Instrumentos FIB SEM

Cientistas e engenheiros, tanto acadêmicos quanto da indústria, constantemente se deparam com novos desafios que exigem uma caracterização altamente localizada de uma ampla variedade de amostras e materiais. O impulso contínuo para melhorar a qualidade desses materiais significa que, frequentemente, há a necessidade de informações estruturais e de composição em nanoescala. Instrumentos de microscopia eletrônica de varredura de feixe de íons focalizados (FIB SEM) DualBeam geram exatamente esse tipo de dados, combinando a modificação precisa da amostra pelo FIB com a imagem de alta resolução da SEM.

A Thermo Fisher Scientific é líder do setor em tecnologia FIB SEM com mais de 25 anos de experiência com instrumentação DualBeam. Oferecemos um amplo portfólio de produtos e recursos avançados de automação para uma variedade de aplicações, incluindo preparação de amostras por microscopia eletrônica de transmissão (TEM), caracterização subsuperficial e 3D, nanoprototipagem e experimentação in situ.

Folha de estilo para Fontes
Folha de estilo para cartões de instrumentos original
Microscopia por elétrons

Instrumentos DualBeam

Instrumentos de FIB SEM para análise estrutural automatizada, preparação de amostras por TEM e nanoprototipagem.

Tecnologia


Tecnologia


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Aplicações

Ciências da vida

 

Ciência de materiais

 

Semicondutores


Técnicas

Ciências da vida

 

Ciência de materiais

 

Semicondutores


Krios G4 Cryo-TEM

  • Ergonomia melhorada
  • Adapta-se mais facilmente a laboratórios novos e existentes
  • Produtividade e automação maximizadas
  • Excelente qualidade de imagem para reconstrução 3D de alta resolução

Spectra 300 TEM

  • Informações estruturais e químicas de máxima resolução em nível atômico
  • Faixa flexível de alta tensão de 30 kV a 300 kV
  • Sistema condensador de três lentes

Spectra 200 TEM

  • Imagens de alta resolução e contraste para acelerar tensões de 30 kV a 200 kV
  • Lente objetiva simétrica S-TWIN/X-TWIN com desenho de haste de grande distância de 5,4 mm
  • Resolução da imagem STEM subangstrom de 60 kV a 200 kV

Glacios Crio-TEM

  • Tensão de aceleração flexível de 80 kV a 200 kV
  • Carregador automático líder do setor para manipulação de amostras criogênicas
  • Dimensões reduzidas
  • Facilidade de uso aprimorada

Talos Arctica TEM

  • Maior velocidade de aquisição de dados
  • Manuseio robotizado de grande volume de dados de amostras e carregamento automático
  • Operação autônoma da plataforma e aquisição automatizada de dados
  • Baixo custo de propriedade com diagnóstico remoto e serviço preventivo

Metrios AX TEM

  • Opções de automação para suportar qualidade, consistência, metrologia e OPEX reduzido
  • Aproveita o aprendizado de máquina para obter funções automáticas superiores e reconhecimento de recursos
  • Fluxos de trabalho para a preparação de lamela in situ e ex situ

Talos L120C TEM

  • Maior estabilidade
  • Câmera 4k × 4K Ceta CMOS
  • Gama de ampliação TEM de 25 kX a 650 kX
  • A análise flexível da EDS revela informações químicas

Talos F200i TEM

  • Imagens S/TEM de alta qualidade e EDS precisa
  • Disponível com tecnologia de EDS dupla
  • Melhores recursos completos in situ
  • Imagem de campo de visão grande em alta velocidade

Talos F200S TEM

  • Dados precisos de composição química
  • Imagens de alto desempenho e análise de composição precisa para microscopia dinâmica
  • Apresenta o software Velox para aquisição e análise rápidas e fáceis de dados multimodais

Talos F200X TEM

  • Alta resolução/produtividade na geração de imagens STEM e na análise química
  • Adição de suportes de amostra específicos in situ da aplicação para experimentos dinâmicos
  • Apresenta o software Velox para aquisição e análise rápidas e fáceis de dados multimodais

Talos F200C TEM

  • A análise flexível da EDS revela informações químicas
  • Formação de imagens de TEM e STEM de alto contraste e alta qualidade
  • A câmera CMOS Ceta de 16 Mpixel fornece um campo de visão amplo e alta velocidade de leitura

