar tensões de 30 kV a 200 kV
  • Lente objetiva simétrica S-TWIN/X-TWIN com desenho de haste de grande distância de 5,4 mm
  • Resolução da imagem STEM subangstrom de 60 kV a 200 kV

Glacios Crio-TEM

  • Tensão de aceleração flexível de 80 kV a 200 kV
  • Carregador automático líder do setor para manipulação de amostras criogênicas
  • Dimensões reduzidas
  • Facilidade de uso aprimorada

Talos Arctica TEM

  • Maior velocidade de aquisição de dados
  • Manuseio robotizado de grande volume de dados de amostras e carregamento automático
  • Operação autônoma da plataforma e aquisição automatizada de dados
  • Baixo custo de propriedade com diagnóstico remoto e serviço preventivo

Metrios AX TEM

  • Opções de automação para suportar qualidade, consistência, metrologia e OPEX reduzido
  • Aproveita o aprendizado de máquina para obter funções automáticas superiores e reconhecimento de recursos
  • Fluxos de trabalho para a preparação de lamela in situ e ex situ

Talos L120C TEM

  • Maior estabilidade
  • Câmera 4k × 4K Ceta CMOS
  • Gama de ampliação TEM de 25 kX a 650 kX
  • A análise flexível da EDS revela informações químicas

Talos F200i TEM

  • Imagens S/TEM de alta qualidade e EDS precisa
  • Disponível com tecnologia de EDS dupla
  • Melhores recursos completos in situ
  • Imagem de campo de visão grande em alta velocidade

Talos F200S TEM

  • Dados precisos de composição química
  • Imagens de alto desempenho e análise de composição precisa para microscopia dinâmica
  • Apresenta o software Velox para aquisição e análise rápidas e fáceis de dados multimodais

Talos F200X TEM

  • Alta resolução/produtividade na geração de imagens STEM e na análise química
  • Adição de suportes de amostra específicos in situ da aplicação para experimentos dinâmicos
  • Apresenta o software Velox para aquisição e análise rápidas e fáceis de dados multimodais

Talos F200C TEM

  • A análise flexível da EDS revela informações químicas
  • Formação de imagens de TEM e STEM de alto contraste e alta qualidade
  • A câmera CMOS Ceta de 16 Mpixel fornece um campo de visão amplo e alta velocidade de leitura

ExSolve WTP DualBeam

  • Capacidade de preparação de lamelas de 20 nm de espessura específicas do local em wafers inteiros de até 300 mm de diâmetro
  • Atende às necessidades que exigem amostragem automatizada de alta taxa de transferência em nós de tecnologia avançada

Helios G4 EXL DualBeam

  • Controle preciso e conhecimento da temperatura da amostra
  • Melhor estabilidade da amostra, navegação e correção assistida de desvio da amostra nos eixos x, y e z
  • Avanço das funções de aquisição de imagens e filmes de alta qualidade

Helios 5 DualBeam

  • Preparação de amostra TEM ultrafina, totalmente automatizada e de alta qualidade
  • Alta produtividade, subsuperfície de alta resolução e caracterização 3D
  • Recursos rápidos de nanoprototipagem

Helios 5 PFIB DualBeam

  • Preparação de amostra STEM e TEM sem gálio
  • Subsuperfície multimodal e informações 3D
  • Coluna FIB de plasma de xênon de 2,5 μA de próxima geração

Helios G4 PFIB DualBeam

  • Preparação de amostra STEM e TEM sem gálio
  • Subsuperfície multimodal e informações 3D
  • Coluna FIB de plasma de xênon de 2,5 μA de próxima geração

Sistema Helios 5 Laser PFIB

  • Cortes transversais rápidos em escala milimétrica
  • Subsuperfície profunda estatisticamente relevante e análise de dados 3D
  • Compartilha todos os recursos da plataforma Helios 5 PFIB

Helios Hydra DualBeam

  • Quatro espécies de íons alternáveis rápidas (Xe, Ar, O, N) para processamento PFIB otimizado da mais ampla gama de materiais
  • Preparação de amostra TEM sem gálio
  • Imagem SEM de resolução extremamente alta

