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材料解析
先進的な材料解析ラボでは、最新の技術を利用する必要があり、SEMを含む分析装置のパフォーマンスを限界まで押し上げます。これらのラボのほとんどは、さまざまな経験レベルのユーザーに対応できるマルチユーザー施設です。顕微鏡を利用する時間は貴重であり、メンテナンス、調整、トレーニング、または画像最適化に過度の時間を費やすことは避ける必要があります。
新しいThermo Scientific Apreo 2 SEMは、あらゆるレベルの顕微鏡ユーザーに高度なイメージングと分析を提供します。Thermo Scientific ChemiSEMテクノロジーは、独自のライブ元素イメージング機能であり、もっとも直感的なインターフェースを介して、組成情報を常に表示できます。ChemiSEMテクノロジーは、従来のEDSシステムに伴うすべての手間を省き、これまでにない結果と使いやすさを提供します。
Apreo 2 SEMはThermo Scientific SmartAlignテクノロジーを採用しており、光学系に自己調整機能があるため、ユーザーやラボマネージャーの負担を軽減できます。さらに、Apreo 2 SEMは、Thermo Scientific FLASHテクノロジーを使用することで自動的に画像の微調整を行います。FLASHテクノロジーは、レンズのセンタリング、非点収差補正、画像の焦点合わせを行います。これらのテクノロジーを組み合わせることで、電子顕微鏡を初めて使用するユーザーでも、Apreo 2 SEMの優れた性能を生かすことができます。さらに、Apreo 2 SEMは、分析作動距離10 mmでナノメートルの分解能を有する唯一のSEMです。作動距離が長くなると分解能が下がるということは、もはやありません。Apreo 2 SEMを用いることで、誰でも確実に優れた結果を得ることができます。
Apreo 2 SEMビデオティーザー
高性能、高解像度、高コントラスト
Apreo 2は高度な光学系、検出、および自動化を組み合わせており、SEM初心者でも高解像度イメージングを容易に取得できます。
幅広い試料タイプ
Apreo 2は最大限の柔軟性を実現するよう設計されています。目的試料の特性に関わらず、高品質で高解像度のイメージングが可能です。Apreo 2の独自の光学系、検出、およびビーム制御オプションにより、絶縁体、ビーム感受性、または磁性材料を容易にイメージングできます。
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ChemiSEMによるライブ定量EDS
ChemiSEMは、かつてない結果と使いやすさを実現するライブでの定量的元素マッピングを提供し、元素情報を迅速に取得できます。
迅速で容易な試料ローディング
ステージへの容易なアクセス、便利なマルチ試料ホルダー、および高速のポンプにより、試料のローディングにおいて時間を無駄にしません。圧力限界開口（PLA）の挿入と取り外しを自動ルーチンで行えるため、チャンバーを開けることなく、高／低真空をシームレスに切り換え可能です。
高度な自動化
光学系から画像取得まで、Apreo 2はさまざまな自動化機能を備えており、イメージングを可能な限り効果的かつ効率的にします。Flashテクノロジーは画像の微細な調整を自動化し、やり直し（Undo）機能はイメージング条件の効率的な探索を可能にします。Thermo Scientific Mapsソフトウエアは、最高4つの同時シグナルによる広領域取得を自動化します。
長い作動距離
Apreo 2は高分解能パフォーマンス（1 nm）と分析作動距離（10 mm）での優れたイメージ取得を提供する唯一のSEMです。磁極片からの安全な距離を保ちながら、試料形態、トポグラフィー、および表面情報をすべて同時に探索可能です。高速かつ高感度のレンズ内後方散乱検出器により、非常に低いビーム電流（数pA）でBSEが検出されます。
Style Sheet for Products Table Specifications
Apreo 2 S | Apreo 2 C | |
分解能 |
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標準検出器 |
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ピボットビーム |
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オプション検出器 |