ExSolve WTP DualBeam

  • Capacidade de preparação de lamelas de 20 nm de espessura específicas do local em wafers inteiros de até 300 mm de diâmetro
  • Atende às necessidades que exigem amostragem automatizada de alta taxa de transferência em nós de tecnologia avançada

Helios G4 EXL DualBeam

  • Controle preciso e conhecimento da temperatura da amostra
  • Melhor estabilidade da amostra, navegação e correção assistida de desvio da amostra nos eixos x, y e z
  • Avanço das funções de aquisição de imagens e filmes de alta qualidade

Helios 5 DualBeam

  • Preparação de amostra TEM ultrafina, totalmente automatizada e de alta qualidade
  • Alta produtividade, subsuperfície de alta resolução e caracterização 3D
  • Recursos rápidos de nanoprototipagem

Helios 5 PFIB DualBeam

  • Preparação de amostra STEM e TEM sem gálio
  • Subsuperfície multimodal e informações 3D
  • Coluna FIB de plasma de xênon de 2,5 μA de próxima geração

Helios G4 PFIB DualBeam

  • Preparação de amostra STEM e TEM sem gálio
  • Subsuperfície multimodal e informações 3D
  • Coluna FIB de plasma de xênon de 2,5 μA de próxima geração

Sistema Helios 5 Laser PFIB

  • Cortes transversais rápidos em escala milimétrica
  • Subsuperfície profunda estatisticamente relevante e análise de dados 3D
  • Compartilha todos os recursos da plataforma Helios 5 PFIB

Helios Hydra DualBeam

  • Quatro espécies de íons alternáveis rápidas (Xe, Ar, O, N) para processamento PFIB otimizado da mais ampla gama de materiais
  • Preparação de amostra TEM sem gálio
  • Imagem SEM de resolução extremamente alta

Aquilos 2 Cryo-FIB

  • A automação permite a produção de várias lamelas
  • Direcione e extraia sua estrutura de interesse com o nanomanipulador de elevação
  • Visualização 3D para tomografia de alta resolução

Scios 2 DualBeam

  • Compatibilidade total com amostras magnéticas e não condutoras
  • Subsuperfície de alto rendimento e caracterização 3D
  • Recursos avançados de facilidade de uso e automação

Axia ChemiSEM

  • Mapeamento elementar quantitativo ao vivo
  • Imagens por microscopia eletrônica de varredura de alta fidelidade
  • Flexível e fácil de usar, mesmo para usuários iniciantes
  • Manutenção fácil

Verios 5 XHR SEM

  • SEM monocromática para resolução subnanométrica em toda a faixa de energia de 1 keV a 30 keV
  • Fácil acesso a energias de aterrissagem de feixe de até 20 eV
  • Excelente estabilidade com o estágio piezo como padrão

Quattro ESEM

  • FEG SEM de alta resolução ultraversátil com capacidade ambiental única (ESEM)
  • Observe todas as informações de todas as amostras com imagens simultâneas SE e BSE em cada modo de funcionamento

Prisma E SEM

  • SEM de nível básico com excelente qualidade de imagem
  • Carregamento e navegação de amostras fáceis e rápidos para várias amostras
  • Compatível com uma ampla gama de materiais graças aos modos de vácuo dedicados

Apreo 2 SEM

  • SEM de alto desempenho para resolução geral nanométrica ou subnanométrica
  • Detector retroespelhado T1 na coluna para contraste de materiais sensíveis e com taxa de TV
  • Excelente desempenho em longas distâncias de trabalho (10 mm)

VolumeScope 2 SEM

  • Dados 3D isotrópicos de volumes grandes
  • Alto contraste e resolução nos modos de vácuo alto e baixo
  • Alternância simples entre uso SEM normal e geração de imagens seriais de face de bloco

Phenom Pharos Desktop SEM

  • Fonte FEG com faixa de tensão de aceleração de 2 kV a 15 kV
  • Detector EDS e SE opcional totalmente integrado

Phenom XL G2 Desktop SEM

  • Para amostras grandes (100 x 100 mm) e ideal para automação
  • Resolução <10 nm e ampliação de até 200.000 vezes; tensão de aceleração de 4,8 kV até 20 kV
  • Detector EDS e BSE opcional totalmente integrado