Aquilos 2 Cryo-FIB

  • A automação permite a produção de várias lamelas
  • Direcione e extraia sua estrutura de interesse com o nanomanipulador de elevação
  • Visualização 3D para tomografia de alta resolução

Scios 2 DualBeam

  • Compatibilidade total com amostras magnéticas e não condutoras
  • Subsuperfície de alto rendimento e caracterização 3D
  • Recursos avançados de facilidade de uso e automação

Axia ChemiSEM

  • Mapeamento elementar quantitativo ao vivo
  • Imagens por microscopia eletrônica de varredura de alta fidelidade
  • Flexível e fácil de usar, mesmo para usuários iniciantes
  • Manutenção fácil

Verios 5 XHR SEM

  • SEM monocromática para resolução subnanométrica em toda a faixa de energia de 1 keV a 30 keV
  • Fácil acesso a energias de aterrissagem de feixe de até 20 eV
  • Excelente estabilidade com o estágio piezo como padrão

Quattro ESEM

  • FEG SEM de alta resolução ultraversátil com capacidade ambiental única (ESEM)
  • Observe todas as informações de todas as amostras com imagens simultâneas SE e BSE em cada modo de funcionamento

Prisma E SEM

  • SEM de nível básico com excelente qualidade de imagem
  • Carregamento e navegação de amostras fáceis e rápidos para várias amostras
  • Compatível com uma ampla gama de materiais graças aos modos de vácuo dedicados

Apreo 2 SEM

  • SEM de alto desempenho para resolução geral nanométrica ou subnanométrica
  • Detector retroespelhado T1 na coluna para contraste de materiais sensíveis e com taxa de TV
  • Excelente desempenho em longas distâncias de trabalho (10 mm)

VolumeScope 2 SEM

  • Dados 3D isotrópicos de volumes grandes
  • Alto contraste e resolução nos modos de vácuo alto e baixo
  • Alternância simples entre uso SEM normal e geração de imagens seriais de face de bloco

Phenom Pharos Desktop SEM

  • Fonte FEG com faixa de tensão de aceleração de 2 kV a 15 kV
  • Detector EDS e SE opcional totalmente integrado

Phenom XL G2 Desktop SEM

  • Para amostras grandes (100 x 100 mm) e ideal para automação
  • Resolução <10 nm e ampliação de até 200.000 vezes; tensão de aceleração de 4,8 kV até 20 kV
  • Detector EDS e BSE opcional totalmente integrado

Phenom ProX Desktop SEM

  • SEM de mesa de alto desempenho com detector EDS integrado
  • Resolução <8 nm (SE) e <10 nm (BSE); ampliação de até 150.000 vezes
  • Detector SE opcional

Phenom Pro Desktop SEM

  • SEM de mesa de alto desempenho
  • Resolução <8 nm (SE) e <10 nm (BSE); ampliação de até 150.000 vezes
  • Detector SE opcional

Phenom Pure Desktop SEM

  • SEM de mesa de nível básico
  • Resolução <25 nm; ampliação de até 65.000 vezes
  • Fonte CeB6 de longa duração

Phenom Perception GSR Desktop SEM

  • GSR de mesa SEM automatizado dedicado
  • Resolução <10 nm; ampliação de até 200.000 vezes
  • Fonte CeB6 de longa duração

Phenom ParticleX AM Desktop SEM

  • SEM de mesa versátil com software de automação para fabricação aditiva
  • Resolução <10 nm; ampliação de até 200.000 vezes
  • Detector SE opcional

Phenom ParticleX TC Desktop SEM

  • Desktop SEM versátil com software de automação para limpeza técnica
  • Resolução <10 nm; ampliação de até 200.000 vezes
  • Detector SE opcional

Phenom ParticleX Steel Desktop SEM

  • SEM e EDS integrados
  • Fácil de usar
  • Inclusões submicrométricas

Sistema ELITE

  • Completamente indestrutível
  • Rápida identificação do componente defeituoso na placa de montagem para um posicionamento preciso
  • Localização do defeito em x-y com a precisão micrométrica, com uma localização de profundidade precisa em até 20 µm

Sistema Hyperion II

  • Sondagem da força atômica
  • Localize as falhas do transistor
  • PicoCurrent integrado (CAFM)

