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詳細な不良解析による歩留まりの改善と信頼性の向上が可能です。マージン不良の設計デバッグは、デバイス内の電圧やタイミングの問題によって、より困難となる場合があります。パラメトリック不良の根本原因を解明するには、デバイスを損傷したり不良を消失させたりすることなく、回路レベルとデバイスレベルの両方で不良個所を特定することが必要です。
Thermo Scientific Meridian 4システムは、最先端の低電圧・高密度半導体デバイスの開発者にとって最適なシステムです。パラメトリック不良や設計マージンに起因する不良など、さまざまな不良モードの診断機能と性能の要求に対応します。
先進のSierraユーザー環境と解析ソフトウェアには、高品質かつ高倍率なモザイク画像の構築機能が搭載されています。個別に取得された高倍率画像をシームレスに結合することで、広範囲なデバイス領域をカバーする高分解能画像が形成されます。
高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。
半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。
光学的不良解析
設計が複雑になるにつれ、半導体製造における不良個所や欠陥個所の特定が、ますます複雑になっています。光学的不良解析技術によりデバイスの電気的動作性能を解析し、デバイスの故障につながる重大な欠陥を特定することができます。