Phenom ProX Desktop SEM

  • SEM de mesa de alto desempenho com detector EDS integrado
  • Resolução <8 nm (SE) e <10 nm (BSE); ampliação de até 150.000 vezes
  • Detector SE opcional

Phenom Pro Desktop SEM

  • SEM de mesa de alto desempenho
  • Resolução <8 nm (SE) e <10 nm (BSE); ampliação de até 150.000 vezes
  • Detector SE opcional

Phenom Pure Desktop SEM

  • SEM de mesa de nível básico
  • Resolução <25 nm; ampliação de até 65.000 vezes
  • Fonte CeB6 de longa duração

Phenom Perception GSR Desktop SEM

  • GSR de mesa SEM automatizado dedicado
  • Resolução <10 nm; ampliação de até 200.000 vezes
  • Fonte CeB6 de longa duração

Phenom ParticleX AM Desktop SEM

  • SEM de mesa versátil com software de automação para fabricação aditiva
  • Resolução <10 nm; ampliação de até 200.000 vezes
  • Detector SE opcional

Phenom ParticleX TC Desktop SEM

  • Desktop SEM versátil com software de automação para limpeza técnica
  • Resolução <10 nm; ampliação de até 200.000 vezes
  • Detector SE opcional

Phenom ParticleX Steel Desktop SEM

  • SEM e EDS integrados
  • Fácil de usar
  • Inclusões submicrométricas

Sistema ELITE

  • Completamente indestrutível
  • Rápida identificação do componente defeituoso na placa de montagem para um posicionamento preciso
  • Localização do defeito em x-y com a precisão micrométrica, com uma localização de profundidade precisa em até 20 µm

Sistema Hyperion II

  • Sondagem da força atômica
  • Localize as falhas do transistor
  • PicoCurrent integrado (CAFM)

Sistema nProber IV

  • Localize as falhas de transistor e BEOL
  • Nanossondagem térmica (-40 °C a 150 °C)
  • Operação semiautomatizada

Sistema Meridian S

  • Diagnóstico de falhas com a tecnologia de sonda ativa
  • Opções de estimulação a laser estática (SLS/OBIRCH) e emissão de fótons
  • Compatível com estimulação de microssondagem e de dispositivos de cartão de sonda

Sistema Meridian WS-DP

  • Detecção de emissão de fótons de baixa tensão, baixo ruído e alta sensibilidade com sistemas de câmera de banda larga DBX ou InGaAs
  • Microscópio de varredura a laser com vários comprimentos de onda para análise da cadeia de varredura, mapeamento de frequência, sondagem de transistor e isolamento de falhas

Sistema Meridian 7

  • Isolamento dinâmico de falhas ópticas para nós de 10 nm e inferiores
  • Luz visível e infravermelha de alta resolução
  • Preparação de amostra de alto rendimento para 5 μm amplamente disponível

Sistema Meridian IV

  • Detecção de emissão de fóton DBX de comprimento de onda estendido de alta sensibilidade
  • Detecção de emissão de fótons InGaAs padrão
  • Microscópio de varredura a laser com várias opções de comprimento de onda

Sistema de edição de circuito Taipan G2+

  • Resolução de imagem e desbaste para atender às especificações de nó de 10 nm
  • Excelente seletividade de gravação e controle de deposição para condutores e isolantes
  • Excelente precisão de navegação e posicionamento do feixe de íons

Sistema de edição de circuito Centrios

  • Imagem superior, resolução de desbaste
  • Maior precisão e controle do desbaste
  • Construído na plataforma Helios DualBeam da Thermo Scientific

MK.4TE ESD e sistema de teste Latch-Up

  • Operações baseadas em relé rápido – até 2304 canais
  • Precondicionamento avançado do dispositivo com seis níveis separados de acionamento de vetor
  • Estímulo com trava totalmente compatível e influência do dispositivo

Testador de descarga eletrostática Orion3

  • Teste do modelo do dispositivo carregado
  • Câmeras coloridas duplas de alta resolução
  • Teste densidades até menos de 0,4 mm de distância

Sistema de teste Celestron

  • Teste de TLP no nível de wafer e pacote
  • Gerador de pulso TLP de alta corrente
  • Pode fazer interface com sondas semiautomáticas
  • Software intuitivo para controle e geração de relatórios

Sistema de teste ESD Pegasus

  • Testes de acordo com os mais recentes padrões do setor
  • Rede ESD 150 pF/330 Ω de nível de sistema real
  • Conexão de 2 pinos por meio de sondas de wafer para qualquer dispositivo