Sistema nProber IV

  • Localize as falhas de transistor e BEOL
  • Nanossondagem térmica (-40 °C a 150 °C)
  • Operação semiautomatizada

Sistema Meridian S

  • Diagnóstico de falhas com a tecnologia de sonda ativa
  • Opções de estimulação a laser estática (SLS/OBIRCH) e emissão de fótons
  • Compatível com estimulação de microssondagem e de dispositivos de cartão de sonda

Sistema Meridian WS-DP

  • Detecção de emissão de fótons de baixa tensão, baixo ruído e alta sensibilidade com sistemas de câmera de banda larga DBX ou InGaAs
  • Microscópio de varredura a laser com vários comprimentos de onda para análise da cadeia de varredura, mapeamento de frequência, sondagem de transistor e isolamento de falhas

Sistema Meridian 7

  • Isolamento dinâmico de falhas ópticas para nós de 10 nm e inferiores
  • Luz visível e infravermelha de alta resolução
  • Preparação de amostra de alto rendimento para 5 μm amplamente disponível

Sistema Meridian IV

  • Detecção de emissão de fóton DBX de comprimento de onda estendido de alta sensibilidade
  • Detecção de emissão de fótons InGaAs padrão
  • Microscópio de varredura a laser com várias opções de comprimento de onda

Sistema de edição de circuito Taipan G2+

  • Resolução de imagem e desbaste para atender às especificações de nó de 10 nm
  • Excelente seletividade de gravação e controle de deposição para condutores e isolantes
  • Excelente precisão de navegação e posicionamento do feixe de íons

Sistema de edição de circuito Centrios

  • Imagem superior, resolução de desbaste
  • Maior precisão e controle do desbaste
  • Construído na plataforma Helios DualBeam da Thermo Scientific

MK.4TE ESD e sistema de teste Latch-Up

  • Operações baseadas em relé rápido – até 2304 canais
  • Precondicionamento avançado do dispositivo com seis níveis separados de acionamento de vetor
  • Estímulo com trava totalmente compatível e influência do dispositivo

Testador de descarga eletrostática Orion3

  • Teste do modelo do dispositivo carregado
  • Câmeras coloridas duplas de alta resolução
  • Teste densidades até menos de 0,4 mm de distância

Sistema de teste Celestron

  • Teste de TLP no nível de wafer e pacote
  • Gerador de pulso TLP de alta corrente
  • Pode fazer interface com sondas semiautomáticas
  • Software intuitivo para controle e geração de relatórios

Sistema de teste ESD Pegasus

  • Testes de acordo com os mais recentes padrões do setor
  • Rede ESD 150 pF/330 Ω de nível de sistema real
  • Conexão de 2 pinos por meio de sondas de wafer para qualquer dispositivo

Nexsa

  • Módulo de inclinação para medições ARXPS
  • Fonte de íons de modo duplo para recursos de perfil de profundidade expandida
  • Análise de isolantes

K-Alpha

  • Espectroscopia de área selecionável
  • Monocromador microfocalizado
  • Espectroscopia de estado químico de alta resolução

ESCALAB Xi+

  • Espectroscopia de alta sensibilidade
  • XPS com raios X não monocromáticos
  • Analisador de energia hemisférica de 180 graus

Sistema Vitrobot

  • Vitrificação de amostra totalmente automatizada
  • Dispositivo para Western Blot
  • Transferência de grade semiautomatizada
  • Alta produtividade de amostras

Software Amira

  • Suporte para vários dados/visualização/canal
  • Visualização interativa de alta qualidade
  • Segmentação baseada em aprendizado de máquina
  • Criação intuitiva de receitas

Software Auto Slice and View 4.0

  • Seccionamento serial automatizado para DualBeam
  • Aquisição de dados multimodais (SEM, EDS, EBSD)
  • Recursos de edição imediatos
  • Posicionamento de corte com base na aresta

Software AutoScript 4

  • melhor reprodutibilidade e precisão
  • Geração de imagens e padronização não assistidas e de alta produtividade
  • Compatível com ambiente de script baseado em Python 3.5

