Environmental scanning electron microscope

The Thermo Scientific Prisma E Scanning Electron Microscope (SEM) combines a wide array of imaging and analytical modalities with advanced automation to offer the most complete solution of any instrument in its class. It is ideal for industrial research and development, quality control, and failure analysis applications that require high resolution, sample flexibility and an easy-to-use operator interface. The Prisma E SEM succeeds the highly successful Thermo Scientific Quanta SEM.

ESEM with EDS

The unique combination of accessible all-round performance, a large set of accessories, and the most intuitive elemental analysis with Thermo Scientific ColorSEM make the Prisma E SEM the go-to SEM for micro-scale imaging and analysis in any industry or field.

 

Prisma E Scanning Electron Microscope features

Elemental information at your fingertips

Live composition-based image coloring for intuitive elemental analysis with optional ChemiSEM Technology and integrated energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS). Speed up your work and obtain the most complete sample information with always-on analysis.

Excellent image quality

Excellent image quality at low kV and low vacuum thanks to flexible vacuum modes, including through-the-lens differential pumping. Simultaneous secondary electron (SE) and backscattered electron (BSE) imaging in every mode of operation.

Minimize sample preparation time

Low vacuum and ESEM capability enable charge-free imaging and analysis of nonconductive and/or hydrated specimens.

In-situ study of materials in their natural state

With the Prisma E SEM's environmental SEM (ESEM) mode, samples can be imaged even if they are hot, dirty, outgassing or wet.

Excellent analytical capabilities

Excellent analytical capabilities with a chamber that allows 3 simultaneous EDS detectors, EDS ports that are 180° opposite, wavelength-dispersive spectroscopy (WDS), coplanar EDS/EBSD and high-quality charge-free EDS and EBSD in low vacuum.

Easy to use

Easy to use, intuitive software with user guidance and undo functionality makes highly effective operation possible for novice users, while enabling experts to do their work faster and with fewer mouse clicks.


Prisma E Scanning Electron Microscope specifications

Folha de estilo para especificações de tabela de produtos

Resolution

  • 3.0 nm at 30 kV in high vacuum, low vacuum and ESEM
  • 7.0 nm at 3 kV (BSED, beam decel.)

Standard detectors

  • ETD, low-vacuum SED (LVD), gaseous SED for ESEM mode (GSED), IR camera

Optional detectors

  • Thermo Scientific Nav-Cam+ Camera, DBS, DBS-GAD, ESEM-GAD, STEM 3+, WetSTEM, RGB-CLD, EDS, EBSD, WDS, Raman, EBIC, etc.

ChemiSEM Technology (optional)

  • Live quantitative SEM image coloring is available based on energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDS). Point & ID, linescan, region, element maps and accurate Noran quantification are included.

Stage bias (beam deceleration, optional)

  • -4,000 V to +50 V

Low vacuum mode

  • Up to 2,600 Pa (H2O) or 4,000 Pa (N2)

Stage

  • 5-axis motorized eucentric stage, 110 x 110 mm2 with a 105° tilt range. Maximum sample weight: 5 kg in un-tilted position.

Standard sample holder

  • Standard multi-sample SEM holder uniquely mounts directly
  • onto the stage, hosts up to 18 standard stubs (⌀ 12 mm), does
  • not require tools to mount a sample

Chamber

  • 340 mm inside width, 12 ports, three simultaneous EDS detectors possible, two at 180°, coplanar EDS/EBSD orthogonal to the tilt axis of the stage

In situ accessories (optional)

  • Software controlled -20°C to +60°C Peltier cold stage
  • Software controlled 1,000°C low vacuum/ESEM heating stage
  • Software controlled 1,100°C high vacuum heating stage
  • Software controlled 1,400°C low vacuum/ESEM heating stage
  • Integrated gas injection: up to 2 units (other accessories may limit number of gas injection systems (GIS) available) for beam-induced deposition of the following materials:
    • Platinum
    • Tungsten
    • Carbon
  • Manipulators
  • Cryo-stage
  • Electrical probing / multi-probing stations

Software options

Style Sheet for Komodo Tabs

Resources

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Goldrush. This mixture of particles contains gold (large area on the left), copper (smallest particles) and a Al/Si/Mg alloy (the bigger particles). The mixture is heated to higher and higher temperatures. At a certain point, gold starts diffusing across the metal surfaces, thereby completely changing their appearance. The experiment is performed using the High Vacuum Heating Stage mounted on a Prisma E SEM.

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Goldrush. This mixture of particles contains gold (large area on the left), copper (smallest particles) and a Al/Si/Mg alloy (the bigger particles). The mixture is heated to higher and higher temperatures. At a certain point, gold starts diffusing across the metal surfaces, thereby completely changing their appearance. The experiment is performed using the High Vacuum Heating Stage mounted on a Prisma E SEM.

Applications

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Controle de processo
 

A indústria moderna exige alta produtividade com qualidade superior, um equilíbrio mantido por meio de um controle de processo robusto. As ferramentas SEM e TEM com software de automação dedicado proporcionam informações rápidas e em várias escalas para monitoramento e aprimoramento de processos.

 

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Controle de qualidade
 

O controle de qualidade e a garantia de qualidade são essenciais na indústria moderna. Oferecemos uma gama de ferramentas de microscopia eletrônica e espectroscopia para análises multidimensionais e multimodais de defeitos, permitindo que você tome decisões confiáveis e informadas para controle e melhoria de processos.

