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Verios 5 XHR Scanning Electron Microscope
The Verios 5 XHR SEM offers subnanometer resolution over the full 1 keV to 30 keV energy range with excellent materials contrast. Unprecedented levels of automation and ease-of-use make this performance accessible to users of any experience level.
Scanning electron microscopy characterization
- High resolution nanomaterial imaging with the UC+ monochromated electron source for sub-nanometer performance from 1-30 kV.
- High contrast on sensitive materials with excellent performance down to 20 eV landing energy and high-sensitivity in-column and below-the-lens detectors and signal filtering for low-dose operation and optimal contrast selection.
- Greatly reduced time to nanoscale information for users with any experience level using the Elstar electron column featuring SmartAlign and FLASH technologies.
- Consistent measurement results with ConstantPower lenses, electrostatic scanning and a choice of two piezoelectric stages.
- Flexibility for accessories with a large chamber.
- Unattended SEM operation with Thermo Scientific AutoScript 4 Software, an optional Python-based application programming interface.
SmartAlign technology
SmartAlign technology eliminates the need for any user alignments of the electron column, which not only minimizes maintenance, but also increases your productivity.
Innovative electron optics
Including Thermo Scientific’s patented UC+ gun (monochromator), ConstantPower lenses and electrostatic scanning for accurate and stable imaging.
Sub-nanometer resolution
Elstar Schottky monochromated (UC+) FESEM technology and performance with sub-nanometer resolution from 1 to 30 keV.
Consistent measurement results
The Verios is ideally suited to lab-based metrology applications, with the ability to calibrate to a NIST certified standard at high magnification.
Low dose operation and optimal contrast selection
Advanced suite of high-sensitivity, in-column & below-the-lens detectors and signal filtering for low dose operation and optimal contrast selection.
Easy access to beam landing energies
As low as 20 eV with very high resolution for true surface characterization.
Unattended SEM operation
With AutoScript 4 Software, an optional Python-based application programming interface (API).
Large chamber
With a choice of two precise and stable piezo-driven stages.
Folha de estilo para especificações de tabela de produtos
Electron beam resolution |
| |
Standard detectors | ETD, TLD, MD, ICD, beam current measurement, Nav-Cam+, IR-camera | |
Optional detectors | Optional detectors | EDS, EBSD, RGB cathodoluminescence, Raman, WDS, and more | |
Stage bias (beam deceleration, optional) | Up to -4000 V, included as standard | |
Sample cleaning | Integrated plasma cleaner, included as standard | |
Sample manipulation | Verios 5 UC
| Verios 5 HP
|
Chamber | 379 mm inside width, 21 ports | |
Software options |
| |
Style Sheet for Komodo Tabs
Webinar introducing the new Verios 5 XHR SEM
This webinar will present Thermo Scientific technology advances in electron source, electron column, detector and the user interface that enables routine ultra-low voltage SEM imaging and characterization. By watching the webinar, you’ll learn how to:
- Find out which level of information high-performance SEM is able to provide for nanomaterial samples
- Understand how different technologies on the Verios 5 work in unison for exceptional low-V performance
- Discover how user interface automation brings expert results to all users
Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs
This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:
- How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
- How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
- How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.
Nanotubes imaged with the Verios SEM.
MoS₂ flakes on TiO₂ nanotubes imaged at a landing energy of 700 eV.
Molecular-organic framework (MOF) imaged at 350 V
Mesoporous silica imaged at 1 kV
Webinar introducing the new Verios 5 XHR SEM
This webinar will present Thermo Scientific technology advances in electron source, electron column, detector and the user interface that enables routine ultra-low voltage SEM imaging and characterization. By watching the webinar, you’ll learn how to:
- Find out which level of information high-performance SEM is able to provide for nanomaterial samples
- Understand how different technologies on the Verios 5 work in unison for exceptional low-V performance
- Discover how user interface automation brings expert results to all users
Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs
This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:
- How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
- How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
- How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.
Nanotubes imaged with the Verios SEM.
MoS₂ flakes on TiO₂ nanotubes imaged at a landing energy of 700 eV.
Molecular-organic framework (MOF) imaged at 350 V
Mesoporous silica imaged at 1 kV
Pesquisa de materiais fundamentais
Novos materiais são investigados em escalas cada vez menores para o máximo controle de suas propriedades físicas e químicas. A microscopia eletrônica fornece aos pesquisadores percepções importantes sobre uma ampla variedade de características materiais em escala micro a nano.
