Phenom Desktop SEM with energy-dispersive X-ray diffraction

The sixth-generation of Thermo Scientific Phenom ProX G6 Desktop SEM fills the gap between light microscopy and floor-model SEM analysis, thus expanding the capabilities of research facilities. It offers fast, high-resolution imaging in addition to an integrated energy-dispersive X-ray diffraction (EDS) detector for robust, easy-to-use, rapid elemental analysis.

Key Features

Fast and easy to use

The Phenom Pro Desktop SEM can be used to relieve the burden of routine analysis for common samples from floor-model SEM instruments. Instrument configuration and the sample loading mechanism ensure quick imaging with minimal time spent tuning between experiments.

Long-lifetime CeB6 source

Facility users of any experience level can quickly begin producing high-quality results with the Phenom Pro Desktop SEM. Its long-lifetime CeB6 source offers high brightness while requiring low maintenance.

Robust and small form factor

It's high stability and small form factor allow the instrument to be used in practically any lab environment; more simply put, it does not require specialized infrastructure or expert oversight.

ChemiSEM Technology

Thermo Scientific ChemiSEM Technology revolutionizes and simplifies EDS analysis by fully integrating SEM and EDS functions into a single, cohesive user interface. Based on live quantification and building on decades of expertise in EDS analysis, the technology provides elemental information quickly and easily, guaranteeing reliable results in less time. ChemiSEM Technology now comes with a powerful new feature: ChemiPhase. ChemiPhase identifies unique phases with a big data approach, finding minor and trace elements while eliminating user bias and reducing possible mistakes.

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Specifications

Folha de estilo para especificações de tabela de produtos
Light optical magnification
  • 27–160x
Electron optical magnification range
  • 160-350,000x
Resolution
  • ≤ 6 nm SED and ≤ 8 nm BSD
Digital zoom
  • Max. 12x
Light optical navigation camera
  • Color
Acceleration voltages
  • Default: 5 kV, 10 kV and 15 kV
  • Advanced mode: adjustable range between 4.8 kV and 20.5 kV imaging and analysis mode
Vacuum modes
  • High vacuum mode
  • Charge reduction mode via optional low vacuum sample holder
Detector
  • Backscattered electron detector (standard)
  • Energy-dispersive X-ray detector (standard)
  • Secondary electron detector (optional)
Sample size
  • Up to 25 mm diameter (optional 32 mm)
Sample height
  • Up to 35 mm (optional 100 mm)

Blogs SEM Desktop

Deseja conhecer o grande poder da microscopia eletrônica de varredura sem comprometer a usabilidade? Aprimore seu conhecimento sobre a microscopia eletrônica de varredura e descubra como os SEMs Desktop são perfeitamente compatíveis com a pesquisa em nossos blogs Phenom Desktop SEM.

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Resources

Product Development Engineer Luigi Raspolini explains everything that is new on the Thermo Scientific Phenom ProX G6 - The Desktop SEM with EDS capability for robust, effortless, and versatile elemental and SEM analysis. 

Testimonial from Professor Sir Colin Humphreys, University of Cambridge.

Webinar: Phenom Pro(X) G6 Desktop SEM

Watch this webinar to learn about:

  • Ease of use—the versatility and the specifications you can achieve
  • Doing more research—imaging and analysis in under two minutes
  • Fast time to image acquisition—only 30 seconds
  • User interface—24-inch, full-screen SEM image with presets

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Product Development Engineer Luigi Raspolini explains everything that is new on the Thermo Scientific Phenom ProX G6 - The Desktop SEM with EDS capability for robust, effortless, and versatile elemental and SEM analysis. 

Testimonial from Professor Sir Colin Humphreys, University of Cambridge.