 

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Pesquisa de materiais fundamentais

Novos materiais são investigados em escalas cada vez menores para o máximo controle de suas propriedades físicas e químicas. A microscopia eletrônica fornece aos pesquisadores percepções importantes sobre uma ampla variedade de características materiais em escala micro a nano.

 

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Desenvolvimento e localização de semicondutores

Microscopia eletrônica avançada, feixe de íon focalizado e técnicas analíticas associadas para identificar soluções viáveis e métodos de desenho para a fabricação de dispositivos semicondutores de alto desempenho.

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Rampa de escoamento e metrologia

Oferecemos recursos analíticos avançados para análise de defeitos, metrologia e controle de processos projetados para ajudar a aumentar a produtividade e melhorar o rendimento em uma variedade de aplicações e dispositivos semicondutores.

Análise de falha de semicondutores

Análise de falha de semicondutores

Estruturas de dispositivos semicondutores cada vez mais complexas resultam em mais locais onde defeitos que induzem falhas podem se ocultar. Nossos fluxos de trabalho de última geração o ajudam a localizar e caracterizar problemas elétricos sutis que afetam o rendimento, o desempenho e a confiabilidade.

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Caracterização física e química

A demanda contínua dos consumidores impulsiona a criação de dispositivos eletrônicos menores, mais rápidos e mais baratos. Sua produção depende de instrumentos e fluxos de trabalho de alta produtividade que fazem imagens, analisam e caracterizam uma ampla gama de semicondutores e dispositivos de exibição.


Techniques

ColorSEM

Usando a EDS (espectroscopia de raios X por energia dispersiva) com quantificação ao vivo, a tecnologia ColorSEM transforma as imagens SEM em uma técnica colorida. Agora, qualquer usuário pode adquirir dados elementares continuamente para obter informações mais completas do que nunca.

Saiba mais ›

Geração de imagens de amostras quentes

O estudo de materiais em condições reais muitas vezes envolve trabalhar em altas temperaturas. O comportamento dos materiais à medida que eles se recristalizam, derretem, deformam ou reagem na presença de calor pode ser estudado in situ com microscopia eletrônica de varredura ou ferramentas DualBeam.

Saiba mais ›

SEM ambiental (ESEM)

A SEM ambiental permite a geração de imagens dos materiais em seu estado nativo. Isso é perfeitamente adequado para pesquisadores acadêmicos e industriais que precisam testar e analisar amostras molhadas, sujas, reativas, gasosas ou não compatíveis com vácuo.

Saiba mais ›

Análise de partículas

A análise de partículas tem uma função vital na pesquisa de nanomateriais e no controle de qualidade. A resolução nanométrica e a formação de imagens excelentes da microscopia eletrônica podem ser combinadas com software especializado proporcionando uma rápida caracterização de pós e partículas.

Saiba mais ›

Catodoluminescência

A catodoluminescência (CL) descreve a emissão de luz de um material quando ele é excitado por um feixe de elétrons. Este sinal, captado por um detector CL especializado, carrega informações sobre a composição da amostra, defeitos de cristal ou propriedades fotônicas.

Saiba mais ›

Análise e geração de imagens de semicondutores

A Thermo Fisher Scientific oferece microscópios eletrônicos de varredura para todas as funções de um laboratório de semicondutores, desde tarefas gerais de aquisição de imagens até técnicas avançadas de análise de falhas que exigem medições precisas de contraste de tensão.

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ColorSEM

Usando a EDS (espectroscopia de raios X por energia dispersiva) com quantificação ao vivo, a tecnologia ColorSEM transforma as imagens SEM em uma técnica colorida. Agora, qualquer usuário pode adquirir dados elementares continuamente para obter informações mais completas do que nunca.

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Geração de imagens de amostras quentes

O estudo de materiais em condições reais muitas vezes envolve trabalhar em altas temperaturas. O comportamento dos materiais à medida que eles se recristalizam, derretem, deformam ou reagem na presença de calor pode ser estudado in situ com microscopia eletrônica de varredura ou ferramentas DualBeam.

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SEM ambiental (ESEM)

A SEM ambiental permite a geração de imagens dos materiais em seu estado nativo. Isso é perfeitamente adequado para pesquisadores acadêmicos e industriais que precisam testar e analisar amostras molhadas, sujas, reativas, gasosas ou não compatíveis com vácuo.

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Análise de partículas

A análise de partículas tem uma função vital na pesquisa de nanomateriais e no controle de qualidade. A resolução nanométrica e a formação de imagens excelentes da microscopia eletrônica podem ser combinadas com software especializado proporcionando uma rápida caracterização de pós e partículas.

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Catodoluminescência

A catodoluminescência (CL) descreve a emissão de luz de um material quando ele é excitado por um feixe de elétrons. Este sinal, captado por um detector CL especializado, carrega informações sobre a composição da amostra, defeitos de cristal ou propriedades fotônicas.

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Análise e geração de imagens de semicondutores

A Thermo Fisher Scientific oferece microscópios eletrônicos de varredura para todas as funções de um laboratório de semicondutores, desde tarefas gerais de aquisição de imagens até técnicas avançadas de análise de falhas que exigem medições precisas de contraste de tensão.

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