Software AutoTEM 5

  • Preparação de amostras S/TEM totalmente automatizada in situ
  • Compatibilidade com geometria de cima para baixo, plana e invertida
  • Fluxo de trabalho altamente configurável
  • Interface de usuário intuitiva e fácil de usar

Software Avizo

  • Compatível com vários dados/várias visualizações, vários canais, série temporal, dados muito grandes
  • Registro automático avançado em vários modos 2D/3D
  • Algoritmos de redução de artefatos

Software EPU 2

  • Solução integrada ao microscópio para aquisição de partícula única
  • Otimizado para coleta de partículas de alto rendimento
  • Compatível com filme, câmeras CCD e detectores eletrônicos diretos

Software Ifast

  • Gravador de macro para criação mais rápida de receitas
  • Corredor para operação noturna sem supervisão
  • Ferramentas de alinhamento: reconhecimento de imagem e localização de borda

Software Inspect 3D

  • Ferramentas e filtros de processamento de imagens para correlação cruzada
  • Rastreamento de recurso para alinhamento de imagem
  • Técnica de reconstrução algébrica para comparação de projeção iterativa

Software Maps

  • Adquira imagens de alta resolução em áreas grandes
  • Encontre regiões de interesse facilmente
  • Automatize o processo de aquisição de imagens

Software NEXS

  • Sincronização automática da posição/ampliação entre NEXS e o sistema de edição de circuito para uma experiência do usuário mais uniforme
  • Conecta-se à maioria das ferramentas da Thermo Scientific usadas para o EFA, PFA e espaço de edição de circuito

Software Pergeos

  • Compatível com vários dados/várias visualizações, vários canais, série temporal, dados muito grandes
  • Simulação de fluxo bifásico
  • Tomografia computadorizada de energia dupla (DECT)

Software Tomography 4.0

  • Algoritmo de reconstrução imediata
  • Aquisição de TEM e STEM totalmente automática
  • Calibração única
  • Fluxo de trabalho fácil desde dados até estrutura

Software Velox

  • Um painel experimentos no lado esquerdo da janela de processamento.
  • Mapeamento quantitativo ao vivo
  • Interface de layout interativa do detector para configuração e controle de experimentos reproduzíveis

Reconstrução 3D

  • Interface de usuário intuitiva, empregabilidade máxima
  • Interface de usuário intuitiva e totalmente automatizada
  • Com base na tecnologia de "forma a partir do sombreamento", não é necessário inclinar o estágio

AsbestoMetric

  • Ferramenta automatizada para aquisição de imagens, detecção de fibras e geração de relatórios
  • Análise EDX assistida com revisão de fibra
  • Relatório de padrão ISO sobre análise de amianto

Mapeamento de elementos

  • Informações rápidas e confiáveis sobre a distribuição de elementos dentro da amostra ou da linha selecionada
  • Resultados facilmente exportados e relatados

FiberMetric

  • Economize tempo com medições automatizadas
  • Coleta rápida e automatizada de todos os dados estatísticos
  • Visualize e meça microfibras e nanofibras com precisão incomparável

Nanobuilder

  • Prototipagem baseada em CAD
  • Execução de tarefa totalmente automatizada, navegação em estágios, desbaste e deposição
  • Alinhamento automatizado e controle de desvio

ParticleMetric

  • Software integrado no ProSuite para análise on-line e off-line
  • Correlação das características da partícula, como diâmetro, circularidade, proporção e convexidade
  • Criação de conjuntos de dados de imagem com o mapeamento de imagem automatizado

Interface de programação Phenom

  • Personalize o SEM para ajustá-lo ao fluxo de trabalho
  • Aumente a eficiência e economize tempo com processos automatizados
  • Controle as configurações de imagem e a navegação por estágios

PoroMetric

  • Correlacione os recursos de poro, como área, proporção, eixo principal e secundário
  • Adquira imagens diretamente do desktop SEM
  • Dados estatísticos com imagens de alta qualidade

ProSuite

  • Coleta automatizada de imagens
  • Controle remoto em tempo real
  • Aplicativos padrão incluídos: mapeamento automatizado de imagens e interface de usuário remota

Quartz PCI/CFR

  • Rastreabilidade de imagens SEM em conformidade com a 21 CFR parte 11
  • Compatível com os SEMs desktop Phenom XL e Phenom Pro
  • Suporte ao sistema operacional Windows 10 de 64 bits