Webinar: Phenom Pro(X) G6 Desktop SEM

Watch this webinar to learn about:

  • Ease of use—the versatility and the specifications you can achieve
  • Doing more research—imaging and analysis in under two minutes
  • Fast time to image acquisition—only 30 seconds
  • User interface—24-inch, full-screen SEM image with presets

Webinar: Scanning electron microscopy: selecting the right technology for your needs

This on-demand webinar has been designed to help you decide which SEM best meets your unique needs. We present an overview of Thermo Fisher Scientific SEM technology for multi-user research labs and focus on how these wide-ranging solutions deliver performance, versatility, in situ dynamics and faster time to results. Watch this webinar if you are interested in:

  • How the needs for different microanalysis modalities are met (EDX, EBSD, WDS, CL, etc.).
  • How samples are characterized in their natural state without the need for sample preparation.
  • How new advanced automation allows researchers to save time and increase productivity.

Applications

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Controle de processo
 

A indústria moderna exige alta produtividade com qualidade superior, um equilíbrio mantido por meio de um controle de processo robusto. As ferramentas SEM e TEM com software de automação dedicado proporcionam informações rápidas e em várias escalas para monitoramento e aprimoramento de processos.

 

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Controle de qualidade
 

O controle de qualidade e a garantia de qualidade são essenciais na indústria moderna. Oferecemos uma gama de ferramentas de microscopia eletrônica e espectroscopia para análises multidimensionais e multimodais de defeitos, permitindo que você tome decisões confiáveis e informadas para controle e melhoria de processos.

 

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Pesquisa de materiais fundamentais

Novos materiais são investigados em escalas cada vez menores para o máximo controle de suas propriedades físicas e químicas. A microscopia eletrônica fornece aos pesquisadores percepções importantes sobre uma ampla variedade de características materiais em escala micro a nano.

 

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Desenvolvimento e localização de semicondutores

Microscopia eletrônica avançada, feixe de íon focalizado e técnicas analíticas associadas para identificar soluções viáveis e métodos de desenho para a fabricação de dispositivos semicondutores de alto desempenho.

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Rampa de escoamento e metrologia

Oferecemos recursos analíticos avançados para análise de defeitos, metrologia e controle de processos projetados para ajudar a aumentar a produtividade e melhorar o rendimento em uma variedade de aplicações e dispositivos semicondutores.

Análise de falha de semicondutores

Análise de falha de semicondutores

Estruturas de dispositivos semicondutores cada vez mais complexas resultam em mais locais onde defeitos que induzem falhas podem se ocultar. Nossos fluxos de trabalho de última geração o ajudam a localizar e caracterizar problemas elétricos sutis que afetam o rendimento, o desempenho e a confiabilidade.

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Caracterização física e química

A demanda contínua dos consumidores impulsiona a criação de dispositivos eletrônicos menores, mais rápidos e mais baratos. Sua produção depende de instrumentos e fluxos de trabalho de alta produtividade que fazem imagens, analisam e caracterizam uma ampla gama de semicondutores e dispositivos de exibição.


Techniques

Análise elementar EDS

A EDS proporciona informações de composição vitais para observações em microscópio eletrônico. Principalmente, nossos exclusivos sistemas detectores Super-X e Dual-X adicionam opções para maior produtividade e/ou sensibilidade, permitindo otimizar a aquisição de dados para atender às prioridades de pesquisa.

Saiba mais ›

Tomografia EDS 3D

A pesquisa de materiais modernos depende cada vez mais da análise nanométrica em três dimensões. A caracterização 3D, incluindo dados de composição para contexto químico e estrutural completos, é possível com a EM 3D e a espectroscopia de raios X por energia dispersiva.

Saiba mais ›

Mapeamento elementar em escala atômica com EDS

A EDS de resolução atômica fornece um contexto químico sem igual para análise de materiais, diferenciando a identidade elementar de átomos individuais. Quando combinado com a TEM de alta resolução, é possível observar a organização precisa dos átomos em uma amostra.