Nexsa

  • Módulo de inclinação para medições ARXPS
  • Fonte de íons de modo duplo para recursos de perfil de profundidade expandida
  • Análise de isolantes

K-Alpha

  • Espectroscopia de área selecionável
  • Monocromador microfocalizado
  • Espectroscopia de estado químico de alta resolução

ESCALAB Xi+

  • Espectroscopia de alta sensibilidade
  • XPS com raios X não monocromáticos
  • Analisador de energia hemisférica de 180 graus

Sistema Vitrobot

  • Vitrificação de amostra totalmente automatizada
  • Dispositivo para Western Blot
  • Transferência de grade semiautomatizada
  • Alta produtividade de amostras

Software Amira

  • Suporte para vários dados/visualização/canal
  • Visualização interativa de alta qualidade
  • Segmentação baseada em aprendizado de máquina
  • Criação intuitiva de receitas

Software Auto Slice and View 4.0

  • Seccionamento serial automatizado para DualBeam
  • Aquisição de dados multimodais (SEM, EDS, EBSD)
  • Recursos de edição imediatos
  • Posicionamento de corte com base na aresta

Software AutoScript 4

  • melhor reprodutibilidade e precisão
  • Geração de imagens e padronização não assistidas e de alta produtividade
  • Compatível com ambiente de script baseado em Python 3.5

Software AutoTEM 5

  • Preparação de amostras S/TEM totalmente automatizada in situ
  • Compatibilidade com geometria de cima para baixo, plana e invertida
  • Fluxo de trabalho altamente configurável
  • Interface de usuário intuitiva e fácil de usar

Software Avizo

  • Compatível com vários dados/várias visualizações, vários canais, série temporal, dados muito grandes
  • Registro automático avançado em vários modos 2D/3D
  • Algoritmos de redução de artefatos

Software EPU 2

  • Solução integrada ao microscópio para aquisição de partícula única
  • Otimizado para coleta de partículas de alto rendimento
  • Compatível com filme, câmeras CCD e detectores eletrônicos diretos

Software Ifast

  • Gravador de macro para criação mais rápida de receitas
  • Corredor para operação noturna sem supervisão
  • Ferramentas de alinhamento: reconhecimento de imagem e localização de borda

Software Inspect 3D

  • Ferramentas e filtros de processamento de imagens para correlação cruzada
  • Rastreamento de recurso para alinhamento de imagem
  • Técnica de reconstrução algébrica para comparação de projeção iterativa

Software Maps

  • Adquira imagens de alta resolução em áreas grandes
  • Encontre regiões de interesse facilmente
  • Automatize o processo de aquisição de imagens

Software NEXS

  • Sincronização automática da posição/ampliação entre NEXS e o sistema de edição de circuito para uma experiência do usuário mais uniforme
  • Conecta-se à maioria das ferramentas da Thermo Scientific usadas para o EFA, PFA e espaço de edição de circuito

Software Pergeos

  • Compatível com vários dados/várias visualizações, vários canais, série temporal, dados muito grandes
  • Simulação de fluxo bifásico
  • Tomografia computadorizada de energia dupla (DECT)

Software Tomography 4.0

  • Algoritmo de reconstrução imediata
  • Aquisição de TEM e STEM totalmente automática
  • Calibração única
  • Fluxo de trabalho fácil desde dados até estrutura

Software Velox

  • Um painel experimentos no lado esquerdo da janela de processamento.
  • Mapeamento quantitativo ao vivo
  • Interface de layout interativa do detector para configuração e controle de experimentos reproduzíveis

Reconstrução 3D

  • Interface de usuário intuitiva, empregabilidade máxima
  • Interface de usuário intuitiva e totalmente automatizada
  • Com base na tecnologia de "forma a partir do sombreamento", não é necessário inclinar o estágio

AsbestoMetric

  • Ferramenta automatizada para aquisição de imagens, detecção de fibras e geração de relatórios
  • Análise EDX assistida com revisão de fibra
  • Relatório de padrão ISO sobre análise de amianto

Mapeamento de elementos

  • Informações rápidas e confiáveis sobre a distribuição de elementos dentro da amostra ou da linha selecionada
  • Resultados facilmente exportados e relatados