μHeater

  • Solução de aquecimento ultrarrápida para imagens de alta resolução in situ
  • Totalmente integrado
  • Temperaturas de até 1200 °C

μPolisher

  • Potencial para permitir um grande número de aplicativos novos e inexplorados
  • Desbaste com energia muito baixa
  • Tamanho de ponto pequeno para um tratamento de superfície local preciso

Filtros de imagem Selectris e Selectris X

  • Desenvolvidos para imagens de alta estabilidade e resolução atômica
  • Operação direta
  • Em conjunto com a geração mais recente do detector eletrônico Falcon 4 Direct da Thermo Scientific

Câmera Ceta D

  • Desempenho ideal em todas as altas tensões (20 kV a 300 kV)
  • Compatível com filtros e espectrômetros pós-coluna
  • Aquisição de filmes para estudos dinâmicos

Detector Falcon 4

  • Eficiência quântica de detecção líder
  • Tempo de exposição 10 vezes menor do que o seu antecessor
  • Totalmente integrado ao software da Thermo Scientific
  • Gerenciamento de dados integrado

Suporte de amostra de redução de carga

  • Ampliação até oito vezes maior
  • Maior rapidez na preparação de amostras
  • Amostras não condutivas podem ser obtidas por imagem em seu estado natural

Alimentação elétrica através do suporte de amostra

  • Conecte as sondas elétricas à amostra para medições in situ
  • A altura da amostra pode ser ajustada manualmente de 0 mm a 25 mm
  • Medições de correntes da sonda

Suporte de amostra eucêntrico

  • Inclinação eucêntrica e rotação compucêntrica em um SEM desktop
  • Tempo de imagem rápido com carregamento de amostra < 1 minuto
  • Módulo de visualização de amostra 3D em tempo real

Insertos filtrantes

  • Análise de resíduos do filtro e análise de amianto
  • Disponível em dois modelos que suportam 47 mm (1,85 pol.) e filtros de 25 mm (1 pol.)
  • Uso no Phenom Desktop SEM

Suporte para amostras metalúrgicas

  • Projetado para suportar amostras montadas em resina
  • Solução preferida para metalurgia e ao trabalhar com insertos
  • Tamanho da amostra de até 32 mm de diâmetro e 30 mm de altura

Suporte de amostra Micro Tool

  • Fixação rápida
  • A inclinação e a rotação facilitam o posicionamento da amostra
  • Sem necessidade de ferramentas extras para o carregamento de amostras

Inclinação motorizada e suporte de amostra com rotação

  • Faixa de inclinação de -10° a +45°
  • Rotação compucêntrica contínua de 360°
  • Controle feito pelo aplicativo dedicado Motion Control ProSuite

Dispersor de partículas Nebula

  • Método padrão para dispersão uniforme de pó seco
  • Evita aglomerados de partículas
  • Usado com o Phenom Desktop SEM

Insertos de montagem em resina

  • Um conceito exclusivo de suporte de amostra
  • Disponível em 3 modelos para suportar amostras de tamanho padrão com diâmetros de 25 mm (aprox. 1 pol.), 32 mm (aprox. 1¼ pol.) e 40 mm (aprox. 1½ pol.)

Suporte de amostra padrão

  • Estágio compacto que permite a análise de amostras de até 100 mm x 100 mm
  • Pode ser estendida com 3 tipos de resina ou insertos de montagem metalúrgicos
  • Usado com o Phenom Desktop SEM

Insertos de suporte de amostra

  • Imagens transversais mais rápidas de revestimentos e amostras de várias camadas
  • Fixação fácil sem a necessidade de parafusos ou ferramentas extras
  • Elimina a necessidade de parafusos e ferramentas para prender a amostra

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Suporte de amostra de tensão

  • Determine a qualidade do lote
  • Determine a consistência da fabricação
  • Auxilie o processo de desenvolvimento

Suporte de amostra com temperatura controlada

  • Faixa de temperatura de -25 °C a +50 °C
  • Precisão de temperatura de ±1,5 °C
  • Resolução do visor de temperatura de 0,1 °C

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