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ChemiSEMテクノロジー（オプション） |
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入射エネルギー範囲 |
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ステージバイアス（ビーム減速） |
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低真空モード |
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ステージ |
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最大ビーム電流 |
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標準試料ホルダー |
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チャンバー |
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Style Sheet to change H2 style to p with em-h2-header class
Style Sheet for Komodo Tabs
オンデマンドWebセミナー：Apreo 2の製品紹介 - ChemiSEMテクノロジーのもたらす卓越した汎用性
この製品紹介用のオンデマンドWebセミナーでは、Apreo 2 SEMのより詳細な説明、その特長と機能、ChemiSEMテクノロジー、そしてApreo 2のデモンストレーションをご確認いただけます。このオンデマンドWebセミナーには以下の内容が含まれています。
- サーモフィッシャーサイエンティフィックから提供される最新の分析用UHR-SEMについての解説。
- Apreo 2 SEMについての紹介。
Webセミナー：走査型電子顕微鏡：お客様のニーズに合った適切な技術を選択します
このオンデマンドWebセミナーは、お客様独自のニーズに最適なSEMを決定するのに役立つよう設計されています。当社は、マルチユーザー研究ラボ向けの サーモフィッシャーサイエンティフィックSEM技術の概要を説明し、これらの幅広いソリューションがどのように性能、汎用性、in situダイナミクスを提供し、結果を得るまでの時間を短縮するかに焦点を当てています。ご興味のある方は、以下のWebセミナーをご覧ください。
- さまざまな微量分析モダリティ（EDS、EBSD、WDS、CLなど）のニーズを満たす方法。
- 前処理を必要とせずに、試料を自然な状態で解析する方法。
- 新しい高度な自動化により、研究者が時間を節約し、生産性を向上させる方法。
このビデオでは、ApreoのTrinity検出システムが試料に関する豊富な情報にどのように迅速にアクセスできるかを説明します。
重要な構造情報および組成情報を見逃さない
シリカ上のAg粒子
ChemiSEMでイメージングされたパラジウムナノ粒子。フレーム時間：30秒
リチウムイオンカソードプリカーサー
ChemiSEMテクノロジーを用いたApreo 2で、1分半未満でイメージングされた銀銅混合物。
TiO2サポート上のAu/Pdナノ粒子。ChemiSEMテクノロジーはナノ粒子でもフレーム時間1分未満で組成をマッピングできます。
ポリスチレンとポリアクリル酸ポリマーの混合物
Apreoで1 kVで撮影された半導体結合ワイヤの画像。
Apreoで2 kV、混合検出器で撮影された半導体結合ワイヤの画像。
Apreoで5 kV、LVD検出器で撮影された半導体結合ワイヤの画像。
Apreoで1 kVで撮影されたmodコンパウンド中の半導体結合ワイヤの画像。
加熱後のアルミニウムスズ合金
ChemiSEMテクノロジーでイメージングしたセラミック加熱ステージ
ChemiSEMテクノロジーでイメージングした歯科用アマルガム歯科用アマルガムは、水銀や、銀、スズ、および銅の金属合金混合を多く含有する詰め物です。
珪藻
金ナノチューブ
チタニア上の金パラジウム粒子
酸化鉄
キノコ胞子
ナノ細孔金
花粉
ポリマー電離セパレーター
表面からの酸化物侵入を示している、熱調節サイクル部位の横断面。
ChemiSEMテクノロジーでイメージングしたシリコンフラファイト電池陽極。画像は、目的領域のシリオンと炭素の分配を示しており、ニッケルを多量に含む汚染物質の存在を強調しています。
1. ジルコニウムを多量に含む不純物の存在や、フッ素を多量に含む結合剤の配分を示してる電極の活性化物質横断面のChemiSEM画像。