FiberMetric

  • Economize tempo com medições automatizadas
  • Coleta rápida e automatizada de todos os dados estatísticos
  • Visualize e meça microfibras e nanofibras com precisão incomparável

Nanobuilder

  • Prototipagem baseada em CAD
  • Execução de tarefa totalmente automatizada, navegação em estágios, desbaste e deposição
  • Alinhamento automatizado e controle de desvio

ParticleMetric

  • Software integrado no ProSuite para análise on-line e off-line
  • Correlação das características da partícula, como diâmetro, circularidade, proporção e convexidade
  • Criação de conjuntos de dados de imagem com o mapeamento de imagem automatizado

Interface de programação Phenom

  • Personalize o SEM para ajustá-lo ao fluxo de trabalho
  • Aumente a eficiência e economize tempo com processos automatizados
  • Controle as configurações de imagem e a navegação por estágios

PoroMetric

  • Correlacione os recursos de poro, como área, proporção, eixo principal e secundário
  • Adquira imagens diretamente do desktop SEM
  • Dados estatísticos com imagens de alta qualidade

ProSuite

  • Coleta automatizada de imagens
  • Controle remoto em tempo real
  • Aplicativos padrão incluídos: mapeamento automatizado de imagens e interface de usuário remota

Quartz PCI/CFR

  • Rastreabilidade de imagens SEM em conformidade com a 21 CFR parte 11
  • Compatível com os SEMs desktop Phenom XL e Phenom Pro
  • Suporte ao sistema operacional Windows 10 de 64 bits

μHeater

  • Solução de aquecimento ultrarrápida para imagens de alta resolução in situ
  • Totalmente integrado
  • Temperaturas de até 1200 °C

μPolisher

  • Potencial para permitir um grande número de aplicativos novos e inexplorados
  • Desbaste com energia muito baixa
  • Tamanho de ponto pequeno para um tratamento de superfície local preciso

Filtros de imagem Selectris e Selectris X

  • Desenvolvidos para imagens de alta estabilidade e resolução atômica
  • Operação direta
  • Em conjunto com a geração mais recente do detector eletrônico Falcon 4 Direct da Thermo Scientific

Câmera Ceta D

  • Desempenho ideal em todas as altas tensões (20 kV a 300 kV)
  • Compatível com filtros e espectrômetros pós-coluna
  • Aquisição de filmes para estudos dinâmicos

Detector Falcon 4

  • Eficiência quântica de detecção líder
  • Tempo de exposição 10 vezes menor do que o seu antecessor
  • Totalmente integrado ao software da Thermo Scientific
  • Gerenciamento de dados integrado

Suporte de amostra de redução de carga

  • Ampliação até oito vezes maior
  • Maior rapidez na preparação de amostras
  • Amostras não condutivas podem ser obtidas por imagem em seu estado natural

Alimentação elétrica através do suporte de amostra

  • Conecte as sondas elétricas à amostra para medições in situ
  • A altura da amostra pode ser ajustada manualmente de 0 mm a 25 mm
  • Medições de correntes da sonda

Suporte de amostra eucêntrico

  • Inclinação eucêntrica e rotação compucêntrica em um SEM desktop
  • Tempo de imagem rápido com carregamento de amostra < 1 minuto
  • Módulo de visualização de amostra 3D em tempo real

Insertos filtrantes

  • Análise de resíduos do filtro e análise de amianto
  • Disponível em dois modelos que suportam 47 mm (1,85 pol.) e filtros de 25 mm (1 pol.)
  • Uso no Phenom Desktop SEM

Suporte para amostras metalúrgicas

  • Projetado para suportar amostras montadas em resina
  • Solução preferida para metalurgia e ao trabalhar com insertos
  • Tamanho da amostra de até 32 mm de diâmetro e 30 mm de altura

Suporte de amostra Micro Tool

  • Fixação rápida
  • A inclinação e a rotação facilitam o posicionamento da amostra
  • Sem necessidade de ferramentas extras para o carregamento de amostras

Inclinação motorizada e suporte de amostra com rotação

  • Faixa de inclinação de -10° a +45°
  • Rotação compucêntrica contínua de 360°
  • Controle feito pelo aplicativo dedicado Motion Control ProSuite

Dispersor de partículas Nebula

  • Método padrão para dispersão uniforme de pó seco
  • Evita aglomerados de partículas
  • Usado com o Phenom Desktop SEM

Insertos de montagem em resina

  • Um conceito exclusivo de suporte de amostra
  • Disponível em 3 modelos para suportar amostras de tamanho padrão com diâmetros de 25 mm (aprox. 1 pol.), 32 mm (aprox. 1¼ pol.) e 40 mm (aprox. 1½ pol.)

