電子顕微鏡

TEM

透過電子顕微鏡（TEM）は、電子を薄い試料に透過させて画像を生成する高分解能イメージング技術です。電子は試料の厚みや密度、組成、場合によっては結晶方位の影響を受けることによって、画像にコントラストを与えます。

最先端クライオTEMの製品と技術は、単粒子分析を含むライフサイエンス試料に最良の結果をもたらします。ライフサイエンス向けTEMのラインナップは、Krios、Tundra TEMシステム、最新のSelectrisエネルギーフィルター、Falcon 4i高感度直接電子検出器などをご覧いただけます。

材料科学向けには、Talos F200i、F200X S/TEM、収差補正STEMであるSpectra S/TEMシリーズがあり、いずれもVeloxユーザーインターフェースで操作可能です。新技術としては、わずかな電子線量STEM観察を可能にするiDPC、アライメント時間を短縮するコンスタントパワーレンズ、APWによるハイスループット自動TEM粒子分析、柔軟な加速電圧切替が可能かつ4.0sradもの立体角を有するEDS検出器(Ultra-X)を備えたSpectra Ultraなどがあります。

半導体用Metrios AXでは、完全自動化されたイメージングと計測が可能です。DualBeam製品群では、様々な材料での容易かつ高品質なTEM試料作製が可能です。

SEM (Scanning Electron Microscopy; 走査電子顕微鏡) および 卓上SEM

1930 年代に電子顕微鏡が導入されて以来、走査電子顕微鏡（SEM）は、材料科学から工業分野、生命科学、さらには科学捜査に至るまで、さまざまな研究分野で重要なツールに発展してきました。SEMは、試料の表面や表面近傍の微細な情報が必要なときに、すぐに必要とされるツールです。そのため、科学、技術、産業のほぼすべての分野で応用されています。

SEMは、大型で重い試料への対応、豊富なオプション、難度の高い材料の優れたイメージング、ダイナミックな実験など、学術・産業の幅広いニーズに対応する柔軟性と汎用性を備えています。サーモフィッシャーは、SEMイメージングとEDS元素マッピングを組み合わせた最新のChemiSEM技術、使いやすいタングステンSEMシステム（Axia ChemiSEMとPrisma E SEM）、複合レンズ技術を搭載したApreo 2 SEM、ハイコントラストSEおよびBSEイメージング用の最新検出器、高感度低線量検出、効果的なチャージアップ低減、さらにVerios 5 XHR SEMのような究極のイメージング分解能など、ご予算や用途に応じて様々なFE-SEMツール、およびSEMシステム、技術をフルラインナップしています。また、その場での実験に便利な加熱、冷却、EDS、EBSD、低真空・環境SEM、MAPSソフトウェアによる大面積ナビゲーションやタイルセット取得など、幅広く柔軟なオプションが用意されています。

卓上SEMは、より簡便なSEM観察を目指し、使いやすさを向上させました。従来のSEMは、専用の部屋や設備が必要でしたが、デスクトップ型はより汎用な装置です。また、デスクトップ型SEMは、移動式ラボとして現場での電子顕微鏡分析に利用されています。Phenom デスクトップ SEM シリーズは、粒子、繊維、沈殿物を分析するためのさまざまな自動化オプションを備え、卓越した画質、使いやすさ、データ取得までの短時間化を実現しています。高輝度電子源CeB₆と世界初のデスクトップFEG SEMであるPhenom Pharosから選択可能です。

デュアルビーム (FIB-SEM)

FIB-SEM 装置またはデュアルビーム装置は、精密な FIB 加工と高解像度 SEM イメージングを組み合わせて、材料科学の研究においてますます多く使用されるようになってきています。サーモフィッシャーサイエンティフィックは、30年以上の経験を持つFIB-SEM技術における業界リーダーです。 世界中で2,000台以上のサーモサイエンティフィック社製システムが設置されており、当社のDualBeamは、技術革新と長年にわたるお客様との共同開発によって得られた深いアプリケーション知識の蓄積によって、最先端の機能で市場をリードし続けています。DualBeamの主なアプリケーションは、表面および断面イメージング、Auto Slice & Viewによる自動3Dデータ取得、TEMおよびアトムプローブ用の指定位置からの高品質試料調製、およびナノスケールでのプロトタイピングです。TEM試料作成は、最新のAutoTEM 5ソフトウェアで完全に自動化することができます。ガリウムソースFIB装置は、Scios 2とHelios 5シリーズが中心です。また、プラズマFIB装置（Helios PFIB、Helios Hydra）は、試料除去の高速化とガリウムフリー試料作製を実現し、材料科学、半導体、ライフサイエンスの分野でますます利用されるようになっています。また、フェムト秒レーザーPFIBのTriBeamシステムも発売されています。ExSolveとHelios 5 EXLでフルウエハのハイスループット処理も可能です。

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy; X線光電子分光法)

高性能材料への要求が高まるにつれ、表面工学の重要性も増しています。材料の表面は、外部環境や他の材料との相互作用点ですので、腐食速度、触媒活性、接着特性、濡れ性、接触電位、故障メカニズムなどの要因に影響を及ぼすことになります。表面化学の理解や表面工学の有効性を調べるために表面分析が行われていますが、X線光電子分光法（XPS）は表面特性評価のための標準的なツールの一つです。XPS は、元素組成だけでなく、材料内の原子の化学状態や電子状態を測定可能です。Web リソースには、XPS 技術と表面分析技術の紹介、包括的な XPS ラーニング センター、周期表のほとんどの元素の詳細な情報と結果が含まれています。

Thermo Scientific XPS装置は、高度に自動化されたK-AlphaおよびNexsa G2システム、そしてより柔軟なEscalab QXiのラインナップで構成されています。すべてのXPSシステムで、強力で便利なAvantageソフトウェアユーザーインターフェースを採用しています。