A major, ongoing challenge of the tech industry is the shrinking of semiconductor devices and transistor feature dimensions. To maintain excellent reliability, performance, and yield, semiconductor failure analysis techniques have to constantly improve in order to meet this challenge. As a result, high-end, advanced instrumentation is needed to localize and identify defective structures, which have more places to hide due to high-density interconnects, wafer-level stacking, and complex 3D architectures.

Nanoprobing is an advanced characterization technique designed to isolate electrical defects that can negatively influence yield, reliability, and performance. Nanoprobing also provides the precise localization of electrical faults, which is necessary for an effective transmission electron microscopy (TEM) failure analysis workflow.

Thermo Fisher Scientific provides a range of advanced nanoprobing and sample preparation tools for reliable and accurate electrical fault isolation on a wide range of advanced devices. The Thermo Scientific nProber IV System is a high-performance scanning-electron-microscopy-based platform for the localization of transistor and metallization faults. The Thermo Scientific Hyperion II System is a high-productivity atomic-force-profiling nanoprober, with leading-edge transistor-probing performance that includes integrated conductive atomic force microscopy (C-AFM) capability. See the product pages below for more information.

Semiconductor nanoprobing workflow example

 

 



Resources

Critical Semiconductor Nanoprobing Workflows Explained

Critical Semiconductor Nanoprobing Workflows Explained


Applications

Análise de falha de semicondutores

Análise de falha de semicondutores

Estruturas de dispositivos semicondutores cada vez mais complexas resultam em mais locais onde defeitos que induzem falhas podem se ocultar. Nossos fluxos de trabalho de última geração o ajudam a localizar e caracterizar problemas elétricos sutis que afetam o rendimento, o desempenho e a confiabilidade.

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Caracterização física e química

A demanda contínua dos consumidores impulsiona a criação de dispositivos eletrônicos menores, mais rápidos e mais baratos. Sua produção depende de instrumentos e fluxos de trabalho de alta produtividade que fazem imagens, analisam e caracterizam uma ampla gama de semicondutores e dispositivos de exibição.

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Qualificação de semicondutores ESD

Cada plano de controle de descarga eletrostática (ESD) é necessário para identificar dispositivos sensíveis à ESD. Oferecemos um conjunto completo de sistemas de teste para ajudar com os requisitos de qualificação do seu dispositivo.

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Desenvolvimento e localização de semicondutores

Microscopia eletrônica avançada, feixe de íon focalizado e técnicas analíticas associadas para identificar soluções viáveis e métodos de desenho para a fabricação de dispositivos semicondutores de alto desempenho.


Samples


Materiais semicondutores e caracterização de dispositivos

À medida que os dispositivos semicondutores encolhem e se tornam mais complexos, há a necessidade de novos desenhos e estruturas. Os fluxos de trabalho de análise 3D de alta produtividade podem reduzir o tempo de desenvolvimento de dispositivos, maximizar o rendimento e garantir que os dispositivos atendam às necessidades futuras do setor.

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Style Sheet for Komodo Tabs
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Products

Folha de estilo para cartões de instrumentos original

nProber IV

  • Localize as falhas de transistor e BEOL
  • Nanossondagem térmica (-40 °C a 150 °C)
  • Operação semiautomatizada

Sistema Hyperion II

  • Sondagem da força atômica
  • Localize as falhas do transistor
  • PicoCurrent integrado (CAFM)

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Serviços de microscopia eletrônica para
semicondutores

Para garantir o desempenho ideal do sistema, fornecemos acesso a uma rede de especialistas em serviços de campo, suporte técnico e peças de reposição certificadas.

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