Saiba mais ›

Geração de imagens de amostras quentes

O estudo de materiais em condições reais muitas vezes envolve trabalhar em altas temperaturas. O comportamento dos materiais à medida que eles se recristalizam, derretem, deformam ou reagem na presença de calor pode ser estudado in situ com microscopia eletrônica de varredura ou ferramentas DualBeam.

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Experimentação in situ

A observação direta e em tempo real de alterações microestruturais com a microscopia eletrônica é necessária para entender os princípios subjacentes de processos dinâmicos, como recristalização, crescimento de grãos e transformação de fases durante o aquecimento, o resfriamento e a umidificação.

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Análise em várias escalas

Os materiais novos precisam ser analisados em resolução cada vez maior, mantendo o contexto maior da amostra. A análise em várias escalas permite correlacionar várias ferramentas e modalidades de geração de imagens, como a microTC de raios X, DualBeam, laser PFIB, SEM e TEM.

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Metrologia SEM

A microscopia eletrônica de varredura fornece dados metrológicos nanométricos precisos e confiáveis. A metrologia SEM de resolução ultra-alta automatizada reduz o tempo de produção e o tempo de lançamento no mercado de aplicações de memória, lógica e armazenamento de dados.

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Análise e geração de imagens de semicondutores

A Thermo Fisher Scientific oferece microscópios eletrônicos de varredura para todas as funções de um laboratório de semicondutores, desde tarefas gerais de aquisição de imagens até técnicas avançadas de análise de falhas que exigem medições precisas de contraste de tensão.

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Análise elementar EDS

A EDS proporciona informações de composição vitais para observações em microscópio eletrônico. Principalmente, nossos exclusivos sistemas detectores Super-X e Dual-X adicionam opções para maior produtividade e/ou sensibilidade, permitindo otimizar a aquisição de dados para atender às prioridades de pesquisa.

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Tomografia EDS 3D

A pesquisa de materiais modernos depende cada vez mais da análise nanométrica em três dimensões. A caracterização 3D, incluindo dados de composição para contexto químico e estrutural completos, é possível com a EM 3D e a espectroscopia de raios X por energia dispersiva.

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Mapeamento elementar em escala atômica com EDS

A EDS de resolução atômica fornece um contexto químico sem igual para análise de materiais, diferenciando a identidade elementar de átomos individuais. Quando combinado com a TEM de alta resolução, é possível observar a organização precisa dos átomos em uma amostra.

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Geração de imagens de amostras quentes

O estudo de materiais em condições reais muitas vezes envolve trabalhar em altas temperaturas. O comportamento dos materiais à medida que eles se recristalizam, derretem, deformam ou reagem na presença de calor pode ser estudado in situ com microscopia eletrônica de varredura ou ferramentas DualBeam.

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Experimentação in situ

A observação direta e em tempo real de alterações microestruturais com a microscopia eletrônica é necessária para entender os princípios subjacentes de processos dinâmicos, como recristalização, crescimento de grãos e transformação de fases durante o aquecimento, o resfriamento e a umidificação.

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Análise em várias escalas

Os materiais novos precisam ser analisados em resolução cada vez maior, mantendo o contexto maior da amostra. A análise em várias escalas permite correlacionar várias ferramentas e modalidades de geração de imagens, como a microTC de raios X, DualBeam, laser PFIB, SEM e TEM.

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Metrologia SEM

A microscopia eletrônica de varredura fornece dados metrológicos nanométricos precisos e confiáveis. A metrologia SEM de resolução ultra-alta automatizada reduz o tempo de produção e o tempo de lançamento no mercado de aplicações de memória, lógica e armazenamento de dados.

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Análise e geração de imagens de semicondutores

A Thermo Fisher Scientific oferece microscópios eletrônicos de varredura para todas as funções de um laboratório de semicondutores, desde tarefas gerais de aquisição de imagens até técnicas avançadas de análise de falhas que exigem medições precisas de contraste de tensão.

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