加速電圧1 keVでイメージングした炭酸カルシウム粒子（ロッド様形態）
ビーム減速を使用し、加速電圧500 Vでイメージングした炭酸カルシウム粒子（スピンドル様形態）
鉄ナノ粒子を有する竹様炭素ナノチューブの明視野STEM画像。
MikNo酸化亜鉛プレートレットの明視野および高角度環状暗視野STEM画像
酸化亜鉛ナノ粒子でできたMicNo® ZnOプレートレット（Entekno Materials）。画像は加速電圧1 keVで取得。
オンデマンドWebセミナー：Apreo 2の製品紹介 - ChemiSEMテクノロジーのもたらす卓越した汎用性
この製品紹介用のオンデマンドWebセミナーでは、Apreo 2 SEMのより詳細な説明、その特長と機能、ChemiSEMテクノロジー、そしてApreo 2のデモンストレーションをご確認いただけます。このオンデマンドWebセミナーには以下の内容が含まれています。
- サーモフィッシャーサイエンティフィックから提供される最新の分析用UHR-SEMについての解説。
- Apreo 2 SEMについての紹介。
Webセミナー：走査型電子顕微鏡：お客様のニーズに合った適切な技術を選択します
このオンデマンドWebセミナーは、お客様独自のニーズに最適なSEMを決定するのに役立つよう設計されています。当社は、マルチユーザー研究ラボ向けの サーモフィッシャーサイエンティフィックSEM技術の概要を説明し、これらの幅広いソリューションがどのように性能、汎用性、in situダイナミクスを提供し、結果を得るまでの時間を短縮するかに焦点を当てています。ご興味のある方は、以下のWebセミナーをご覧ください。
- さまざまな微量分析モダリティ（EDS、EBSD、WDS、CLなど）のニーズを満たす方法。
- 前処理を必要とせずに、試料を自然な状態で解析する方法。
- 新しい高度な自動化により、研究者が時間を節約し、生産性を向上させる方法。
このビデオでは、ApreoのTrinity検出システムが試料に関する豊富な情報にどのように迅速にアクセスできるかを説明します。
重要な構造情報および組成情報を見逃さない
シリカ上のAg粒子
ChemiSEMでイメージングされたパラジウムナノ粒子。フレーム時間：30秒
リチウムイオンカソードプリカーサー
ChemiSEMテクノロジーを用いたApreo 2で、1分半未満でイメージングされた銀銅混合物。
TiO2サポート上のAu/Pdナノ粒子。ChemiSEMテクノロジーはナノ粒子でもフレーム時間1分未満で組成をマッピングできます。
ポリスチレンとポリアクリル酸ポリマーの混合物
Apreoで1 kVで撮影された半導体結合ワイヤの画像。
Apreoで2 kV、混合検出器で撮影された半導体結合ワイヤの画像。
Apreoで5 kV、LVD検出器で撮影された半導体結合ワイヤの画像。
Apreoで1 kVで撮影されたmodコンパウンド中の半導体結合ワイヤの画像。
加熱後のアルミニウムスズ合金
ChemiSEMテクノロジーでイメージングしたセラミック加熱ステージ
ChemiSEMテクノロジーでイメージングした歯科用アマルガム歯科用アマルガムは、水銀や、銀、スズ、および銅の金属合金混合を多く含有する詰め物です。
珪藻
金ナノチューブ
チタニア上の金パラジウム粒子
酸化鉄
キノコ胞子
ナノ細孔金
花粉
ポリマー電離セパレーター
表面からの酸化物侵入を示している、熱調節サイクル部位の横断面。
ChemiSEMテクノロジーでイメージングしたシリコンフラファイト電池陽極。画像は、目的領域のシリオンと炭素の分配を示しており、ニッケルを多量に含む汚染物質の存在を強調しています。
1. ジルコニウムを多量に含む不純物の存在や、フッ素を多量に含む結合剤の配分を示してる電極の活性化物質横断面のChemiSEM画像。
加速電圧1 keVでイメージングした炭酸カルシウム粒子（ロッド様形態）
ビーム減速を使用し、加速電圧500 Vでイメージングした炭酸カルシウム粒子（スピンドル様形態）
鉄ナノ粒子を有する竹様炭素ナノチューブの明視野STEM画像。
MikNo酸化亜鉛プレートレットの明視野および高角度環状暗視野STEM画像
酸化亜鉛ナノ粒子でできたMicNo® ZnOプレートレット（Entekno Materials）。画像は加速電圧1 keVで取得。
基礎材料研究
新材料開発では、その物理的および化学的特性を最大化するために、より小さなスケールでの研究がなされています。電子顕微鏡は、マイクロスケールからナノスケールのさまざまな材料特性について重要な情報を研究者に提供します。
品質管理と不良解析