Suporte de amostra padrão

  • Estágio compacto que permite a análise de amostras de até 100 mm x 100 mm
  • Pode ser estendida com 3 tipos de resina ou insertos de montagem metalúrgicos
  • Usado com o Phenom Desktop SEM

Insertos de suporte de amostra

  • Imagens transversais mais rápidas de revestimentos e amostras de várias camadas
  • Fixação fácil sem a necessidade de parafusos ou ferramentas extras
  • Elimina a necessidade de parafusos e ferramentas para prender a amostra

 Baixar a folha de dados

Suporte de amostra de tensão

  • Determine a qualidade do lote
  • Determine a consistência da fabricação
  • Auxilie o processo de desenvolvimento

Suporte de amostra com temperatura controlada

  • Faixa de temperatura de -25 °C a +50 °C
  • Precisão de temperatura de ±1,5 °C
  • Resolução do visor de temperatura de 0,1 °C

 

Preparação de amostras por TEM

A preparação de amostras por TEM é considerada uma das tarefas mais críticas na pesquisa de ciência de materiais. Contudo, também é uma das mais desafiadoras e demoradas. As mais recentes inovações tecnológicas da tecnologia DualBeam, juntamente com as nossas soluções de software abrangentes e experiência em aplicações, permitem uma preparação rápida e fácil de amostras específicas do local por S/TEM (microscopia eletrônica de varredura/microscopia eletrônica de transmissão) para uma ampla gama de materiais. O software AutoTEM da Thermo Scientific acrescenta a capacidade de preparação de amostras por TEM in situ totalmente automatizada e autônoma, aumentando significativamente a produtividade, proporcionando resultados especializados, independentemente da sua experiência.

Análise estrutural

Quando combinados com o software Auto Slice & View da Thermo Scientific, os instrumentos DualBeam fornecem uma visão 3D da estrutura da amostra removendo seletivamente (desbastando) o material para caracterização de subsuperfície. A reconstrução digital gera conjuntos de dados 3D multimodais que podem consistir em uma variedade de sinais, incluindo imagens de elétrons retroespelhados (BSE) para máximo contraste de materiais, espectroscopia por energia dispersiva (EDS) para informações de composição e difração eletrônica retroespelhada (EBSD) para informações microestruturais e cristalográficas.

A capacidade de SEM dos instrumentos DualBeam oferece detalhes em escala nanométrica em uma ampla variedade de condições de trabalho, desde informações estruturais obtidas em 30 keV no modo de STEM até informações de superfície detalhadas e sem carga em energias mais baixas. Com detectores exclusivos intralente, os sistemas DualBeam foram desenvolvidos para a aquisição simultânea de dados secundários eletrônicos angulares/seletivos de energia e BSE. Resultados rápidos, precisos e reproduzíveis são fornecidos pelo nosso desenho exclusivo de coluna SEM, que inclui alinhamentos de lentes totalmente automatizados.

Nanoprototipagem

Os recursos de nanopadronização dos sistemas DualBeam podem reduzir substancialmente o tempo de pesquisa e desenvolvimento. A prototipagem rápida com o FIB permite testes de funcionalidade antes que o layout final do dispositivo seja estabelecido para a fabricação em lote. A deposição induzida por feixe de diferentes materiais pode ser combinada com o desbaste por FIB sem a necessidade de etapas adicionais de litografia de alinhamento; os padrões podem ser adicionados diretamente a estruturas depositadas ou os padrões existentes podem ser modificados. Os substratos padronizados finais estão imediatamente disponíveis para processamento ou caracterização posterior.

 

Reconstrução 3D de um revestimento de filtro de óleo automotivo, adquirida com o Helios Hydra DualBeam e o software Auto Slice & View 4 para seccionamento em série automatizado. Largura do campo horizontal = 350 µm.
Reconstrução 3D de um revestimento de filtro de óleo automotivo, adquirida com o Helios Hydra DualBeam e o software Auto Slice & View 4 para seccionamento em série automatizado. Largura do campo horizontal = 350 µm.
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