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静电放电 (ESD) 会导致局部温度升高，从而损坏构成当今半导体器件和集成电路的小型功能和结构。随着这些结构和器件变得更小和设计更复杂，找出此类电气故障变得更具挑战性。这意味着需要先进且高度灵敏的测试设备来确保这些器件能够经受住静电放电。该设备还有助于证明器件符合国家、国际和行业 ESD 测试标准。
例如，最常见的 ESD 合规测试，称为人体模型 (HBM) 测试，模拟人体将电能放电到电子元件中的效果。另一个示例是带电器件模型 (CDM) 测试，其中模拟从器件到外部点的放电。
Thermo Fisher Scientific 提供一系列符合您所有 ESD 测试需求的设备，包括传输线脉冲 (TLP)、HBM 和 CDM 测试等仪器。所需的确切工具取决于器件的大小和复杂性，因此请务必访问本网站上的产品页面以获取更多信息。
Evaluwave™ 软件提供自动波形分析，可即时验证是否符合已发布的标准。可采集并存储带注释的波形，用于报告和存档。
SEM 图像显示了 50,000 倍放大倍数下器件栅氧化层的 ESD 损坏情况。孔径约为 50 nm。
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