近年の産業では、品質管理と品質保証が不可欠です。私たちは、欠陥をマルチスケールかつ多モードで分析可能なEMおよび分光ツールを提供しており、これらにより得られる信頼性の高い十分な情報によりプロセス制御および改善のための決定が可能となります。
半導体のパスファインディングと開発
高性能半導体デバイス製造を可能にするソリューションや設計へ導く高度な電子顕微鏡、集束イオンビーム、および関連する分析手法。
歩留り改善と計測
当社は、幅広い半導体アプリケーションやデバイスの生産性向上と歩留り改善に寄与する、欠陥分析、計測、およびプロセス制御のための高度な分析機能を提供しています。
半導体故障解析
半導体デバイスは益々構造が複雑化しているため、欠陥の原因と成り得る箇所が増えています。私たちの次世代ワークフローは、歩留り、性能、信頼性に影響を与える僅かな電気的不良の特定と解析に役立ちます。
物理解析および化学分析
継続的な性能要求により、小型で高速、かつ安価な電子デバイス開発が促進されています。これらの製造には、多岐に渡る半導体およびディスプレイデバイスのイメージング、分析、解析を行う、生産性の高い装置とワークフローが重要な役割を果たします。
ディスプレイモジュールの不良解析
進化を続けるディスプレイテクノロジーではディスプレイの品質と光変換効率の向上を目的としており、さまざまな産業分野のアプリケーションをサポートしながら生産コストを削減します。当社が提供するプロセスの計測、不良解析、研究および開発ソリューションは、ディスプレイ企業がこうした課題を解決するのに役立ちます。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
エネルギー分散分光法
エネルギー分散分光法（EDS）を使用することにより、電子顕微鏡の画像情報に加えて、詳細な元素情報も収集できます。電子顕微鏡観察時に重要な組成分布を得ることができます。EDSにより、全容を示す低倍率のスキャンから、原子分解能マッピングに至るまで、試料の元素組成情報が短時間で得られます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）では電子ビームで励起され、物質から放出された光を検出します。この信号は、特殊なCL検出器によって収集され、試料の組成、結晶欠陥、またはフォトニクス特性に関する情報が得られます。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
半導体のイメージング・分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、一般的なイメージング業務から、正確な電圧コントラスト測定を必要とする高度な故障解析技術まで、半導体ラボのあらゆる機能に対応する走査電子顕微鏡を提供します。
ChemiSEM
ChemiSEM技術は、ライブEDS（エネルギー分散型X線分光法）とライブ定量を使用して、SEM画像をカラー化します。どのユーザーでも、組成のデータを継続的に取得して、これまで以上に詳細な情報を得ることができます。
エネルギー分散分光法
エネルギー分散分光法（EDS）を使用することにより、電子顕微鏡の画像情報に加えて、詳細な元素情報も収集できます。電子顕微鏡観察時に重要な組成分布を得ることができます。EDSにより、全容を示す低倍率のスキャンから、原子分解能マッピングに至るまで、試料の元素組成情報が短時間で得られます。
高温試料のイメージング
実際の条件下で材料を研究するには、高温の試料を観察する必要もよくあります。高温下で材料が再結晶化、溶解、変形、反応する際の挙動は、走査電子顕微鏡またはDualBeamシステムを用いてin situで研究できます。
カソードルミネッセンス
カソードルミネッセンス（CL）では電子ビームで励起され、物質から放出された光を検出します。この信号は、特殊なCL検出器によって収集され、試料の組成、結晶欠陥、またはフォトニクス特性に関する情報が得られます。
マルチスケール分析
新しい材料の場合、その構造全体を把握しながら、高い分解能で分析する必要があります。マルチスケール分析では、X線マイクロCT、DualBeam、レーザーPFIB、SEM、TEMなどのさまざまなイメージング技術や方法の相関が可能です。
半導体のイメージング・分析
サーモフィッシャーサイエンティフィックは、一般的なイメージング業務から、正確な電圧コントラスト測定を必要とする高度な故障解析技術まで、半導体ラボのあらゆる機能に対応する走査電子顕微鏡を提供します。
Style Sheet for Support and Service footer
Style Sheet for Fonts
Style Sheet for Cards