Desenvolvimento e localização de semicondutores
Microscopia eletrônica avançada, feixe de íon focalizado e técnicas analíticas associadas para identificar soluções viáveis e métodos de desenho para a fabricação de dispositivos semicondutores de alto desempenho.
Rampa de escoamento e metrologia
Oferecemos recursos analíticos avançados para análise de defeitos, metrologia e controle de processos projetados para ajudar a aumentar a produtividade e melhorar o rendimento em uma variedade de aplicações e dispositivos semicondutores.
Análise de falha de semicondutores
Estruturas de dispositivos semicondutores cada vez mais complexas resultam em mais locais onde defeitos que induzem falhas podem se ocultar. Nossos fluxos de trabalho de última geração o ajudam a localizar e caracterizar problemas elétricos sutis que afetam o rendimento, o desempenho e a confiabilidade.
Caracterização física e química
A demanda contínua dos consumidores impulsiona a criação de dispositivos eletrônicos menores, mais rápidos e mais baratos. Sua produção depende de instrumentos e fluxos de trabalho de alta produtividade que fazem imagens, analisam e caracterizam uma ampla gama de semicondutores e dispositivos de exibição.
Espectroscopia por energia dispersiva
A espectroscopia por energia dispersiva (EDS) coleta informações elementares detalhadas juntamente com imagens de microscopia eletrônica, fornecendo contexto de composição crítico para observações EM. Com a EDS, a composição química pode ser determinada a partir de varreduras de superfície rápidas e holísticas que chegam até a átomos individuais.
Geração de imagens de amostras quentes
O estudo de materiais em condições reais muitas vezes envolve trabalhar em altas temperaturas. O comportamento dos materiais à medida que eles se recristalizam, derretem, deformam ou reagem na presença de calor pode ser estudado in situ com microscopia eletrônica de varredura ou ferramentas DualBeam.
Análise em várias escalas
Os materiais novos precisam ser analisados em resolução cada vez maior, mantendo o contexto maior da amostra. A análise em várias escalas permite correlacionar várias ferramentas e modalidades de geração de imagens, como a microTC de raios X, DualBeam, laser PFIB, SEM e TEM.
Catodoluminescência
A catodoluminescência (CL) descreve a emissão de luz de um material quando ele é excitado por um feixe de elétrons. Este sinal, captado por um detector CL especializado, carrega informações sobre a composição da amostra, defeitos de cristal ou propriedades fotônicas.
Metrologia SEM
A microscopia eletrônica de varredura fornece dados metrológicos nanométricos precisos e confiáveis. A metrologia SEM de resolução ultra-alta automatizada reduz o tempo de produção e o tempo de lançamento no mercado de aplicações de memória, lógica e armazenamento de dados.
Espectroscopia por energia dispersiva
A espectroscopia por energia dispersiva (EDS) coleta informações elementares detalhadas juntamente com imagens de microscopia eletrônica, fornecendo contexto de composição crítico para observações EM. Com a EDS, a composição química pode ser determinada a partir de varreduras de superfície rápidas e holísticas que chegam até a átomos individuais.
Geração de imagens de amostras quentes
O estudo de materiais em condições reais muitas vezes envolve trabalhar em altas temperaturas. O comportamento dos materiais à medida que eles se recristalizam, derretem, deformam ou reagem na presença de calor pode ser estudado in situ com microscopia eletrônica de varredura ou ferramentas DualBeam.
Análise em várias escalas
Os materiais novos precisam ser analisados em resolução cada vez maior, mantendo o contexto maior da amostra. A análise em várias escalas permite correlacionar várias ferramentas e modalidades de geração de imagens, como a microTC de raios X, DualBeam, laser PFIB, SEM e TEM.
Catodoluminescência
A catodoluminescência (CL) descreve a emissão de luz de um material quando ele é excitado por um feixe de elétrons. Este sinal, captado por um detector CL especializado, carrega informações sobre a composição da amostra, defeitos de cristal ou propriedades fotônicas.
Metrologia SEM
A microscopia eletrônica de varredura fornece dados metrológicos nanométricos precisos e confiáveis. A metrologia SEM de resolução ultra-alta automatizada reduz o tempo de produção e o tempo de lançamento no mercado de aplicações de memória, lógica e armazenamento de dados.
Soluções de microscopia eletrônica para análise, pesquisa e caracterização
Suporte e recursos para microscopia eletrônica
Folha de estilo para Rodapé de suporte e serviço
Folha de estilo para Fontes
Folha de estilo para Cartões